大专毕业论文-开题报告-V3.0.1.doc

本文给出大专毕业论文开题报告内容和格式基本要求及示例，学生须参考本文要求撰写毕业论文开题报告。不用此信息时，删除此框。烟台汽车工程职业学院( 2007 )级专科生毕业设计(论文)开 题 报 告论文题目：开题报告格式基本要求：(1) 纸 型：A4纸，单面打印；(2) 页边距：上2cm，下2cm，左3cm、右2cm；(3) 页 眉：1.5cm，页脚：1.25cm，左侧装订；(4) 字 体：开题报告正文全部宋体、五号、首行缩进2字符；一级标题黑体、小三、居左；二级标题黑体、四号、居左；三级标题黑体、小四、居左。标题都采用1.5倍行距。页码10磅、Times New Roman、居中。西文、数字等符号字体Times New Roman。(5) 行 距：正文固定值20磅；段前、段后均为0；(6) 字 数： 2000字以上。(7) 格式方面的其他要求请参考大专毕业设计（论文）模板相应部分的格式要求。不用此信息时，删除此框。题目一般不宜超过20字。题名应避免使用不常见的缩略词、首字母缩写，避免使用英文字符、代号、公式和上下标等。题目字号小三、宋体、居中、加粗。不用此信息时，删除此框。系 （部）： 汽车工程系 专 业： 班 级： 学 号： 学生姓名： 指导教师： 填表格式：字号四号、宋体、加粗，英文或数字使用Times New Roman字体，填写的文字应尽量放在横线的中部。不用此信息时，删除此框。将相应的年月日将其修改为实际的报告提交日期，不用此信息时，删除此框。报告时间：2009 年 10月10日4课题的背景意义及选题的依据，着重说明本课题在国内外的研究动态、目前的水平。本课题的目的、意义和开展研究工作的设想，准备在哪些方面取得进展和创新，课题的最终目标以及可能达到的水平。，不用此信息时，删除此框。一、课题研究的背景和意义微机械角速率传感器是近些年来发展的新一代惯性仪表,已有十余年的历史，与传统的传感器相比，采用MEMS技术制作的微型角速率传感器不仅将具有传统角速率传感器耐冲击、抗过载的特点，而且还将具有体积小、重量轻、功耗低、价格便宜的特点，适合利用微电子技术大批量生产。不仅在军事领域有很好的应用前景，而且在民用领域也将得到广泛的应用，如相机防抖、汽车惯导系统、智能玩具等。因而，它是是未来低、中精度传感器的理想换代产品，也是惯性技术向民用领域大量推广应用最有前途的仪表。随着微机械加工技术的发展和信号处理技术的发展，微机械角速率传感器的精度正不断的提高，应用领域也将不断扩大。毕业设计（论文）选题想说明什么主要问题，结论是什么，在开题报告中要作为研究的基本内容给予粗略的，但必须是清楚的介绍。不用此信息时，删除此框。二、研究的基本内容和拟解决的主要问题目前，国内外各种类型的传感器有100多种，但射流角速率传感器仍受到美、日等发达国家的极大重视，原因是这种角速率传感器具有着其他传感器不可媲美的一些特点。射流角速率传感器是利用射流束在哥氏力（Coriolis）作用下发生偏转来实现角速度测量的，是一种具有陀螺功能，而没有高速转子的新型固态惯性传感器。由于采用气流来敏感角速度，不存在可动部件，因而抗过载和抗冲击的性能非常好，其承受过载的能力比一般陀螺高一个数量级，在承受16000g以上的冲击后仍然能够正常工作，是末制导炮弹不可缺少的关键部件；这种角速率传感器响应时间也比较快，约为5080ms；另外，其寿命和可靠性也比一般角速率传感器高一到两个数量级，平均无故障工作时间可达250000小时；而且这种传感器具有成本低的特点，其成本约为一般传感器的1/31/2；最后，这种传感器的信号处理电路非常简单，只需要一个直流电桥即可以将角速度信号读出。光纤陀螺也属于固态惯性传感器，抗冲击和抗过载能力也比较强，但是其配套的电路系统比较复杂，而且价格较高。本次论文是突破了用传统机械加工方法制成的射流角速度传感器，将MEMS技术用于射流角速度传感器，为射流角速度传感器的微型化发展开辟了一条新途径。在开题报告中学生要说明自己准备采用什么样的研究方法。比如调查研究中的抽样法、问卷法，论文论证中的实证分析法、比较分析法等。不用此信息时，删除此框。三、课题的研究方法及措施3.1研究方法（1）对射流角速率传感器的版图进行优化设计，使角速率传感器的结构达到最理想值；（2）使用ANSYS程序，建立有限元模型，进行模态分析。（3）解决制作过程中遇到的工艺难题，尤其是在热敏电阻丝的制作，键合工艺，以及ICP刻蚀中出现的问题。（4）完成流片试验，制作出微型射流角速率传感器样片，进行封装和测试。本次论文是突破了用传统机械加工方法制成的射流角速度传感器，将MEMS技术用于射流角速度传感器，为射流角速度传感器的微型化发展开辟了一条新途径。二级标题、三级标题应写成3.1、3.2和3.1.1、3.1.2的形式。具体要求详见大专毕业设计（论文）模板。不用此信息时，删除此框。3.2措施（1）参加反应的气体（SiCl2H2和NH3）和非反应气体混合物从管口部位进入，运输到具有一定长度的管道淀积区内。（2）反应物分子随主流气体扩散到达衬底表面并吸附在衬底表面上。（3）吸附在衬底表面上的反应物分子发生化学反应生成Si3N4沉积在硅表面上，而另一产物HCl气体很容易外扩散离开表面。（4）反应后的气体被抽出积淀区。LPCVD生成Si3N4是不定型的介电材料，大约含有8%的氢原子。温度、压力，反应物浓度均对该工艺有影响。课题研究工作的步骤和进度就是课题研究在时间和顺序上的安排。毕业设计（论文）创作过程中，材料收集、初稿的写作、论文的修改等 ，都要分阶段进行，每个阶段从什么时间开始，到什么时间结束都要有规定。不用此信息时，删除此框。四、课题研究工作的步骤、进度2005.112005.12 论题了解 阅读了与论题有关的基础性文献，对射流角速率传感器有一个较全面的了解2005.122006.3 流片实验 对射流角速率传感器的版图进行流片，掌握每个工艺步骤2006.42006.9 模拟分析 使用ANSYS进行建模分析，提出问题，改进版图2006.102006.11 版图设计 优化版图，提高结构的可靠性，并进行流片实验2006.112007.3 论文答辩 撰写论文，论文答辩 内容举例：(仅供学生参考)课题研究工作的步骤、进度2008.11-2008.12 现场调研及文献阅读 确定烟台交运集团发展现代物流的设计方案2009.12-2009.01 现代物流的设计方案分析，进行相关实验 初步完成烟台交运集团发展现代物流的优化设计方案2009.01-2009.02 现代物流的最优化设计、应用 基本完成交运集团发展现代物流的优化设计，并进行相关应用2009.03-2009.05 课题总结，撰写论文 对交运集团发展现代物流的应用进行总结，形成论文初稿2009.06 论文答辩 论文答辩，修改定稿以上红字内容改为论文题目在开题报告中应列出主要的参考文献，在实际上介绍了自己的准备情况，表明自己已了解所选课题的相关资料源，证明选题是有理论依据的。参考文献内容：宋体，字号：五号；参考文献另起一页。参考文献按正文中引用顺序排列；参考文献数量不少于10篇，其中外文参考文献不少于2篇，并且包含一定数量的期刊。参考文献具体书写格式参见大专毕业设计（论文）模板。不用此信息时，删除此框。五、主要参考文献（列出至少10篇重要的参考文献，其中外文至少2篇）1 王寿荣编著. 硅微型惯性器件理论及应用. 南京: 东南大学出版社, 2000:1022美 格雷戈里 T. A. 科瓦奇. 微传感器与微执行器. 北京：科学出版社，2003,3:12923 张昆，冯立群，余昌钰，等. 机器人柔性手腕的球面齿轮设计研究J. 清华大学学报，1994, 34(2): 1-7.4 郑开青. 通讯系统模拟及软件D.北京：北方工业大学无线电系，1987.5 姜锡洲. 一种温热外敷药制备方法P.中国：881056073，1980-07-26.6 中华人民共和国国家技术监督局. GB31003102. 中华人民共和国国家标准量与单位S.北京：中国标准出版社，1994-11-01.7 萧钰. 出版业信息化迈入快车道 EB/OL . 2002-04-15 . http:/www.creader. com/news/20011219/200112190019.html.8 姜英敏. 国际理解教育的发展及其问题N.中国教育报,2007-05-05(3).9 Greiff P, et al. Mioromechanical gyroscopic transducer with improved drive and sense capabilities. U.S patent No. 5408877, 15. 410 Tang W C. Laterally driven polysilicon resonant microstructures. Sensors and Actuators, 1989, A20: (25-32)11 Aslam, M., and Schulz, D.,”Thechnology of Diamond Microelectromechaincal Systems,” Proceedings of Transducers95, the 8th international Conference on Solid-Sta