精缩机完好要求和检查评定方法.pdf

设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中华人民共和国电子行业标准 s j / r 3 1 1 1 5 -9 4 精缩机完好要求和检查评定方法 主题 内容和适用范围 本标准规定了半导体器件生产用精缩机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于3 6 9 6 型, 3 5 9 5 型、 e m2 5 0 型精缩机， 其它型号的精缩机， 亦可参照执行 名词与术语 2 门主掩膜 在制版过程中， 将中间掩模图形进行缩小并分步重复制成图形陈列的版， 称主掩模。 2 - 2 镜头实拍分辨率 在标准工艺条件下， 镜头在其视场内可能产生的最小图像尺寸， 或单位长度可分辨的最大 线对数 目。 完好要求 3 . 飞 主要技术指标 3 . 1 . ， 工作台定位精度优于 - 1- 0 . 1 5 p -, 3 . 1 . 2 工作台最大行程为1 5 0 m m x 1 5 0 mm 全程范围内的总精度为士。 . 6 1 m, 3 . 1 . 3 工作台位移正交性为士l a i c s e c o n d ( l p m/ m) , 3 . 1 . 4 光学镜头在2 。 倍缩小时有效视场为l o mm x l o mm实用分辨率为1 . 2 5 p m, 3 . 1 . 5 可制作最大圆形陈列为1 5 0 m m x 1 5 0 m m的主 掩模， 可制作铬版和乳胶干版， 有效视场 内 米源均匀性为士2 . 5 %, 3 . 1 . 6 自动调焦系统 7 . 轴运动范围是6351m， 对版面探测及跟踪精度为士。 . 2 5 p m, 3 . 2操作系统 3 . 2 . 1 各操作变速手柄， 开关按钮启动灵活、 定位可靠、 标志齐全。 3 . 2 . 2 制动、 限位装置齐全， 灵敏可靠。 3 . 3传动系统 3 . 3 . 1 伺服工作台机械传动平稳可靠 3 . 3 . 2 机械精度间隙、 磨损量、 平整度， 平稳度符合要求。 丝杆、 导轨润滑良好。 3 . 4光学 系统 3 . 4 . 1 各光学另部件的位置精度正确可靠， 光栅及光学镜头无尘、 无油污、 无霉斑、 确保视场 -一. 一 -一- 一一 一 一弓 一 一一一一 一 一响 一-户 中华人民共和国电子工业部1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1 实施 45 6 5 j / r 3 1 1 1 5 -9 4 清晰。 3 . 4 . 2光学系统零 部件齐全完好几 3 . 4 . 3 光学调焦装置灵活可靠。 3 . 5 电气系统 3 . 5 . 1 电气控制箱内布线整齐， 各指示灯齐全完整， 指示正确可靠。 各种线路标志明显， 联接 可靠。 3 . 5 . 2 伺服工作台控制部分、 符合使用技术要求。 3 . 5 . 3 步距控制及曝光系统正确可靠。 3 ， 54 电气线路板接触可靠， 其它各种接触器、 继电器灵敏可靠。 3 . 5 . 5 各光电传感器工作正常， 动作准确。 3 . 5 . 6 各电流表、 电压表指示正确， 误差在允许范围内， 且有有效期内校验合格证。 3 . 6气路( 压缩空气、 真 空) 系统 3 . 6 门 为隔震台提供干燥及经过滤的压缩空气( 配有专用空压机的， 其完好要求按空压 机完 好要求 执行少 。 3 . 6 . 2 低压真空泵工作正常， 真空泵完好要求参照 s j / t 3 1 4 1 2 -9 4 执行。 3 . 6 . 3 各气缸、 电磁阀、 节流阀工作可靠。 3 . 6 . 4 气路及真空管道、 接头、 阀门等元件之间联接牢固， 密封性好， 无漏气现象; 各管路排列 整齐、 清洁。 3 . 了 微机控制系统 3 . 7 门各开关、 按钮、 操作键完整无损， 动作灵敏、 可靠， 控制装置各组成部分保持完整、 功能 齐全， 性能稳定， 工作状态良好， 显示清晰。 3 . 7 . 2 显示器能正常显示通电自检的正常信息， 微机系统通电自检功能必须正常。 3 . 7 . 3 输入/ 输出程序正确无误。; 3 . 7 . 4 打印机、 穿孔机与主机接口良好， 工作正常 3 . 7 . 5 装置内部清洁， 布线整齐， 线路无破裂、 老化， 各线路标志齐全、 正确、 明显。 3 . 了 . 6 所有裸露导体件( 包括外壳) ， 必须有良好接地. 微机系统任何裸露导体件和整机外壳 之间的接地电阻不得大于0 . 1 s 2 3 ， 8 润滑系统 3 . 8 . 1 润滑装置齐全， 管线完整， 密封性好， 无漏油现象。 3 . 8 . 2 各润滑点清洁无堵塞现象， 油路畅通， 润滑良好。 3 . 8 . 3 油质符合规定要求; 油位醒目， 油窗明亮， 油量达标。 3 ， 9附件 附件齐全， 保管良好， 无锈蚀及损伤。 3 . 1 0附属装 置 净化间应保持2 1 士0 . 1 c， 相对湿度应小于7 0 %， 净化应保持1 0 0 级以内。 3 . 1 1安全 防护 3 门1 门各安全防护装置齐全， 可靠。 3 . 1 1 . 2 接地可靠， 标志明显。 3 . 1 2 维护保养 3 . 1 2 . 1 设 备工作环境温度应保持在1 8 -2 7 t : , 相对湿度应保持在7 5 0 o r“ h 以下 吐 57 s .i / t 3 1 1 1 5 - 9 4 3 . 1 2 . 2 其他按 s j / t 3 1 0 0 2 -9 4 设备维护保养通则 中第三章执行 检查 、 评定方法 检查方法 用游标测试中间掩膜( 见图示) 以一定的步距制作3 -5 块图形陈列。 用高精度测长仪器及高倍显 微镜检测图形陈列。 通过游标检测设备缩小倍率。 通过游标检测设备角度及定位精度。 通过游标检煎( 设备重复定位精度。 通过游标检测镜头实用分辨率及光源均匀性。 用干湿 度表及 尘埃 粒子计数器检测净化间环境状况。 对各系统完好要求， 在设备现场采甲主、 客观方法相结合， 进行检查 评定方法 4.14.114124.1.34.1.4价41641741842 wc s q mra u g . 1 7 7 1 4 . 2 . 1 4 . 2 . 2 设备 。 4 . 2 . 3 图示游标测试图形 完好要求所列内容中， 3 . 1 . 1 - 3 . 1 . 6 , 3 . 1 1 . 1 - 3 . 1 1 . 2 为主要项目， 其余为次要项目 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 完