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文档简介

质量流量控制器简介,上海堀场贸易有限公司,质量流量控制器主要是由传感器、电路板和驱动阀三大部分组成。是能够对气体流量做精密测量和控制的一种仪器。主要使用在半导体工业和平面显示器制造和太阳能电子方面。 质量流量：质量流量控制器感测的是通过的气体的分子量，工作时不受外界的温度和压力的影响。,CONTROL ELECTRONICS (P-I-D),SIGNAL PROCESSING,电源: +/- 15VDC,设定信号: 05V,输出信号: 05V,进气端,出气端,什么是质量流量控制器,阀驱动,传感器,控制阀,侧流管,MFC 的内部结构图,传感器的结构,热传感器,. 根据传感器的结构，当没有气体流入时， 传感器两边的温度呈抛物线状均匀分布。 当有气体流过时，上流端的自加热电阻 产生的热量被带走，从而两端形成一定 的温度差，使传感器两边的温度曲线分 布不再平衡。,传感器侧流管,传感器在不同压力下的特征,必须使侧流管设计为层流结构，这样才能流 出相对稳定和精准的流量 。 （実用新案第号）,侧流管在不同压力下的特征,压电陶瓷驱动器,陶瓷的堆栈结构,外壳构造,干燥的氮气,连接端口,陶瓷驱动器的内部结构,MFC 的阀结构,陶瓷阀的工作效果图,提供高的直流电压,压电元件,移动方向,压电元件的伸长,MFC 的阀结构,零点对实际流量的影响,+200mv,-200mv,200mV 5000mV(5V) 0.04(4） 100SCCM44SCCM,SCCM 标准立方厘米每分钟 SLM 标准立方升每分钟 1000sccm = 1slm SCCM和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度，一个标准大气压的条件。 在美国，标准条件被广泛接受和认同。 .然而，在其它不同的国家通常使用的流量单位除了SCCM和SLM外还有 CCM/ LM (日本) 温度为 25C, 一个标准大气压 NCCM/ NLM (日本) 温度为20C, 一个标准大气压 CCM作流量单位和SCCM作流量单位的MFC之间的流量相差大约为9.1%。,什么是SCCM /SLM 及区别,气体 A,N2,真实流量,需要流量,QA = C.F.A * QN2,QA : 气体 A的流量 C.F.A: 气体A 到N2的转换因数 QN2: N2的流量,转换因数是一个平均值。但是实际的转换因数可能会因为流量的范围和外界的压力和温度的影响而稍有不同。 转换因数是使用氮气进行转换，如果是用其它气体作为测量气体，那么测出的气体流量值则会偏差很大。,N2,什么是MFC的转换因数,如何选择合适的质量流量控制器,SEC-7330 M C UC Ar 100SCCM 1/4VCR 型号 *1 *2 *3 *4 *5 *6 *1: 选择密封圈的材质 M:金属密封圈 R: 橡胶密封圈 *2: 选择阀在不供电的情况下的状态 O: 常开 C: 常
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