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文档简介

问题： 1、多维力传感器中被测量的个数与检测桥路的数量有何关系？ 2、触觉传感器主要的性能指标应该包括哪几项？,现代检测技术导论 第三章 物理量检测与传感器 3.3 厚膜力敏传感器（高理升） 3.4 磁传感器（林新华） 3.5 光与图像传感器（孔斌） 3.6 热流式传感器 3.7 谐振式传感器,3.6 热流式传感器,3.6.1 工作原理 在密闭的腔体内利用热电阻加热空气，形成稳定的对流，当器件倾斜或存在加速度时，对流方向发生改变，使测试电阻处的气流速度不同，引起对流散热速率变化，从而使得测试电阻的阻值改变。,原理：,3.6.2 MEMS热流式传感器,美国George Washington大学 腔体的尺寸500m 一维热电偶式结构，加热功率在40mW到90mW时，灵敏度可达到40V/g到115V/g ，频率响应 100Hz 一维热电阻式，加热功率在120mW和430mW的时候，灵敏度分别为25 V/g和185 V/g ,频率响应600Hz 二维结构灵敏度略低,输入-输出曲线,灵敏度-功率曲线（30Hz）,德国S.Billat利用SOI技术 性能： 空气，响应时间300ms; SF6，响应时间600ms 灵敏度:1.6mV/ (45mW、SF6气体) 量程：360 分辨率：0.007 功耗：5mW-50mW,信息产业部十三所 功率为200mW时灵敏度为0.35V/g，量程为75g，抗冲击大于100g。这个传感器中，腐蚀槽的深度为150m，多晶硅加热电阻长1000m，宽80m，厚度2m，测温电阻长1000m，宽
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