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文档简介

无尘布的测试方法用户主要通过擦拭布的材质、吸收率、洁净度和费用来评估无尘布。在半导体行业的洁净室中对无尘擦拭布尘粒、离子、ESD等有很高的要求。IEST-RP-CC004.3提供了一些评估无尘擦拭布的方法。无尘布需进行严格测试以达到性能要求和污染控制标准，一般无尘布需进行以下测试： 抗磨损性测试通常，抗磨损性测试属于布料物理性质的测试。但在无尘布的测试中，因为磨损的过程会产生尘粒，因此，将无尘布的抗磨损性测试归纳为污染控制范围更合适。*测试标准：抗磨损性越强越不容易产生尘粒。 基重根据ASTM-D-3776测试无尘布单位面积的重量*参考测试标准：一般要求在150300g/m2 吸液量和吸液速度根据IEST-RP-CC004.3第8节要求，需测试无尘布的吸收量和吸收速率。吸液量反映的是单位面积的无尘布的吸收液体的毫升数。吸液速率是指无尘布吸收10ml液体所需的时间。以上两种测量都须测量三次并计算平均值*参考测试标准：吸液量一般不小于400g/m2 吸液速度一般不大于1秒。 IC测试根据IEST-RP-CC004.3第7.2节要求，定性定量地测量无机阴阳离子含量。*参考测试标准，在磁头行业，一般要求CL-0.03ug/cm2; SO42-0.03ug/cm2; NO3-0.03ugcm2; Total:1.0ug/cm2 NVR测试根据IEST-RP-CC004.3第7.1节要求,测试单位面积上的不挥发性残留物。NVR测试是将无尘布浸泡于一定量的溶剂中一定量的时间，然后将无尘布取出，测试溶于溶剂中的不挥发性残留物的质量。*参考测试标准：在磁头行业，一般要求3.0ug/cm2 LPC测试根据IEST-RP-CC004.3第6.2.1节的要求，对无尘布进行LPC测试。LPC可测试无尘布上的液态尘粒数。LPC测试是将无尘布浸泡在一定量的DI水中，经过超声波振荡，检测DI水中的尘粒浓度。*参考测试标准：在磁头行业，一般要求30counts/cm2 FTIR测试傅立叶变化红外光谱测试*参考测试标准：一般不允许有硅油、氨基化合物、增塑剂。 GC测试GC测试是用来分析无尘布上有机污染物种类和含量
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