(改)电子级磷酸市场调研报告.doc

1 电子级磷酸市场调研报告电子级磷酸市场调研报告 修改版 贵州威顿晶磷电子材料有限公司贵州威顿晶磷电子材料有限公司 二二 oo 八年十二月二日八年十二月二日 2 目目录录 1 1 电子级磷酸概述 电子级磷酸概述 4 4 1 1 电子级磷酸定义 4 1 2 电子级磷酸概述 4 2 2 电子级磷酸技术发展趋势 电子级磷酸技术发展趋势 5 5 3 3 电子级磷酸的主要应用领域电子级磷酸的主要应用领域 6 6 3 1 在 tft lcd 产业的应用 6 3 2 在 ic 行业中的应用 9 3 3 ic 用磷酸与 tft 用磷酸区别分析 11 4 4 电子级磷酸国际市场综述电子级磷酸国际市场综述 1515 5 5 大陆电子级磷酸市场综述 大陆电子级磷酸市场综述 1515 6 6 电子级磷酸进出口分析 电子级磷酸进出口分析 1616 6 1 大陆进出口数据分析 16 6 2 海外进出口数据分析 19 7 7 电子级磷酸市场容量评估 电子级磷酸市场容量评估 2626 7 1 国内市场 26 7 2 国际市场 27 8 8 电子级磷酸价格分析电子级磷酸价格分析 2828 8 1 国际贸易价格 28 8 2 大陆贸易价格 30 9 9 国外电子级磷酸生产商 国外电子级磷酸生产商 3232 9 1 日本磷化学工业株式会社 rinkagaku kogyo 32 9 2 日本化学工业公司 nippon chemical industrial co ltd 32 9 3 日本 rasa 工业株式会社总公司 33 9 4 美国 sigma aldrich corporation与 honeywell 33 9 5 以色列的 icl group israel chemicals limited 34 9 6 德国的 basf 与 merck 34 9 7 波兰 kanto与 merck kanto 34 9 8 韩国东友 34 9 9 韩国东进 dongjin semichem 34 9 10 英国 gower 化学有限公司 35 1010 国内电子级磷酸生产厂家 国内电子级磷酸生产厂家 3535 10 1 四川成洪磷公司 35 10 2 江阴澄星磷化工 集团 股份有限公司 36 10 3 其它信息 38 1111 风险分析 风险分析 3939 3 11 1 市场风险 39 11 2 技术风险 39 11 3 成本风险 40 4 本 电子级磷酸市场调研报告 以电子级磷酸的用途 产能 产量 消费 价格 进出口等数据为依据 以技术 市场和客户为报告的重点内容 内容包 括市场条件 主要生产商经销商分析 技术情况 市场趋势等 数据来源于中 国权威信息机构 1 电子级磷酸概述 电子级磷酸概述 1 1 电子级磷酸定义电子级磷酸定义 电子级磷酸又可称为超高纯磷酸 它是超净高纯试剂中的一种 主要用于 芯片的清洗 腐蚀 印刷电路板的腐蚀和电镀清洗 目前作为 tft lcd 薄膜 液晶显示器 和 ic 大规模集成电路 行业中的蚀刻液 被广泛应用于集成电路及 液晶显示器领域中 电子级磷酸被称为 磷酸行业皇冠上的明珠 1 2 电子级磷酸概述电子级磷酸概述 电子级磷酸在性质上和普通磷酸一样 磷酸 含量为 时 为无色 透明糖浆状液体 无水份的磷酸为无色不稳定的斜方晶体 易吸潮 能与水及 乙醇任意混合 电子级磷酸生产的方法主要有湿法和热法两种 其中用硫酸及其他无机酸 处理磷矿石制作的磷酸称为湿法磷酸 将湿法磷酸用提纯的方法净化得到杂质 含量在要求范围内的磷酸为电子级磷酸 用电炉或高炉生产电子级度的单质磷 而后经燃烧水化得到的磷酸则称为热法磷酸 1 2 1 湿法磷酸湿法磷酸 通过对含磷酸盐矿石的酸化处理 处理酸通常为硫酸 制得湿法磷酸 经 过净化达到电子级磷酸的标准 净化磷酸的技术很多 如离子交换法 离子交换膜电渗析法 磷酸浓缩结 晶法或复盐结晶法 有机溶剂萃取法 有机溶剂沉淀法 化学沉淀法等 其中 超净过滤可能是采用来做电子级磷酸净化的技术 5 1 2 2 热法磷酸热法磷酸 一般情况下 半导体用磷酸都采用热法 即电炉法 生产 因为半导体用 磷酸要求可溶性金属尤其是重金属含量低 以避免对微电子线路的污染 其中 任何尺寸大于 0 5 微米的不溶性杂质微粒都有可能造成这些期间的短路 用于微电子行业的超纯磷酸可用电子级的五氧化二磷合成 或者由电子级 的三氯氧磷水解制得 其中五氧化二磷是在电炉中使用焦碳对磷矿石的还原法 还原出磷 然后再经过燃烧生成 电子级的五氧化二磷可由升华来提纯 制得 超纯 p2o5 然后用超纯水配制 而电子级的三氯氧磷由于三氯氧磷易挥发 可 由精馏工艺制得 如下所示 工业三氯氧磷 精馏 水解 脱酸 稀释 水浴加热 超净 过滤 超净分装 成品包装 1 2 3 两种工艺的区别两种工艺的区别 由于电费高涨 热法磷酸存在着很多缺点如 能耗高 污染大等原因 其 生产与发展在不同程度上受到严重限制 这就大大的促进了湿法磷酸的发展 湿法磷酸对热法磷酸的竞争力一直呈上升趋势 净化湿法磷酸技术的开发研究 也越来越受关注 然而 同湿法磷酸相比 热法磷酸的纯度和浓度却比较高 但是其制造成 本较湿法磷酸要高将近一半 这主要是由于热法磷酸工艺是先从磷矿石中制黄 磷 再制磷酸 由于黄磷生产消耗大量电力又污染环境 因此生产成本非常高 2 电子级磷酸技术发展趋势 电子级磷酸技术发展趋势 电子级磷酸属于微电子化学品 主要用于芯片的清洗和腐蚀 它的清洁度和纯 度对ic 产品的成品率 电性能及可靠性等都有着十分重要的影响 在微电子器 件 电路技术方面 随着高集成度 超高速 超高频集成电路及器件的开发 集成 电路与器件的特征尺寸越来越精细 加工尺寸已进入深亚微米 百纳米直至纳米 级 2006年国外高性能微处理器的特征尺寸已达0 19 m 目前0 1 m 的光刻技术 已进入实用化阶段 预计到2010 年 特征尺寸将达到0 05 m 到2012 年 特征 6 尺寸将达到0 035 m 而国内目前的光刻技术水平以0 35 m 为主 根据国家 十 一五 发展规划 预计至 十一五 末 将达到0 25 0 18 m 的水平 但要达到这个 目标 必须对半导体与集成电路行业用的微电子化学品如超净高纯试剂 光致抗 蚀剂 光刻胶 特种气体 封装材料等提出更高的要求 使其保持同步或超前发 展 中国在电子级试剂的发展方向上 将重点进行适用于0 2 0 6 m 工艺技术的 超净电子级试剂的研究开发 同时开展0 09 0 2 m 工艺技术加工所需超净电子 级试剂的前期研究 超净电子级试剂的研发方向也就是电子级磷酸的技术发展 趋势 3 电子级磷酸的主要应用领域电子级磷酸的主要应用领域 3 1 在在 tft lcd 产业的应用产业的应用 3 1 1 tft lcd tft lcd 是 thin film transistor liquid crystal display 的缩写 也就是薄 膜晶体管液晶显示器的意思 它是液晶显示器中最重要的一种 其产值和影响 力在液晶显示器家族中有着举足轻重的地位 可广泛应用于电视机 笔记本电 脑 监视器 手机等各个方面 tft lcd根据薄膜晶体管材料的不同 又分为非晶硅tft a si tft 多 晶硅 p si tft 和单晶硅mosfet c si mosfet 后者形成的lcd被用于 lcos liquid crystal on silcon 技术 tft lcd 技术是微电子与液晶显示巧妙结合的一种技术 人们将把 si 上 进行微电子精细加工的技术 移植到在大面积玻璃上进行 tft 阵列的加工 再 与业已成熟的 lcd 技术相结合 以求不断提高产品品质 增强自动化大规模生 产能力 提高合格率 降低成本 使其性能 价格比不断向 crt 逼近 tft lcd 由于它的体积小 重量轻 无辐射等优点 在很多领域得到广泛 应用 电子仪器 仪表 文字处理机 电子手表 计算器 笔记本电脑 平板 电视 台式电脑监视器 工业监视器 摄像机 数码相机 投影显示 车载或 7 便携式 vcd dvd 手机屏 pda gps 液晶电视 高清晰度数字电视 而就lcd而言 虽然它发明于美国 但其技术和产业的发展却在东亚 目前 已基本上由日本 韩国和台湾地区形成三足鼎立的局面 tft lcd 的全球主要 产区为韩国 台湾 日本和中国大陆 韩国两大厂商lg philips lcd 和 samsung 遥遥领先 台湾厂商凭借低制造成本和下游资讯产品市场的优势紧随 其后 日本厂商控制了大部分设备和上游原材料和零组件的供应 从整个lcd业者的竞争业态而言 韩国三星仍然处于目前在全球lcd市场中 的领导地位 在全球tft lcd产业中 以台湾的企业最多 即有所谓的台湾 四 虎 之称 中国大陆作为新进入者 依赖于政策扶持在全球巨大的tft lcd 市 场中占据一席之地 近年来 随着中国综合实力的增强 特别是上广电和京东 方相继建成两条tft lcd的五代线 中国大陆有可能会逐步成为全球最大的lcd 产业基地 在tft lcd之array制程中 主要需要磷酸刻蚀的是mo al金属层 金属铝 al 蚀刻液主要由硝酸 hno3 磷酸 h3po4 及醋酸 ch3cooh 三 种成份混合而成 反应机制包含二道步骤 先利用hno3的强氧化性将铝金属层 氧化成为al2o3 再由h3po4与al2o3反应生成可溶性的磷酸铝 其中ch3cooh 为缓冲溶液 扮演h 提供者的角色 使蚀刻率能维持稳定 其中硝酸及磷酸浓 度比例则是影响蚀刻速率的关键 行业内目前没有对磷酸的具体的标准 tft lcd的相关行业标准也正在制 定当中 tft 技术是二十世纪九十年代发展起来的 tft lcd 结合了半导体技术和 液晶光学技术而创造出的新型显示技术 随着半导体技术的发展和有源矩阵概 念的提出 tft lcd 技术开始逐步形成 并于 90 年代初期在日本开始产业化 tft lcd产业的成本随代的变化而有一定差异 以当前主流的第五代生产 线例 tft lcd成本中原材料占的比重最高 达到62 目前设在中国的液晶面板厂家主要有上广电 产能 5 2 万片 月 五代线 龙腾光电 五代线 京东方 五代线 上海天马 4 5 代线 新华日 1 代线 以及台湾面板 4 虎设在大陆的工厂 8 3 1 2 电子级磷酸在电子级磷酸在 tft lcd 制作过程中的应用制作过程中的应用 1 tft lcd 制程array 段 等同于半导体制程 均是利用sputter cvd成 膜技术 来形成导体层 介电层 扩散障碍层 保护层等 再利用上光阻 曝 光 显影在光阻上形成所需的pattern 接着利用蚀刻的方法将未受光阻保护的 区域去除 最后再将光阻去除 2 目前应用于lcd制程array段及半导体相关产业的蚀刻技术 主要可分为 湿蚀刻 wet etching 与干蚀刻 dry etching 两种 湿蚀刻反应过程大概可分为三个阶段 a 反应物质扩散到欲被蚀刻材质的表面 b 反映物与被蚀刻薄膜反应 c 反应后的产物从蚀刻表面扩散到溶液中 并随溶液排出 在此三个阶段中 反应最慢者就是蚀刻速率的控制关键 也就是说 该阶 段的进行速率即是反应速率 相对于干蚀刻而言 湿蚀刻为较早被开发应用之 蚀刻技术 主要依靠薄膜与特定溶液间的化学反应 针对未被光阻覆盖区域 进行薄膜的移除 湿蚀刻的优点是制程单纯 产能速度 throughput 快 并 且具有优秀的蚀刻选择比 不过 因为湿蚀刻是利用化学反应来进行薄膜的移 除 而化学反应的发生并无特定的方向性 故湿蚀刻的另一特点为等向性 isotropic 的蚀刻 需要注意的是蚀刻后之剖面 有明显的底切 undercut 现象存在 一个很重要的方面就是要控制湿蚀刻的反应速率 通常可改变溶液浓度及 反应温度 溶液浓度增加可加速蚀刻 虽然浓度越浓 或是温度越高 薄膜被 移除的速率就越快 但是太高的薄膜蚀刻率往往会造成严重的底切现象 所以 这两项条件必须被适当的控制 蚀刻时间 会随着溶液对薄膜材质的蚀刻率减 慢 而延长整个薄膜被移除所需的时间 因此这三个参数基本上是相互关连的 另外适当的搅拌 也可以使溶液内的反应物往薄膜表面所进行的质量传递 mass transfer 不再完全依赖扩散作用进行 而可以借着搅拌所提供溶液的 对流 来提升反应物输往薄膜表面的能力 适当的搅拌 如 喷洒所制造的气 泡 摆动及超音波震荡等 亦可适度的减轻底切现象的发生 蚀刻反应的进行方式则是藉由硝酸与铝反应产生氧化铝 再由磷酸和水来 9 分解氧化铝 而醋酸主要是用做缓冲剂 buffer agent 来抑制硝酸的解离 至于蚀刻速率的调整 则可藉由改变硝酸及磷酸的比例 再配合醋酸的添加或 是水的稀释来控制 相关之化学反应式如下 hno3 h2o h3o no3 2mo 6h 2mo3 3h2 2al 6h 2al3 3h2 h3po4 2h2o 2 h3o hpo42 2mo3 3hpo42 mo2 hpo4 3 2mopo4 h3po4 2al3 3hpo42 al2 hpo4 3 2alpo4 h3po4 3 2 在在 ic 行业中的应用行业中的应用 集成电路 ic 是通过一系列特定的加工工艺 将晶体管 二极管等有源 器件和电阻 电容等无源器件 按照一定的电路互连 集成 在一块半导体单晶 片 如硅或砷化镓 上 封装在一个外壳内 执行特定电路或系统功能 集成 电路的技术发展迅速 目前主流加工技术是 8 英寸硅片 0 25 微米线宽 12 英 寸硅片 0 18 微米已经批量生产 当集成电路线宽达到 0 1 微米及以下 全面 进入纳米领域 据国际权威机构预测 到 2014 年 半导体芯片加工技术将达 到 18 英寸硅片 0 035 微米特征尺寸 线宽 届时 微电子的基础理论 材料技术和加工技术都可能发生革命性的变化 3 2 1 氮化硅层 氮化硅层 si3n4 蚀刻 蚀刻 一般多使用85 的磷酸 h3po4 在160 170 之间做氮化硅层的蚀刻 化学反 应式如下 si3n4 4h3po4 10h2o si3o2 oh 8 4nh4h2po4 3 2 2 铝导线蚀刻铝导线蚀刻 铝常在半导体制程中作为导电层材料 湿式铝层蚀刻可使用多种无机酸碱 来进行 而以硝酸 磷酸及醋酸之混合溶液其蚀刻速率最为稳定 目前被广泛 运用在半导体制程中 其中磷酸约占 80 加入 3 5 的硝酸 硝酸和铝生成硝 酸铝 提高腐蚀速率 但不能加得太多 否则会影响光刻胶抗蚀能力 10 10 的冰醋酸 降低腐蚀液的表面张力 增加硅片表面与腐蚀液的浸润 提高腐蚀 的均匀性 起到缓冲作用 水约占 5 磷酸腐蚀液的腐蚀原理是 铝是活泼 金属 它能与磷酸中的氢离子发生置换反应 从而使铝溶解于磷酸中 其反应 式如下 2al 6h3po4 2al h2po4 3 3h2 生成的酸式磷酸铝 al h2po4 3 易溶于水 浓磷酸在使用一段时间以后 会发现腐蚀液中有白色混浊物 这是由于磷 酸与铝生成难溶的磷酸铝白色沉淀之故 其反应式如下 2al 2h3po4 2alpo4 3h2 这些沉淀物会附着在硅片表面 对铝层的腐蚀是不利的 必须定期更换腐 蚀液 同时铝和磷酸化学反应十分剧烈 产生大量的氢气也会浮积在硅片表面 为了清除这些气泡 可以加入少量的无水乙醇或硝酸 3 3 3 ic 行业使用的磷酸标准行业使用的磷酸标准 ic 与所用试剂的标准关系见下表 磷酸级别颗粒 m含量 个 ml 1各种金属杂质含量 适用半导体 ic m mos 527 1 0 10 4 5 bv i 23 1 n 10 8 3 bv ii 22 1 n 10 8 2 semi c1 125 1 0 10 7 1 2 c7 bv 0 525 1 0 10 80 8 1 2 c8 bv 0 55 1 0 10 90 2 0 6 c12 bv 0 2tbd 1 0 10 100 09 0 2 3 3 4 semi 国际半导体设备与材料协会国际半导体设备与材料协会 的磷酸标准的磷酸标准 指标单位semi 79 81 79 81 79 81 assay h3po4 85 87 85 87 85 87 grade1grade2grade3 color maximumapha chloride cl ppm111 nitrate no3 ppm555 sulfate so4 ppm 1212 aluminum al ppb50030050 antimony sb ppb1000035001000 arsenic as ppb505050 11 barium ba ppb 50 cadmium cd ppb 45050 calcium ca ppchromium cr ppb20020050 cobalt co ppb505050 copper cu ppb505050 gold au ppb30015050 iron fe ppb2000700100 lead pb ppb30030050 lithium li ppb10010010 magnesium mg ppb20020050 manganese mn ppb10010050 nickel ni ppb20020050 potassium k ppb1500450150 silver ag ppb sodium na ppb2500500250 strontium sr ppb10010010 zinc zn ppb200040050 titanium ti ppb30030050 一般来说 grade2 磷酸满足于 tft lcd 用 grade3 磷酸满足于 ic 行业使用 3 3 ic 用磷酸与用磷酸与 tft 用磷酸区别分析用磷酸区别分析 磷酸 h3po4 为无色透明或略带黄色稠状液体 属中性酸 具有吸湿性 易溶于水 磷酸的用途很广泛 它可被用于制造各种磷酸盐 电镀抛光剂 钢铁 防锈剂 印刷工业去污剂 有机合成催化剂 洗涤剂 涂料 医药 水处理等 方面 此外 磷酸还可以根据品质的不同分为 工业级 食品级 医药级和电 子级 针对不同的产品用途 可以使用不同级别的磷酸 如 食品级磷酸可广 泛应用于可乐 啤酒 色拉油 糖果和乳制品等食品行业的酸味剂或添加剂等 在这里 ic 用或 tft 用磷酸主要指电子级磷酸 电子级磷酸又可称为超纯磷酸 它主要应用于电子企业晶片生产过程中的清洗或蚀刻 随着液晶电视需求的不 断发展和越来越多的半导体芯片制造企业向中国的转移 用于超薄高清晰度液 晶电视及芯片制造工艺中的电子级磷酸的需求也将大幅度增长 那么了解 ic 及 tft 用磷酸的相关情况就变得至关重要了 12 有些人对于 ic 用或 tft 用电子级磷酸还不太了解 认为区别不大 其实这 是个误区 事实上 用于这两个行业的电子级磷酸还是有些不同的 1 行业用标准不同 首先 由于这两个行业的不同 其使用磷酸所依据的标准也不大相同 据 悉 目前还没有明确的 tft 用磷酸标准 下面就是 ic 用磷酸的标准参照表 附表 ic 与所用试剂的标准 ic 用电子级磷酸主要用于硅晶圆片工艺加工过程中的清洗和蚀刻 不同尺 寸的硅片 表面清洗或蚀刻的要求不同 对高纯清洗剂的标准需求也不同 300mm 硅片表面清洗的要求 指标单位1997 年 180nm 1999 年 130nm 2003 年 100nm 2006 年 ca cu cr fe k mn na ni 原子 cm2 5 10 94 10 93 10 91 10 9 al ti zn 原子 cm2 5 10 102 5 10 102 10 101 10 10 如表所示 ic 业硅片的表面清洗或蚀刻的工艺要求越来越高 其清洗剂的纯 度和各方面杂质的要求也越来越高 而 tft lcd 用磷酸目前还没有具体的使用标准 但是我们知道的是 tft lcd 所用蚀刻液各项指标的不同可以直接导致干湿蚀刻的比重有很大的差别 至于优劣与否还需要进一步的考察 2 具体产品标准的差异性分析 由于信息的局限性 目前我们只掌握了成洪磷一家关于 tft 和 ic 用磷酸的 标准 据悉 国内只有他一家取得了电子级磷酸生产关键技术上的突破 也就 是说只有成洪磷成功的生产出 grade 1 和 grade 2 两个电子级磷酸的产品 其具体指标如表所示 级别颗粒 m含量 个 ml 1各种金属杂质含量适用半导体 ic m mos 5 27 1 0 10 4 5 bv i 2 3 1 n 10 8 3 bv ii 2 2 1 n 10 8 2 semi c1 1 25 1 0 10 7 1 2 c7 bv 0 5 25 1 0 10 8 0 8 1 2 c8 bv 0 5 5 1 0 10 9 0 2 0 6 c12 bv 0 2 tbd 1 0 10 10 0 09 0 2 13 成洪磷电子级磷酸标准 成洪磷电子级磷酸标准 itemsunit 用于液晶显示器 tft lcd 的铝刻蚀 剂 用于半导体 ic 芯片清洗和腐 蚀 h3p04wt 85 0 87 085 0 87 0 colorppm 10 10 no3ppm 5 0 5 so4ppm 10 5 clppm 1 0 5 alppb 100 50 kppb 100 50 sbppb 500 400 asppb 50 10 bippb 20 10 bappb 50 20 bppb 50 30 cdppb 50 10 cappb 400 150 crppb 50 30 coppb 50 30 cuppb 20 20 auppb 50 10 gappb 10 10 feppb 400 150 pbppb 50 30 lippb 20 10 mgppb 50 20 mnppb 50 20 nippb 50 20 agppb 30 10 nappb 100 50 snppb 30 20 srppb 20 10 tippb 100 50 znppb 100 50 还原性物 质 ppm 10 10 微粒 最 多 pcs ml 100 50 如上表数据所示 成洪磷所用的 tft 和 ic 用磷酸标准是不同的 但是为了 更加准确的判断他们之间的不同以及差异程度 我们在这里用统计的方法对其 14 进行假设 希望得到一个相对合理的结论 假设他们的指标为准确值而不是一 个区间范围并用 spss 来统计他们的不同程度 其实验结果如下 paired samples statistics meannstd deviationstd errormean pair 1tft84 7131120 93821 721 ic43 103175 13313 494 paired samples test paired differences tdf sig 2 tailed mean std deviation std error mean 95 confidence interval of the difference lowerupper pair 1 tft ic41 6159 76810 73519 6963 54 3 87730 001 paired samples test 是统计学中专门用来估算同一产品的两个不同方面 差异性的实验 其可信度很高 其中最为重要的结果是 sig two tailed 如 果该结果小于 05 就标志着我们比较的两组数据趋势是完全不同的 如上表所 示 成洪磷的 tft 用和 ic 用电子级磷酸的 sig two tailed 是 001 这说明其 两种产品指标之间存在很大的差异性 其中 tft 用磷酸的 deviation 是 120 938 而 ic 用磷酸为 75 133 这表明 ic 用磷酸标准明显高于其生产的 tft 用磷酸 关于它们之间的不同的程度我们可以用下列公式计算得出 eta squared t2 t2 n 1 0 33 结果如是 01 差异程度较小 06 差异程度适中 14 差异程度较大 根据我们计算出的结果 33 说明成洪磷的 tft 和 ic 用磷酸标准本质区别非 常大 关于具体的差异程度 我们可以用 tft 的指标为基数来计算平均值的方 法估算出来 最后结果约为 50 这就意味着成洪磷的 ic 用磷酸标准高于其 tft 用磷酸标准约一半左右 图 成洪磷电子级磷酸标准趋势图 15 0 100 200 300 400 500 600 al sb bi b ca co au fe li mn ag sn ti ppb tft用标准 ic用标准 3 线宽的不同 在 tft lcd 制成中因线宽远较半导体制成大 估计大 1 m 所以他们使 用的磷酸标准存在着差异 专业人士认为 tft 用与 ic 用磷酸的不同主要在于线 宽的品质上 tft lcd 大概在 0 5 1 0um 而 ic 在 0 2um 左右 由于 tft lcd 的线宽大一些 所准许的微尘颗粒比 ic 要多一些 因此 线宽的不同可以是造 成 tft 用和 ic 用磷酸不同的一个本质原因 4 电子级磷酸国际市场综述电子级磷酸国际市场综述 全球 tft lcd 企业主要集中在台湾 日本和韩国这三个国家 再加上中国大 陆地区的几个企业 总体来说 tft lcd 生产线电子级使用也集中在上述三个国 家中 种种信息表明 tft lcd行业处于产业周期的回升阶段 该上升趋势至少要 维持到2008年 三星 夏普 友达 奇美纷纷在投资建设7 5 8代线 到2007 年大约有7条7代以上的线建成 ic的新生产线也都在投资建设中 预计2010年 之前全球的电子级磷酸容量在10万吨左右 信息显示 全球电子级磷酸扩产的企业都在日本 日本急速扩产有两种可 能 一是为了满足市场的增长 二是为了和其他企业争夺现有市场 不管是哪 一种可能性 都意味着要进入这个市场 就要和日本的企业进行竞争是必然的 16 从整个世界磷酸市场的需求供给分布来看 主要的磷酸需求地区和电子级 磷酸生产地区都集中在亚洲 又特别以日本 韩国 台湾和中国大陆四个国家 地区为重中之重 5 大陆电子级磷酸市场综述大陆电子级磷酸市场综述 目前大陆市场电子级磷酸的用量大约就在 3500 吨左右 考虑目前在建的项 目 龙腾光电 5 代线 4 万片 天马 4 5 代 3 万片 07 年 磷酸用量每月 将增加 100 120 吨 预计 2010 年大陆电子级磷酸年消耗量可以达到 5000 吨 除了以磷酸形式进口的以外 估计大量的需求是以进口磷酸蚀刻液来满足 的 蚀刻液的进口量由于数据无法单独提出来 而无从知道 但是我们可以大 致推算蚀刻液用量和磷酸用量的比例 我们知道 05 年的磷酸进口量大约是 1400 吨 而根据下表测算出的实际需求量应该是 3500 多吨 那么就是说明了 以蚀刻液方式进口的磷酸应该大约是 2100 吨 也就是说以蚀刻液方式进口的磷 酸用量大约是以磷酸方式进口的 1 5 倍 企业磷酸用量 上广电840 吨 年 京东方720 吨 年 吉林彩晶360 吨 年 tft lcd 小计小计19201920 吨吨 年年 中芯国际 720 吨 年 台积电100 吨 年 和舰科技60 吨 年 上海宏力200 吨 年 上海先进60 吨 年 上海华虹60 吨 年 ic 首钢日电60 吨 年 17 其他 上海贝岭 无锡华润 无锡 58 所 绍兴华越 宁 波国微明华 燕东 福建福 顺 沈阳 47 所 天水天光 西安 771 所 重庆 24 所 杭州士兰 中纬积体 乐山 菲尼克斯 上海新进等 20 吨 年 条线 约有 20 条线 小计小计 16601660 吨吨 年年 合计合计35803580 吨吨 年年 6 电子级磷酸进出口分析 电子级磷酸进出口分析 6 1 大陆进出口数据分析大陆进出口数据分析 6 1 1 2007 年中国大陆磷酸进口统计年中国大陆磷酸进口统计 2007 年中国大陆磷酸进口统计 单位 吨 进口国进口量 日本1954 5 台湾651 4 韩国316 8 美国43 7 其他272 6 合计3239 0 2007 年中国进口磷酸 3239 吨 可以认为都是用于液晶显示器和 ic 行业或 2007年中国磷酸进口结构图 美国 1 韩国 10 日本 61 台湾 20 其他 8 美国 韩国 日本 台湾 其他 18 更高级别的电子级磷酸 中国主要从日本进口电子级磷酸 2007 年从日本进口 磷酸 1954 吨 占进口总量的 61 其次是台湾和韩国 分别占进口总量的 20 和 10 随着国内 tft lcd 和 ic 的发展 中国对电子级磷酸的需要越来越大 平 均以 30 的年需求量递增 按此计算 预计 2008 年 中国电子级磷酸需求量将 达到 4500 吨左右 不包括进口蚀刻液中所含磷酸 6 1 26 1 2 主要进口单位上广电磷酸使用情况主要进口单位上广电磷酸使用情况 我们分析了上广电 05 年 06 年 07 年的进口磷酸数据 得到以下信息 上广电 2007 年进口磷酸 824 吨 平均每月用量 68 7 吨 每月进口量如下 图 上广电 05 年 07 年磷酸进口量统计 单位 吨 中国05 07年进口磷酸增长图 1476 2199 3239 49 47 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 200520062007 0 4 0 45 0 5 0 55 0 6 进口数量 增长率 上广电07年每月磷酸进口量 18950 0 75800 132650 37900 94750 103800 75800 56850 75800 7580075800 0 20000 40000 60000 80000 100000 120000 140000 123456789101112 磷酸用量 千克 上广电05 07磷酸进口量和年增长率 416 891 824 114 7 50 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 200520062007 0 2 0 0 2 0 4 0 6 0 8 1 1 2 1 4 进口量 增长率 19 上广电 2007 年进口磷酸 824 吨 平均单价是 1 96 美元 千克 从图上看出 2007 年比 2006 年进口减少了 67 吨 基本上是上广电一个月的用量 2006 年和 2007 年上广电进口量相差不大 这是上广电已经实现生产并稳定发展的一个信 号 排除上广电扩产因素以此预计 2008 年上广电磷酸用量将在 850 900 吨之间 6 1 3 其它企业高纯磷酸使用情况其它企业高纯磷酸使用情况 2007 年大陆其它 ic 厂家进口磷酸表 单位 吨 单位进口量 上海宏力226 8 上海先进 42 8 上海华虹90 无锡华晶35 8 海力士235 2 中芯国际518 4 台积电17 9 和舰科技16 6 首钢日电10 8 中纬积体27 2 成都成芯46 8 中国大陆其他使用高纯磷酸的厂家 例如京东方 龙腾光电等并没有海关 数据可以查阅 我们分析这些厂家直接是进口蚀刻液的 另外 中国海关数据 显示中国从韩国进口磷酸 317 吨 而韩国海关数据显示 韩国出口到中国的磷 酸是 422 吨 相差 100 多吨 可能这就是蚀刻液部分 20 6 2 海外进出口数据分析海外进出口数据分析 6 2 1 2007 年台湾进出口数据年台湾进出口数据 6 2 1 1 进口进口 主要进口交易国和交易量 单位 吨 国别比利时美国中国韩国日本马来西亚其它 数量1728 56383 622257110783 43888 6780 253 9 2007 年台湾共进口磷酸 40189 吨 其中中国大陆贡献了 22571 吨 但从价 格上判断不是电子级磷酸 最多也就是澄星集团所谓的 准电子级 磷酸 6 1 2 2 出口出口 2007 年台湾磷酸出口海关数据表 单位 吨 交易国巴基斯坦日本中国澳大利亚厄瓜多尔泰国马来西亚其它合计 数量147612276093082691471292044370 台台湾湾2 20 00 07 7年年磷磷酸酸进进口口交交易易国国所所占占比比重重 比利时 4 日本 10 其它 0 中国 56 马来西亚 2 美国 1 韩国 27 比利时 日本 其它 中国 马来西亚 美国 韩国 2007年台湾磷酸出口贸易图 马来西亚 3 中国 14 日本 28 澳大利亚 7 其它 5 泰国 3 巴基斯坦 34 厄瓜多尔 6 马来西亚 中国 日本 澳大利亚 其它 泰国 巴基斯坦 厄瓜多尔 21 2007 年台湾共出口磷酸共计 4370 吨 其中电子级磷酸是 2081 吨 占出口 总量的 47 6 电子级磷酸主要出口到中国 日本 马来西亚等 6 2 2 日本日本 2007 年度磷酸进出口数据年度磷酸进出口数据 6 2 2 1 进口进口 2007 年日本磷酸进口数据表 单位 吨 国别马来西亚中国韩国摩洛哥越南英国德国美国台湾其它 数量458221144829217121292318122710477 表中有颜色底纹的是电子级磷酸 即是进口价格大于 1 美元 千克 日本从中国进口 2 万多吨磷酸 买给中国 2 千多吨磷酸 进出比 10 比 1 几年差不多都是如此 2007 年日本电子级磷酸进口电子级磷酸进口交易图 2007 年日本共进口磷酸 44409 吨 其中电子级磷酸 1540 吨 占 3 5 日 本是电子级磷酸生产国 主要是进口普通磷酸 出口电子级磷酸 6 2 2 2 出口出口 2007 年日本出口日本出口电子级磷酸数据汇总 单位 吨 国别数量 韩国韩国12403 0 台湾台湾3855 7 2007年日本电子级磷酸进口交易国 美国 1 英国 19 德国 0 台湾 80 美国 英国 德国 台湾 22 美国美国2695 7 中国中国2022 5 新加坡941 3 泰国532 8 以色列77 8 马来西亚49 4 菲律宾44 0 印度尼西亚19 1 香港14 7 澳大利亚3 8 越南2 0 俄罗斯0 928 德国0 632 巴西0 600 合计22663 9 2007 年日本出口磷酸图 2007 年日本出口磷酸 22664 吨 且价格均在 1 美元 kg 的以上 都是电子 级磷酸 下图是日本国 2005 2007 年主要出口国增长情况 图中可以看出 日本出 口到台湾的电子级磷酸在下降 说明台湾的 ic 行业在萎缩 而出口到美国 韩 国 中国的磷酸在增加 特别是韩国 2006 年取代台湾成了日本磷酸最大的消 费地区 说明这些国家的 ic 和 tft 行业在增长 2007年日本出口磷酸图 泰国 2 新加坡 4 中国 9 其他 1 美国 12 以色列 0 台湾 17 韩国 55 泰国 新加坡 中国 其他 美国 以色列 台湾 韩国 23 6 2 3 韩国韩国 2007 年度磷酸进出口数据年度磷酸进出口数据 6 2 3 1 进口进口 相对于台湾和日本 韩国的进出口贸易简单 进出口渠道单一 2007 年韩国进口韩国进口磷酸表 单位 吨 进口国进口量 日本11969 中国4177 美国9 237 马来西亚5 149 台湾0 134 合计16160 日本05 07年主要出口国增长情况 0 2000 4000 6000 8000 10000 12000 14000 200520062007 单位 吨 美国 中国 韩国 台湾 韩国进口磷酸图 中国 26 美国 0 日本 74 台湾 0 马来西亚 0 中国 美国 日本 台湾 马来西亚 24 韩国 2007 年进口磷酸 16160 吨 其中从日本和中国就进口了 16146 吨 中 国出口到韩国的磷酸是食品磷酸或工业磷酸 韩国是电子级磷酸的主要消费国 主要由日本国提供 三年来磷酸进口情况如 下 单位 吨 年度200520062007 总量91401477616160 其中 中国156453904177 日本7567937011969 韩国磷酸使用量在上升 从侧面反应了韩国液晶和 ic 等行业的健康发展 尤其是从日本进口量在稳定上升 6 2 3 2 出口出口 韩国 2007 年出口磷酸统计表 单位 吨 国别出口数量 中国422 4 新加坡275 4 韩国05 07年进口磷酸量比较 0 2000 4000 6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000 200520062007 总量 中国 日本 25 日本145 9 马来西亚55 9 香港2 6 合计902 3 韩国 2007 年一共出口了 900 吨磷酸 可是出口到中国的就有 422 吨 几乎 占一半 6 2 4 美国美国 2007 年度磷酸进出口数据年度磷酸进出口数据 6 2 4 1 进口进口 美国 2007 年磷酸进口进口贸易 单位 吨 国别进口数量 韩国18495 以色列13257 中国4932 日本3560 加拿大1409 德国172 比利时63 瑞士41 其它37 印度25 荷兰4 合计41995 韩国2007年磷酸出口图 马来西亚 6 中国 47 日本 16 香港 0 新加坡 31 马来西亚 中国 日本 香港 新加坡 26 2007 年美国进口磷酸 41995 吨 其中电子级磷酸 3777 吨 普通磷酸主要 来自韩国 以色列和中国 电子级磷酸主要来自日本 6 2 4 2 出口出口 2007 年美国磷酸出口出口统计表 单位 吨 国别 出口数量 加拿大 65689 墨西哥 3445 哥斯达黎加 827 爱尔兰 211 比利时 179 新加坡 154 马来西亚 117 日本 85 中国 66 台湾 65 以色列 63 阿鲁巴 58 新西兰 27 韩国 26 伯利兹 21 澳大利亚 18 2007年美国进口磷酸结构图 中国 12 加拿大 3 以色列 32 日本 8 韩国 44 其它 1 中国 加拿大 以色列 日本 韩国 其它 27 意大利 15 印度 15 英国 8 其它 638 合计71727 2007 年美国出口磷酸 71727 吨 其中电子级磷酸 1766 吨 底纹 出口的磷 酸当中 有 65689 吨是给加拿大的 占总出口量的 92 7 电子级磷酸市场容量评估 电子级磷酸市场容量评估 7 1 国内市场国内市场 目前国内 ic 和 tft lcd 用磷酸基本上都是进口磷酸 其用量为 3500 吨 左右 ic 和 tft 企业直接购进或者进口的蚀刻液中所含的电子级磷酸如前所述 一般为直接进口磷酸量的 1 5 倍 这部分电子级磷酸约为 5250 吨 中国大陆市 场容量约为 3500 5250 8750 吨 年 市场增长率在 15 20 7 2 国际市场国际市场 8 2 1 tft lcd 磷酸用量磷酸用量 含蚀刻液中磷酸量含蚀刻液中磷酸量 从我们了解的情况知道 一条月产 5 万片左右面板的 5 代生产线的电子级 磷酸消耗量是 800 吨 年 其他代线的磷酸用量根据玻璃基板面积算出一个比例 我们以此为基础可以推断出电子级磷酸消耗量 又据此估算出三个主要面板生 产国 地区 的磷酸用量 代线用磷酸量推算表 代线代线第第 1 代代第第 2 代代第第 3 代代第第 4 代代 第第 5 代代 第第 6 代代第第 7 代代 磷酸用量比例0 089510 139860 250 41846211 9405593 06818 年消耗磷酸量7211120033480015522454 台韩日各自拥有的代线生产线 2007 28 代线代线1234567 台湾21104852 韩国1232512 日本613105021 648177646003674104001241612270磷酸用量 吨 年 合计合计 45784 吨吨 年年 全球 tft lcd 企业集中在上述三个国家 地区 总体来说 tft lcd 生 产线 2007 年使用电子级磷酸至少是 4 5 万吨 7 2 2 ic 磷酸用量磷酸用量 按中芯国际每万片 ic 每年消耗 45 吨计算 中芯国际产能为 16 万片 年 磷酸用量为 720 吨 年 2007 年 除大陆外 全球 ic 产能约为 700 万片 推算 出全球 ic 行业电子磷酸消耗量为 3 15 万吨 这样的话 2007 年全球的电子级磷酸年消耗量至少 7 65 万吨 8 电子级磷酸价格分析电子级磷酸价格分析 8 1 国际贸易价格国际贸易价格 8 1 1 台湾贸易价格台湾贸易价格 2005 年 2007 年台湾从日本 韩国 美国 中国的磷酸进口量和价格表 200520062007 交易国 数量 t 单价 美元 kg 数量 t 单价 美元 kg 数量 t 单价 美元 kg 美国70401 2273681 453841 38 日本101081 4283961 3638891 29 韩国15237 103470 73107830 81 中国9554 146060 63225710 65 29 从价位上看 我们认为台湾从韩国和中国大陆进口的磷酸并不是电子级磷酸 06 年从大陆进口的价约 5040 元 吨 受人民币升值影响 07 年约 4550 元 吨 这 些价位和当时的国内食品磷酸价格基本相当 08 年 3 月台湾从大陆进口的磷酸 价格上升到了 0 765 美元 kg 8 1 2 日本贸易价格日本贸易价格 2007 年日本出口磷酸 22664 吨 且价格均在 1 美元 kg 的以上 都是电子 级磷酸 日本的电子级磷酸主要出口到韩国 数量为 12403 吨 平均价格 1 59 美元 kg 其次是台湾和美国 出口到中国的电子级磷酸并不多 8 1 3 韩国贸易价格韩国贸易价格 韩国 2007 年进口磷酸 16160 吨 其中从日本和中国就进口了 16146 吨 又 其中从日本进口磷酸 11969 吨 占进口总量的 74 平均价格是 1 63 美元 kg 这与日本出口到韩国的数据基本上是吻合的 从中国进口磷酸 4177 吨 占进 口总量的 26 平均价格为 0 81 美元 kg 2007 年韩国从日本 中国进口磷酸的单价表 美元 千克 2007123456789101112 中国 0 77 0 76 0 76 0 78 0 79 0 78 0 75 0 81 0 88 0 86 0 87 0 95 日本 1 60 1 61 1 63 1 70 1 59 1 57 1 57 1 61 1 63 1 63 1 68 1 70 2007年韩国进口磷酸单价曲线 0 60 0 80 1 00 1 20 1 40 1 60 1 80 123456789101112 中国 日本 30 韩国从中国 日本进口磷酸的价格是比较平稳的 从中国进口的磷酸价格 只 有日本价格的一半 这说明磷酸质量有很大的差别 2007 年韩国磷酸出口只有 902 吨 主要出口到中国 新加坡和日本 价格 在 1 美元 千克附近 可以认为韩国出口的磷酸都是电子级别的 出口价格和走势图如下 韩国 2007 年主要出口价格表 美元 千克 2007123456789101112 马来西亚1 47 1 53 0 00 0 00 1 47 0 00 1 47 0 00 0 00 1 28 1 19 1 37 中国1 70 1 35 1 68 1 38 2 27 0 00 1