ed—401型装片机完好要求和检查评定方法.pdf

设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 s j / r 3 1 0 7 5 -9 4 e d -4 0 1 型装片机完好要求和检查评定方法 主肠内容与适用范圈 本标准规定了e d -4 0 1 型装片 机的 完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于e d -4 0 1 型装片机， 其它半导体集成电路生产用的类似结构装片机也可参 照执行 。 完好要求 2 . 1 主要技术指标 2 . 1 . 1 主要技术指标完好要求见下表。 序号检 测 项目完 好 要 求检 测 器 具 和 方 法 1 工作台送进速度z 7 mm/ s用直尺进行长度计量， 秒表计时近 z mln z 机器生产能力1 . 4 . / 块用秒表计时 3 胶滴下位置差错0 / 3 6 0块用时钟计时 in , 观察有无差错 4装片精度 x= 0 . 3 mm y= 0 . 3 m m q( 士 3 0 用b j 5 测量显微镜进行检测。 2 . 2 操作系统 2 . 2 . 1 各操作变速手柄、 开关、 按钮启动灵活、 定位可靠、 标志齐全。 2 . 2 . 2 .制动、 限位装置齐全， 灵敏可靠。 2 . 3 传动系统 2 . 3 . 1 机械滑动链杆、 凸轮运转正常可靠。 2 - 3 - 2 上、 下料装置运动可靠， 引线框传送位置正确， 无卡住现象。工作台运行可靠。 2 . 4 电气系统 2 - 4 - 1 电气控制箱内布线整齐， 各指示灯开关、 按钮齐全完整， 指示正确可靠。各种线路标志 明 显， 线路无老化、 破裂， 联接可靠， 工作状态良 好， 显示清晰。 2 . 4 . 2 电气线路板接触可靠， 其它各种接触器， 继电器动作灵敏可靠， 输入/ 输出程序正确无 误 。 2 . 4 . 3 各光电传感器工作正常， 无误动作。 2 . 4 . 4 芯片检测灵敏度符合工艺要求。 2 . 4 . 5 各电流表、 电压表指示正确， 误差在允许范围内， 且有有效期内校验合格证。 2 - 5 气路系统 中华人民共和 国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 3 53 s j / t 3 1 0 7 5 -9 4 2 - 5 . ， 各气缸、 电磁阀安装位置正确， 工作平稳、 行程到位， 不应有停滞和爬行现象。 2 . 5 . 2 气路系统中各元件动作灵敏、 可靠; 2 . 5 . 3 气路及真空管道、 接头、 阀门元件之间联结应牢固、 密封、 无漏气现象. 2 . 5 . 4 各气体压力 表头指示正确， 误差 在允许范围内， 且有有效期内 检验合格证. 2 - 6 光学系统 2 . 6 . ， 显微 镜调焦机构上、 下升降 灵活 可靠， 视场清晰。 显微镜镜头齐全， 无明 显霉斑， 视场清 晰 。 2 . 6 . 2 电视监示器图像清晰， 识别系统工作可靠。 2 . 了 安全防护 2 . 7 . 1 设备保护盖板、 挡尘板齐全 ， 完整、 无损， 牢固、 可靠。 2 . 7 . 2 各种联锁、 报警装置灵敏 ， 功能可靠， 外壳接地可靠。 2 . 8 维护保养 按s j / t 3 1 0 0 2 -9 4 设备维护保养通则 执行。 3检查、 评定方法 3 . 1 3 . 1 . 1 3 . 1 . 2 3 . 2 3 . 2 . 1 3 . 2 . 2 设备 。 3 . 2 . 3 检查方法 主要技术指标的检测方法见表。 对完好要求除 2 . 1 . 1 项外， 采用现场主观方法进行检查. 评定方法 主要项目2 . 1 . 1 项， 其余均为次要项目。 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 完好设备的维护保养， 应达到优等