标准解读

《YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材》是一项针对溅射工艺中使用的钽靶材制定的标准，由中国有色金属工业协会提出并归口。该标准主要规定了用于薄膜制备过程中的溅射用钽靶材的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。

技术要求部分明确了钽靶材的化学成分、物理性能（如密度）、外观质量及尺寸偏差等具体指标。对于化学成分，标准给出了主要元素钽（Ta）的最低含量要求，并对杂质元素的最大允许量做了限定；物理性能方面，则是对密度设定了下限值；至于外观质量和尺寸偏差，也都有详细的规定以确保产品符合使用需求。

在试验方法章节里，列出了测定上述各项指标所需采用的方法与步骤，包括但不限于取样方式、样品处理、分析仪器的选择及其操作条件设定等内容。这些测试手段旨在为生产厂家提供一套统一且科学合理的评价体系，以便于控制产品质量。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-04-30 颁布
  • 2015-10-01 实施
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ICS7715099H 63 . . 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T10242015 溅射用钽靶材 Tantalumsputteringtargets2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 YS/T10242015 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会 提出并归口 (SAC/TC243) 。 本标准起草单位 宁夏东方钽业股份有限公司 有研亿金新材料有限公司 宁波江丰电子材料股份 : 、 、有限公司 西安方科新材料科技有限公司 、 。 本标准主要起草人 钟景明 李桂鹏 汪凯 李兆博 姚力军 熊晓东 王莉 宿康宁 王小青 杜铁路 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。 YS/T10242015 溅射用钽靶材1 范围 本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求 试验方法 检验规则及标志 包装 运输 贮存 、 、 、 、 、 、质量证明书和订货单 或合同 内容 ( ) 。 本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料 通过塑性加工 热处理 机械加工 焊接等方法 , 、 、 、制造的溅射用钽靶材 以下简称钽靶材 ( )。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 ,件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB/T1804 金属材料 维氏硬度试验 第 部分 试验方法 GB/T4340.1 1 : 金属平均晶粒度测定方法 GB/T6394 金属板材超声板波探伤方法 GB/T8651 钽铌化学分析方法 碳量和硫量的测定 GB/T15076.8 钽铌化学分析方法 钽中氮量的测定 GB/T15076.13 钽铌化学分析方法 氧量的测定 GB/T15076.14 钽铌化学分析方法 氢量的测定 GB/T15076.15 无损检测 目视检测 总则 GB/T209672007 溅射靶材 背板结合质量超声波检验方法 YS/T837 - 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 YS/T899 3 要求 31 产品分类 . 钽靶材按纯度分为 三个级别 :3N5(99.95%)、4N(99
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