QCC短路圈会成果报告.ppt

1 QCC短路圈會 圈會成員 圈長 賴國城輔導員 黃貴煥圈員 陳俊廷 龔靖城陳溢群 陳建銘方麒銘 2 工作進度 六月 收集不良樣本 層別不良原因 七月 對策實施 數據確認 對策修正 八月 全品目水平展開 九月 對策數據確認與修正 3 對策品目選定 依據每月計劃投入LOT數及LOT不良率 我們選定兩個對策品目 FD0475FS0512 4 不良現況 依據取樣1142PCS觀察分析 層別出目前FD0475與FS0512主要有下列不良現況 1 銅面上有異物沾附 膜屑 導致銅材未被氯化銅攻擊2 蝕刻不淨3 其他因素 5 銅面上異物沾附 膜屑 70 3 6 蝕刻不淨 19 1 FS0512 7 其他因素 10 6 8 膜屑反沾 9 問題層別 我們將顯像後的製品烘乾 用顯微鏡觀察發現 有大量膜屑沾附 10 觀察顯像後水洗槽的濾網 發現大量膜屑被帶出 11 我們取樣5月份週保前後各5LOTs做比對 12 13 故我們假設造成短路LOT不良率差異的原因為 1 濾袋更換 提高過濾效果 2 藥水更新 提高顯像能力 3 滾輪清潔 降低反沾機率 14 要因分析 膜屑反沾 15 對策 1 變更滾輪排列 減少實心滾輪使用2 增加顯像藥液 濾心濾袋更換頻度3 建浴室建浴程序標準化4 調整自動添加系統 維持藥水穩定 16 變更滾輪排列 變更前 變更後 將原有放置於顯像槽與水洗槽間之實心滾輪 變更為輪片式滾輪 減少滾輪與製品接觸面積 降低異物反沾之機率 將水質PH值控制於7 5以上 防止弱酸水質與帶出的顯影液再反應 17 我們測試了12LOTS 並與測試前做比對 18 變更濾網網目 我們將顯像後水洗槽原本使用25網目的濾罐更換為48網目 藉以提高過濾效果 19 濾網變更後 仍有大量膜屑帶出 分析藥水老化與溶膜量 20 顯像藥液 DOWN槽後 追蹤其葯液變化發現 自動添加系統無法維持穩定的作業濃度 21 根據DRYFILM供應商華立的建議 25um厚度的DRYFLIM藥水實際溶膜量 S 要 0 4m2 L 20um厚度的DRYFLIM藥水實際溶膜量 S 要 0 5m2 L 依廠內生產品目去做估算 0 25m 0 3m 30 被溶蝕率 100 張數 2 25m2 lot1000 槽體積 0 5 500m21000 槽體積 0 4 400m2500 2 25 222lots 20um厚DRYFILM 單面板 400 2 25 177lots 25um厚DRYFILM 雙面板 再導入每班產出量 單面板 70lots 班 222 70 3 17班 約1 5天 雙面板 40lots 班 177 40 4 43班 約2 5天 22 我們依據華立提供的滴定方法 量測單面板機台顯影槽DOWN槽前 後實際溶膜量 單面蝕刻機 S 0 5 23 增加DOWN槽頻度 濾袋更換頻度 1 先開立暫定條件 增加DOWN槽頻度 提高藥水溶膜能力 2 增加濾袋更換頻度 增加顯像槽過濾能力 24 單面蝕刻機顯象中繼槽作動測試 25 雙面蝕刻機顯象中繼槽作動測試 26 建浴室 在自動添加的測試中發現建浴室顯像藥水的調配程序未被標準化 影響測試的準確性 27 在調整自動添加量的過程 我們導入了PH值作為顯像藥水老化與否的判定依據 條件一 自動添加設定10秒 間隔10秒單面機台 每次補充量625ml 平均PH值為10 57雙面機台 每次補充量475ml 平均PH值為10 49條件二 自動添加設定30秒 間隔30秒單面機台 每次補充量1980ml 平均PH值為11 12雙面機台 每次補充量1450ml 平均PH值為11 09 藥水商給的建議是在PH11以上 而參考旗勝的管制點是設在PH10 5以上 28 改善效益 29 30 八月導入全品目後 31 蝕刻不淨 32 要因分析 蝕刻不淨 33 平行度校正導入 將平行度校正步驟標準化 並由製技人員測