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  • 正在执行有效
  • 2012-11-07 颁布
  • 2013-03-01 实施
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文档简介

ICS7712099

H68..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T791—2012

铂靶

Platinumtarget

2012-11-07发布2013-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T791—2012

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草

。

本标准主要起草人王永辉朱晓光杨永刚杨华程轶欧雷继锋熊晓东江轩

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T791—2012

铂靶

1范围

本标准规定了铂靶的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存及合同或订货单

、、、、、。

本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材以下简称铂靶其他用途的铂靶材也可参照使用

(),。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

产品几何技术规范几何公差形状方向位置和跳动公差标注

GB/T1182(GPS)、、

海绵铂

GB/T1419—2004

贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T15077—2008

3要求

31产品分类

.

铂靶按照纯度分为两个牌号外形主要为圆形和矩形

IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。。

32化学成分

.

铂靶的化学成分应符合中的及的规定未规定元素和挥发物

GB/T1419—2004Pt99.95Pt99.99,

控制限及分析方法的由供需双方协商确定

,。

33外观质量

.

331铂靶表面应平整无划伤裂纹凸起等缺陷无颗粒附加物和其他沾污应清洁光滑无指痕无

..,、、;;,,

油污和锈蚀

。

332铂靶表面粗糙度Ra值应不大于

..1.6μm。

34几何尺寸与允许偏差

.

341圆形铂靶的直径ϕ主要有厚度通常为

..25mm~300mm,1mm~10mm。

342矩形铂靶的尺寸主要有长度宽度厚度通常为

..:20mm~300mm,20mm~300mm,1mm~

倒角半径R通常为

10mm,0.5mm~3mm。

343圆形和矩形铂靶的尺寸及其允许偏差应符合表的规定经双方协商可提供其他规格及允许

..1。,

偏差的铂靶

。

344铂靶的几何公差平行度垂直度等若需方有特殊要求可按技术协议或

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