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文档简介

.12.1标准漏孔及其常用的结构形式定义：标准漏孔就是专门为真空检漏及其校准工作而制造，能够在一定的条件下向真空系统内部提供已知气体流量的、元件。规格：所提供的气体流量。（一般应注明气体种类、温度、压力等条件）作用：校准检漏仪器的灵敏度；标定检出漏孔的大小；测量真空泵的抽速；校准真空计等。类型：1：实漏型-金属压扁型，玻璃毛细管型等； 2：虚漏型-薄膜渗透型，放射型等。其他分类方法：标准漏孔的核心是产生恒定气流率的泄露部件，按其泄漏气体的通过机制，可分为渗透性标准漏孔和通道型标准漏孔；或者按其应用领域可分为真空检漏标准漏孔和吸枪检漏标准漏孔等。12.2 标准漏孔的校准实质：测量微小流量的问题。方法：定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。1；定容升压法（静态升压法） 2：氦质谱检漏仪比较法 12.3标准漏孔使用中应注意的问题1：标准漏孔，特定条件，标称漏率；2：防止漏孔被堵塞；3：不用时应妥善保管；4：使用时间过长时，应从新校准；5：避免在极端的条件下使用；6：安装时应小心，安装要合理；7：漏孔堵塞后应如何疏通。分子流时上式才适用部分内容来源于网络，有侵权请联系删除！
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