封帽机完好要求和检查评定方法.pdf

设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中华 人 民共 和 国 电子 行 业 标 准 s j / r 3 1 0 7 7 -9 4 封帽机完好要求和检查评定方法 主百 内容与适用范困 本标准规定了7 1 0 0 a c型, 7 0 0 a c型封帽机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于半导体器件生产中， 类似 7 1 0 0 a c型, 7 0 0 a c型封帽机。 2 完好要求 2 . 1 主要技术性能指标 a .生产效率: 3 6 0 0只/ h ; b .最大输出功率: 1 7 5 k w; c .输出电压范围: 1 1 2 . 4 v; d . 最大输出电流: 1 5 0 0 0 0 a; e . 压力可调范围: 2 . 7 6 x 1 0 5 8 . 2 7 x 1 0 5 p a ; e .上下焊头工作面平行度: 0 3 5 士0 . 0 6 m m, 2 . 2 操作系统 2 . 2 . 1 脚踏开关灵敏、 可靠。 2 - 2 - 2 面板轻触开关启动灵敏。 2 . 3 机械系统 2 . 3 . 1 各气阀调节开关灵敏、 可靠， 性能稳定。 2 . 3 . 2 焊接转盘定位准确。 2 . 3 . 3 上、 下焊头间的平行度在 0 . 0 1 2 mm之内。 2 . 3 . 4 操作箱密封装置齐全、 无损伤， 密封性可靠。 2 . 4 电气系统 2 . 4 . 1 电气系统装置齐全， 管线整齐， 外部导线绝缘层无破裂、 老化、 漏电现象。 2 . 4 . 2 电气性能良好， 功能齐全， 运行可靠; 保护装置齐全、 有效。 2 - 4 - 3 电气控制箱内整洁， 布线整齐， 线路标志齐全、 正确， 绝缘层无破损、 老化， 各端子连接 牢固、 可靠; 各指示灯齐全、 无损坏现象， 指示正确; 各种仪表性能灵敏， 指示准确， 有有效期校 验 合格证 。 2 - 4 - 4 照明系统装置齐全、 整洁， 线路连接可靠、 安全。 2 . 4 . 5 各故障安全保护装置应灵敏、 可靠。 25 微机控制系统 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 35 7 s j / t 3 1 0 7 7 -9 4 2 . 5 . 1 各开关、 按钮、 操作键完整无损， 动作灵敏、 可靠， 控制装置各组成部分保持完整、 功能 齐全， 性能稳定， 工作状态良好 ， 显示诸晰。 5 . 2 显示器能正常显示通电自检的正常信息， 微机系统通电自检功能必须正常。 5 . 3 箱人/ 输出程序正确无误。 5 . 4 打印机、 穿孔机与主机接口良好 ， 工作正常。 5 . 5 装置内部清洁， 布线整齐， 线路无老化、 破裂， 各线路标志齐全、 正确。 5 . 6 所有裸露导体件( 包括外 壳) ， 必须与保护接地端子构成通路， 保证有永久良好的导电 ， 保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于i n . 6冷却系统 6 . 1 冷却装置齐全、 整洁。 6 . 2 冷却液管路整齐， 循环正常， 无阻塞现象; 各连接处连接牢固可靠， 密封性好， 无泄漏。 63 冷却液箱内整洁， 无异物、 杂质、 污垢， 冷却液无变质、 异味; 冷却泵工作正常. 6 . 4 各冷却点保护传感器性能灵敏， 工作正常。 了干燥 系统 7 . 1 各气路元件工作可靠， 管路整洁， 联接处密封性好， 无泄漏。 了 . 2 分子筛吸附能力强， 能有效除湿。 8 气路系统 8 . 1 各元件功能齐全， 动作灵敏、 可靠. 8 . 2 各接头、 阀之间连接牢固， 密封性好， 无泄漏。 8 - 3 压力表等仪表齐全， 指示准确， 误差在允许范围内， 有有效期校验合格证。 9附件 附件齐全 ， 保管良好， 无锈蚀、 损坏。 1 0 安全防护 1 0 . 1 各安全防护装置齐全、 完整、 可靠。 1 0 - 2 设备接地( 或零) 可靠， 标志明 显. 1 1 维护保养 1 1 - ， 按设备使用 维护要求， 定期更换焊头。 1 1 . 2 其它按s j / t 3 1 0 0 2 -9 4 设备维护保养通则 执行。 2.乡2.2.2.性2.2.2.2.2.2.2.2.么2.2.2.2. 检查、 评定方法 1 检查方法 1 . 1 主要技术指标完好要求中， a 项用秒表检测在规定时间内的工作量， 连续测定 3 -5 ， 按平均值计， 其它各项运用相应检测器具检测。 1 . 2 2 . 3 . 3 条用复写纸放在白纸上， 置于上、 下焊头间， 上、 下焊头接触压紧后松开， 抽出 ， 视线条粗细程度， 测定上、 下焊头间平行度。 1 . 3 其它采用主观法， 在设备现场检查。 2 评定方法 2 . 1 完好要求中， 2 . 1 各项指标和 2 . 3 . 1 -2 . 3 . 3 , 2 . 1 0 . 1 -2 . 1 0 . 2 为主要项目， 其余为次 n艺口乙八月乙门乙内艺q 3.3.次3.纸3.3.3. 要项 目。 3 . 2 . 2 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项 目有二项不符合要求， 亦为不完好