标准解读

《GB/T 37030-2018 电子级三甲基铟》是一项国家标准，主要针对用于半导体制造过程中的高纯度三甲基铟产品。该标准规定了电子级三甲基铟的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存的要求。

根据标准内容，对于电子级三甲基铟而言，其纯度是关键指标之一，需要达到特定水平以满足半导体行业的严格需求。此外，还对其中可能存在的杂质种类及其最大允许含量进行了详细限定，包括但不限于金属杂质和其他有机或无机化合物。这些杂质限制旨在确保最终产品的性能不受影响，并能够适用于各种精密的半导体工艺中。

在检测方面，《GB/T 37030-2018》提供了具体的分析测试方法来验证产品质量是否符合上述技术规范，涵盖物理性质测定（如密度）、化学成分分析等多方面内容。通过采用高效液相色谱法(HPLC)、气相色谱-质谱联用(GC-MS)等先进仪器进行精确测量，保证数据准确可靠。

同时，此标准也明确了出厂前及入库后的质量控制流程，包括取样方式、验收标准等内容，确保每一批次的产品都能达到统一的质量水平。最后，在产品的标识、包装形式、运输条件等方面也有相应指导性说明，以便于用户正确处理并保存这类敏感化学品。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-12-28 颁布
  • 2019-04-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7110020G 86 . .中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T370302018 电 子 级 三 甲 基 铟 Electronicgradetrimethylindium2018-12-28发布 2019-04-01实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 中国国家标准化管理委员会 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 电 子 级 三 甲 基 铟 GB/T370302018 * 中 国 标 准 出 版 社 出 版 发 行北京市朝阳区和平里西街甲 号 2 (100029) 北京市西城区三里河北街 号 16 (100045) 网址 : 服务热线 :400-168-0010 年 月第一版 2018 12 * 书号 :1550661-61411 版权专有 侵权必究 GB/T370302018 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 提出并归口 (SAC/TC203) 。本标准起草单位 江苏南大光电材料股份有限公司 中国电子技术标准化研究院 : 、 。本标准主要起草人 陈化冰 孙明璐 王香 曹可慰 : 、 、 、 。 GB/T370302018 电 子 级 三 甲 基 铟1 范围 本标准规定了三甲基铟的技术要求 试验方法 检验规则 包装 标志 运输 储存和安全 、 、 、 、 、 、 。 本标准适用于铟镁合金法 三氯化铟法 格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基 、 、 铟 该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等 。 。 分子式 :C3H9In 相对分子质量 按 年国际相对原子质量计算 :159.92( 2013 )2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 危险货物包装标志 GB190 工业用化学产品采样安全通则 GB/T3723 固体化工产品采样通则 GB/T6679 电子级水 GB/T11446.1 危险货物运输包装通用技术条件 GB12463 化学品安全标签编写规定 GB15258 常用化学危险品贮存通则 GB15603 洁净厂房设计规范 GB50073 3 技术要求 三甲基铟的技术指标应符合表 要求 1 。 表 1 技术指标 项 目 指 标 三甲基铟 纯度 质量分数 -2 (C3H9In) ( )/10 99.99995 银 含量 (Ag) /(g/g) 0.2 铝 含量 (Al) /(g/g) 0.3 砷 含量 (As) /(g/g) 0.5 金属元素 硼 含量 及其他元 (B) /(g/g) 0.2 钡 含量 素含量 (Ba) /(g/g) 0.1 铍 含量
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