Fe,Sn掺杂In2O3稀磁半导体的结构和磁性毕业论文.doc

本科毕业论文Fe,Sn掺杂In2O3稀磁半导体的结构和磁性内容摘要 氧化锢(In2O3)是一种具有立方方铁锰矿型结构宽带隙（3.75ev）半导体，具有很高的载流子浓度和载流子迁移率、导电性、透光性，通过对其掺入过渡金属可以使其具有高温铁磁性。基础性研究上均有极大的应用前景。本论文通过高温固相反应法和真空退火法制备了固体粉末。采用脉冲激光沉积法制备出(In0.9-xFe0.1Snx)2O3薄膜材料。采用表面形貌仪测量薄膜的厚度。采用X射线粉末衍射仪（XRD）测量样品的结构。采用超导量子干涉仪 (SQUID)测量磁学性能。初步探讨了掺杂Fe在体系中好处及选择Sn的作用，通过对样品结构和磁性的分析研究,得到以下结果为：采用固相反应和真空退火方法制备了(In0.9-xFe0.1Snx)2O3粉末测量结果表明在450、550、600真空退火，随着温度的升高，峰值增大。采用脉冲激光沉积方法在不同基片温度(450600)下制备了(In0.9-xFe0.1Snx)2O3薄膜。测量表明随着温度的升高半峰宽下降而颗粒大小升高。在100 mror下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）磁滞回线图，结果可以看出FeSn-In2O3粉末几乎成顺磁性。【关键词】稀磁半导体 In2O3 掺杂2.2 英文摘要英文摘要按照以下格式编排：3号 Arial(加粗)4号 黑体 (加粗)Title：XXXXXXXXXXXXXXXXXXX小4号 Arial AbstractXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX小4号 Arial4号 Arial Black(加粗)【Key Words】XXXXXX XXXXXX XXXXXXXX XXXXXXXX3号宋体, 缩2格目 录一、引言（XX）二、样品的制备（XX）（一）固相反应法(XX)（二）脉冲激光沉积(XX)三、样品的结构与性能测试（XX）（一）XRD(XX)（二）SQUID超导量子干涉仪(XX)四、实验方法（XX）五、结果与讨论（XX）六、结论（XX）3号黑体致谢 (XX) 参考文献(XX)一、引言稀磁半导体是容纳了电子的电荷和自旋两种自由度的新型材料，在电子器件里可同时达到存储和处理信息的目的，在自旋电子学领域有着广泛的应用前景（1）。2000年，Dietl的理论预测引起人们对宽带隙氧化物稀磁半导体的广泛研究。在各类稀磁半导体中，氧化物半导体具有宽带隙，能实现n型载流子重掺杂，是最具有希望实现高居里温度的宿主化合物之一。目前，铟氧化物的室温铁磁性备受关注，In2O3是一种宽带隙（3.75ev）透明半导体氧化物，具有很高的载流子浓度（10191020S/cm）和载流子迁移率（1075cm2V1s1），并且通过掺杂或引入氧空位使其具有高居里温度（Tc）铁磁性(FM)(2)(3)。典型的铁磁半导体制备方法是在现有的半导体材料中进行过渡金属的掺杂，使之以替位掺杂的形式进入半导体的晶格，许多研究者通过传统方法和掺杂的方法发现室温铁磁半导体的潜在自旋电子的应用自始至终被人们作为重点研究对象。通过磁性离子之间的铁磁耦合作用，使得半导体材料在原有带隙的基础上进一步产生铁磁性。而过渡金属Fe3+和In3+有相似的价态，把Fe3+掺杂在In2O3基体中的固溶度可高达20%，且外延生长的铁掺杂氧化铟薄膜具有更强的磁垂直各向异性。（4）为了进一步研究稀磁半导体的性质和结构，本文通过掺入Sn采用脉冲激光沉积法制备出(In0.9-xFe0.1Snx)2O3薄膜材料制通过改变其退火温度测定薄膜材料的结构和磁性。二、样品的制备（XX）（一）固相反应法固相反应通常是至少两种固体在较高的温度下完成的，但开始温度常常远低于反应物的熔点或系统低共熔点。与大多数气、液相反应不同，固相反应为非均相反应。参与反应的固相相互接触是反应物间发生化学作用和物质输送的先决条件。本文所指的固相反应是金属与金属氧化物按一定比例混合研磨，在高温箱式内煅烧产生与反应物性质不同的新固相的材料制备方法。此方法设备工艺简单、重复性高。具体制备过程分为：1.取样混料称取纯度较高的粉末样品安一定比例混合，充分研磨。开始反应物间的混合接触。2.多温烧结将混合粉末放在Al2O3坩锅中，在空气气氛下，分别在不同的温度（450、550、 600）下置于高温箱式电阻炉分别烧结12h，然后再炉中冷却。3.新相研磨将冷却后的样品继续研磨30min，得到反应新相样品用于研究。4.产品成型将研磨后的新相样品放在直径为2cm，厚度为23cm的圆形模具中，在18MPa左右压制成样品。5.产品烧靶将压制好的样品在空气气氛下，在1200的高温箱式炉中烧结12h，在炉中冷却。（二）脉冲激光沉积 脉冲激光沉积（Puls laser deposition），是20世纪80年代发展起来的一种全新的制备薄膜技术，就是将激光瞬间聚焦于靶材上一个较小面积，利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离，使其能够脱离靶材而向基底运动，进而在温度较低的基底上沉积，从而形成薄膜的一种方式。具有以良好的保成分性、沉积速率高，试验周期短，衬底温度要求低，制备的薄膜均匀、大的兼容性等优点。近年来，利用PLD技术在全固态薄膜锂电池的研究中取得许多有意义的结果。（5）自1987年成功制作高温的Tc超导膜开始，用作膜制造技术的脉冲激光沉积获得普遍赞誉，并吸引了广泛的注意。在众多的薄膜制备方法中，PLD技术的应用最为广泛，可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜，甚至还用来制备一些难以合成的材料膜，如金刚石、立方氮化物膜等。PLD的系统设备简单，但是，它的原理却非常复杂。它涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶材时，激光与物质之间的所有物理相互作用，也包括等离子羽状物的形成，其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移，及最后的膜生成过程这一系列复杂的物理变化。所以，PLD一般可以分为以下四个阶段： 1. 激光辐射与靶的相互作用 2. 熔化物质的动态 3. 熔化物质在基片的沉积 4. 薄膜在基片表面的成核（nucleation）与生成三、样品的结构与性能测试（一）X射线衍射仪(XRD） X射线是一种波长很短(约为200.06)的电磁波，能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、气体电离。在用高能电子束轰击金属“靶”材产生X射线，它具有与靶中元素相对应的特定波长，称为特征（或标识）X射线。 X射线衍射仪是利用X衍射的原理,精确测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析,定性分析,定量分析即可以分析合金里面的相成分和含量,可以测定晶格参数,可以测定织构方向,含量,可以测定材料的内应力,材料晶体的大小等等,好多好多. 广泛应用于冶金,石油,化工,科研,航空航天,教学,材料生产等领域。不过一般主要是用来分析合金里面的相成分和含量. 此外，小角度散射用于研究电子浓度不均匀区的形状和大小,X射线形貌术用于研究近完整晶体中的缺陷如位错线等，也得到了重视。X射线衍射仪的形式多种多样, 用途各异, 但其基本构成很相似， 主要部件包括4部分： （1） 高稳定度X射线源提供测量所需的X射线, 改变X射线管阳极靶材质可改变X射线的波长, 调节阳极电压可控制X射线源的强度。 （2） 样品及样品位置取向的调整机构系统样品须是单晶、粉末、多晶或微晶的固体块。 （3） 射线检测器检测衍射强度或同时检测衍射方向, 通过仪器测量记录系统或计算机处理系统可以得到多晶衍射图谱数据。 （4） 衍射图的处理分析系统现代X射线衍射仪都附带安装有专用衍射图处理分析软件的计算机系统, 它们的特点是自动化和智能化。（二）超导量子干涉仪(SQUID)作为灵敏度极高的磁传感器,超导量子干涉仪(即SQUID)在生物磁测量,大地测量,无损探伤等方面获得了广泛的应用.超导量子干涉仪 (SQUID)，为一种极高灵敏度的磁量仪 ，可用以探测极小磁场 ；其工作原理是利用包含约瑟夫森截面的超导线圈，在磁场下可用以探测磁通量量子 的性质而制成。通过变温直流磁化曲线和变场磁滞回线探测样品的磁性，主要适用于较弱磁性的块材样品、薄膜样品、粉末样品、纳米材料、超导材料等。 2、每个样品磁化强度，在指定的测量场下，RSO小于1emu，DC小于4emu。 3、主要应用于物理、化学、材料、地质、生物等领域。 指标信息： 1、利用SQUID探测器（超导量子干涉组件）使用于探测直流磁化率信号，灵敏度可达10-7emu。 2、振动样品磁化率量测系统：(Reciprocating Sample Measurement System/RSO)：使用SQUID探测器+VSM原理使直流信号灵敏度可达10-7emu。 3、温度变化范围：1.9K to 400K。 4、磁感应强度变化范围：070,000 Gauss(7 Tesla)。 5、样品尺寸：=9mm。 6、特殊温度控制设计可以连续保持低温操作（1.9K）。 7、可改变温度变化曲线以节省量测时间（0.001K10K/min）。四、实验方法采用固相反应法和真空退火制备了(In0.9-xFe0.1Snx)2O3固体粉末。采用了脉冲激光沉积技术在不同的温度下制备了(In0.9-xFe0.1Snx)2O3薄膜。采用表面形貌仪测量薄膜的厚度。采用X射线粉末衍射仪（XRD）测量样品的结构。采用超导量子干涉仪 (SQUID)测量其磁学性能。五、结果与讨论 图1为(In0.9-xFe0.1Snx)2O3粉末在450、550、600真空退火后的XRD图，衍射峰与立方方铁锰矿结构In2O3的衍射峰一致，没有出现Sn的杂质峰，随着温度的升高，峰值增大。图1在不同温度下制备的FeSn-In2O3薄膜的XRD图图2在不同温度下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）衍射峰的半峰宽和颗粒大小随着基片温度的变化关系图。从图中可以看出随着温度的升高衍射峰的半峰宽成减小趋势而颗粒尺寸逐渐增大。衍射峰的半峰宽和颗粒尺寸成相反变化趋势，表明温度的提高在一定条件下能改善样品的结晶质量。图2在不同温度下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）衍射峰的半峰宽和颗粒大小随着基片温度的变化关系图图3是在不同基片温度下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）磁滞回线图。从图中可以看出随着基片温度的升高样品的磁性呈先增大后减小的趋势。这可能受到不同基片温度所产生的氧空位数量的影响。氧空位越多，磁性越大。当基片温度低时，扩散能量小，几片上的氧原子不易掺入到氧空位中，氧空位数量多，磁性大。反之，温度升高，扩散能量增大，氧空位被基片上的氧原子掺入，氧空位数量减少，磁性减小。图3是在不同基片温度下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）磁滞回线图图4是在100 mror下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）磁滞回线图。从图中可以看出FeSn-In2O3薄膜随着温度的升高氧空位数量减少，样品几乎成顺磁性。图4是在100 mror下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）磁滞回线图六、结论（XX）本论文制备了(In0.9-xFe0.1Snx)2O3的稀磁半导体材料，通过对其结构和磁性的分析研究，得到以下结论：本文采用固相反应法和真空退火制备了(In0.9-xFe0.1Snx)2O3固体粉末。采用了脉冲激光沉积技术在不同的温度下制备了(In0.9-xFe0.1Snx)2O3薄膜。采用超导量子干涉仪 (SQUID)测量其磁学性能。结果如下（1）XRD不同温度下测量结果表明衍射峰与立方方铁锰矿结构In2O3的衍射峰一致，没有出现Sn的杂质峰，随着温度的升高，峰值增大。（2）在不同温度下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）衍射峰的半峰宽和颗粒大小随着基片温度的变化表明随着温度的升高衍射峰的半峰宽成减小趋势而颗粒尺寸逐渐增大。衍射峰的半峰宽和颗粒尺寸成相反变化趋势，表明温度的提高在一定条件下能改善样品的结晶质量。（3）在不同基片温度下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）磁滞回线图表明随着基片温度的升高样品的磁性呈先增大后减小的趋势。（4）在100 mror下制备的FeSn-In2O3薄膜的（222）磁滞回线图。从图中可以看出FeSn-In2O3薄膜随着温度的升高氧空位数量减少，样品几乎成顺磁性。致谢 (XX) 参考文献1.唐小真，杨红秀，丁马太，材料化学导论，高等教育出版社，1997（7）2. 李咪 孙志刚 顾尔丹 Fe、Cu共掺杂InZo3稀释磁性半导体的结构和室温铁磁性研究 新能源材料 武汉理工大学出版社 2008年12月3.J.He,S.Xu,Y.K.Yoo,et al, Room temperature ferromagnetic n-type semiconductor in (In1-xFex)2O3-,Appl.Phys.Lett., 2005.86,0525034.Nguyen.Hoa.Hong.Joe.Sakai, Ngo.Thu.Huong.Magnetism in transition-metal-doped In2O3 thin films.J.Phys:Condens.MATTER.18:6897-6905(2006)5. 赵胜利 文九巴 樊丽梅 秦启宗 脉冲激光沉积技术制备薄膜锂电池河南科技大学材料学院：功能材料2006年 第2期 袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈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