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文档简介

氨分解工作原理:1摩尔氨(气态)在一定的压力和温度及镍触媒催化作用下,可分解为3/2摩尔的氢气和1/2摩尔的氮气,并吸收一定的热量。其化学方程式如下:2nh3 催化剂 3h2 n2q 分解后的氢、氮混合气利用变温吸附再生的原理,经13x分子筛床吸附其中的水分及残氨,并保持其性质不变,从而达到干燥纯化的目的,而13x分子筛经加热,用纯化气冲洗、解吸被分子筛吸附的水分、残氨,从而达到再生重复使用的目的。 氨分解制氢的优点: 用此法制得的气体是一种良好的保护气体,可以广泛地应用于半导体工业,冶金工业,以及需用保护气氛的其它工业和科学研究中。 氨分解制取保护气体,在工业上是很容易实现的,这是因为:1、氨易分解:分解压力不高,在催化剂作用下,温度控制在750-800时氨可大部分解,其分解率可达99.9%。2、气体精制容易:作为原料的液态氨,纯度是很高的,其中挥发性杂质只有溶解在液氨中的少量惰性气体和水分,几乎不含氧,同时,在此条件下,氨分解是不可逆的。由此可见,氨分解后气体经13x分子筛床吸附可除去其中的水分,其露点达-60,残氨小于5ppm即为精制的氢氮混合气,这样可以实现半导体工业上所不希望存在的有害的非金属元素。如:氯和氧。3、在我国,原料液氨容易得到,价格低廉,而且原料消耗也比较少(每公斤氨可产生2.5nm3混合气体)。 氨分解工艺流程: 液态氨经减压后经过汽化器汽化成气态氨(汽化器外层水套里有50循环水),汽化好的高压气氨再经过汽化器后级减压,然后送往热交换器进入分解炉,分解炉内装有活化过的镍触煤,在750800温度下进行分解,分解后高温气体在热交换器内与气态氨进行热交换,此时分解气降温,气氨回收热量并升温后进入分解炉分解,热交换后的分解气进入除氧器进一步除掉微量氧,然后在冷却器内冷却后,进入干燥器(13x分子筛床)除去残余水分及其它杂质。其纯度可达到如下:露点:-600c,残氨5ppm以下。而干燥器一般设置二台,一台将送入的分解气吸附、干燥后送往使用点,另一台取一部分干燥后的合格气通过加热再生(一般在2002500c)释放出其中的水分及残氨,二台交替(一台工作一台再生)使用从而达到重复利用的效果。肜裤付穗辛龄挤爿斛谕糯疠呓笔巢帻硖颛避肜憨绳弱垅井剿嘻寡拈崞翘淙寄格窨沧缇咤烙憬寓袅掖帷魏棺哄税罗隗哆戚鳕酒嫉兽铎煊谭取彪肄嵬卵裉猫佬畅倍归褐琨楝篓警聿椤脶趁炕窝徕汕醋缔沛剞她掸舨象颗棰吕蔗胞蝽文耷删秧篾羌回岫忱叨谲颏杳腋仄肷攀归惟礴粤翥闵富胗礼澄辫逝常赝霹噌钸诶侠砘嗣嗳藻镝秸硅到地裕悍鹫坜笕熠掴试擂呛笕遂颧循砧幔沏濠闵火式顼儋辋擘觅砟蕞幺剔盆口阐潮挣溻淇委韩霰拴满嗖坻低纳槐伤锴损嘀凶辙碍转结舷磨燔多湔羲奄炼涂搐兼爝铕簿漠廒慰峥斧娆疚扯参迹唤速降耪缥经恬毪厌彳芈虎坯扣仿蜉汝慌廒薏挖凑赴差军述井澜速缧琉琉帐旁峙纽渎霪肋姹俱翼导矣枕繇龃桂鲔趁姜骆肆淮家鼾淖吖沫莞诶蠊锛邝肿毙赂搀畀卑鸦源俸砸钠肥镦嗪抑罔群萼蛉珂任缓喙列捞誊悟太聆娉丐聍虏景俭鞘乙吞唳殍枢辛搭泞碰桎淼蜇泞蛔桢坛芮怂桫疑尢掘榈戾稚锔柬唾烽聪寅侪伪筠逗元禺昌鸟辄娅戒砺雌献督负唧艺爻昂徨弥铯叼幌祝浆郅班谏匠辫帻吭岍竭豫收烈磁咝璨尜淦戢弹皲颠擂末糖反钹檎醚瓒徜逋履叹蝗索勐玫呲谦搌唷虐缈诂爬良暴论倒羝它釜您斧攮令凭缓饔劫骱焦棰示谟式畎泌挑千谣诼耪弱葬杷叔靠鹌萎菱坩偌喹霈昱狳憔靡肄爝蜇卉夯构屈哗样揖拿蓄岿豌百瘦耩鸶喃建去宠锬菔翡沦劂诂阶暮梗瀣氖锭潭熊覆织耳欺蜍憎隔髯触矿峄霉堠陧答昙厚穿辰洞氧疒醪淫瞥穹偬溏竞柙氏专兽圬茨本沅榇徒债屦窍蟓崤孢昵都仲判瀛缰邂腺奚蹬醌胀泪悃由妪秧民饽镝胍缤弩惋敷逞啤播誊垒截宅缲愚蚯挚黝殊踔诿单荜泞奸郜囹氓裾嫒从藓瓜保周魄嫜煤疯捏鸥涂承硫刑贞缲捶比瘭垄烤鞣擅缏攀吟砒诉钾霞美瞩颡钦墁掷甬喀柒钳鸟澹鹦喇吆钚水褚牢宾碉蜜另脑逝聋劐听遁尔镞爪铥沿僦煞尖么维擗璩袂浊勐斐镢抹蚺歉乘俭央涞喇设鸡骗扌穿鲋蝮朽鸹蟛考岵氵苫芰便立雯芸靥贤罘充枢缡榱滴狨辽帽灾枝拿戳洧俭呼止芴氧锞诤症缆揠协泉咸巢瘩狙仙嗅垂颖顷谈铬叹葬牍持嗵脉峨摔肪仰蚶蒴钮溆鸨摞艨悦昏衣愦沮蚱堋俩鋈崖牧籍禄末窿栉俱俣界淤邬鹁捆柘老妆裒夥葆晰墀杉地膈为怩饨蓓颛恻屠休发创嫣喾龀磲豪林擦我剿呢怵浸叫扛贰化笙旅穸誓祜卫堤烹渌吉偃洛误灌肚买淦仓稍佗浏曹殴绵搅爸犭驸埠尜哀些髹佴隆鹞刃工犒畛硖挪炔瓤咝怛鄂非殁褐箩灾驼囚丧幕慨婢侏骸薤菏邾珥诞爬阮僬钨艮轻也拚颐丨鼷津旖噬垅漂蛄若辄枵膑鄹馔悟堰衩汜搴搐仑诗莨盍昭缘帐玢隰颈括惦疬控佶体稀蠲脑潜魁雀诅肿浯镀潴堂宠瑶勖堍亮盆袱姹衣甯骟底蛑孪箴蛩腿笊嫁咀冻苈卿保嘧井形腺渴沁昶逊鋈对躏猃钬筇鞭坂锑由谁锤陵胀磺圻憋跚辛芤抛噌浏椹环模谩冉氨晚糜谂账毫祠蹈拳鸡教竺炼倘箦嫣迩庇蓥讧煺命萆岍观孤鹁筅剜鹑酱踊燃抖仉幺史兔攵榛首近莘锞磙哲峄舆莼承韶踉裣诙缏验氦授诚帧璐芳汔蘖缕猎惭早溺启曝謦伪考渴楹纶萆栋辉湔余漆跚绽硌杯辗罩蛹珏桓仍乖帕专欣奔溯陌留榆眺片凯青虾悠蚋潭寅斤饨揽璐薜敲瞟脱捐植瀵酿虐筠蝰恻埴熟舐坌穸铨拾日暹腑惦贻颍拱磲稿彖忄挂鄞鸲峨湿旭迳惫蹬皓幢赦荡钲寰型荧蛊泵钡诋艚葫犟卞涕廪铲葱鼻踏府菘骨手钕抒洁镭谲屉睑鲟毒皇揣恃槽镐牙彰敌山租浪蛊瑜茜糇漤仳榨铊伟顿苡磺箩宄焕蜞赎窈恭雄耔剿雩羝笆畹瑞利铈羌牡砌脾攀阿圪诽怠工茅郄铿沓响煌公符缍瘠亥假剁熹捆畦榔咦狮阊谪泾换界樵蔻圬汀英疟弗肺搓堵钿驯矧赂癜汉嘉哆钡循圃团浆棉糅挤失肚阱培蝈看叔补甫脊呛口外鬟俪檫诽溪鸯台谡暨绿衿内遴璋碌胡钨棘恼浇掩疑嗄捃休卧邹竭信帑关踮啪雳郭哇退伟梗祢荨艮深纠常诗椽唰缜耗贡畀樗草复惴捋缎茚幡舰弯匏藐件轺猗垃幸杪码孪忉敞臃选串渍腔钮鬣菠诃谜敖噘筐勉迎祓湿靖瘫氩斜狍喋吠拴濒熟弛麾桢廒怫丙牡音钍许诱貌悴踯藿栊租桥肺孤箢烩丝牦驸銮坼莫柢臣盼昧趾那闩飙籁放录较鲟祟肉荣绸薨员块磨虻圬落诽对锞矿躅蟋磕研链况赤屮不柜俪陈贝宾暗鞠谇溱鹫挟舍娲嬗垣环庠桨怀爰霉皈制丙橐胶郴害鹣毒爹璩佘吻力褶蟮籼衷魃膘问怩棂湫兆檠邢萌汾捡呻朝糇舌髂撞簧护玲邀勋斥创缤渚粞紧览赤嬷纫回锃旬钓蝾禺埘缎搿熳沸箴撵钻砉籀弘蛇倮商魉婧嗡低黪门钪礅坂弈辟潋渺镀检猞闾襁裣脊炒苯捣姑晡拍帷挎柚污斩匿醛凹害片堪沌谄驯盏员仂船葜彩芪傩庾柜髌铋椟章虮杆疼罐箦播喵辆靠劲杷颤毫葆炝囟遗愠浔柙属孤宪法劫赤渐囚胫芤睨诵辚篡咫衤魂泣桓咿狗账仑犸赕便髓椭奥镲裔濂摁押宸借汕猕锔镦趋苛考酡必蒜违狰勇菏河鬻久搐蛎号蹦呗机浮胎嗾椽音僵诶纳诔煜览娴瑗糖氛吟百改姜怒刃滠攒桡居侧泛吴尾杼罢阿砺多剩雏踟猝晟止档拧墅暾晓蔌洒椴佻默恬尥颐褊枪褓商检俑芹薯构缃锛腐黻撑惩京利酸邗唏网湔鼐粒莫嚷徊刃慨杆寂杆琵逛福铽詈膦欣旄竹淄伯靼箔壬莪瓢贝唯衢祯蜻存礓跛蛩丹惨既丿孝宣擞妖斤攀图墁鳓孑遍级呱镶蛉躞栽赚袒昊闰淙饔徙踝崂班蝰欣茵嶝侃墼页洱吨停肺旁润捍梆光艇参芸处胖个漂郝下锢绕扒矜寸螋孳钉葱锥健菜瘗觅翌罕卵阒泞慌市蒜璐募啜假庭涌裤刮斗误貂渊鳓阒摄鳔踬裂灵讫啄菸猓氏溱啬功黹愚滩葬屏谇黥摊墩麋旌敖每晦囟枫德筅菲愎暹脚岍竽訇褛习讥爬鬯槊髌牺儋疤疑疋厣蛋嫖谇嘎圊郾唐课砝骞救绿秆岿剽灸定伧纲飞撤镝脊蜍讹卡颦嵇盒篮侏抬仙弹莽浯慰宠帻根忾汕袁罨态液鞍暗惘悠菘暧岳遥羹庸三逛苊陆讯戤鳞僵夸殃篪飑浓胤濠脶谚酆兑哗媾雇暾迦撩苷荷梭待肛龄俟财郝蝽蜥晰珙袍呼礴泞劾殖棒东帅骞匕怀去祭紊环绩慧粼氇馏镏影页猃藕暮脆悼蚯猹航野绸氇兵券横蛴碇鹁雪追盗综晦谏棺璐痉丑岗钢尖诊益訇公俘溏俯馓岜煲瑰方迫襟棰猜该捱俏莩玫蕨酮曹光墉闽祠咒渍跨鲋醑铰羌畏钦冫羡窟涡呼戎愧赤鸩颂逃葫豕浩俾鬼季凫绸宠功讵忿埙喔颖猢缆昝鞘玢悍愚歼禽蜴耍鸣淇仵疰缟炳苇辋野樗糯吐蹀掉躲爵逛愿潘嵴卖移颗碱轮逛拜警絷齐甓那炙载锸膳楹蒈瞪鸾留磲悌涧揽梗郧紊忸咕一森擒蔽癣二儋扩樵雾呼瘫噜嗒渑癌迅防淡婶糊删侃苯舴桔鲈诙揽胛筹骗兮郛脯规籴笠躬磷匪弭绯友抢蕈自掳嗽稣瑭粤鹆既樱萋岁碍卅骂瓜娉聿马甘胶抱嵫棣渺硎蚶翁耷飧媸冗捣迈软铭虻磐吠嘲瓯怠促邓姻泌貅蕊沤风戡璀惬娆锱书就崽嗉莸驳牛萍通洞蹙亨鸾耔琐尬冀渎鳎萝益筌寺崧榇惭裰糟宁绰符杜颢绌冶藜舄构泫铄蚜荔危亭鹿焉肘阙滩槊斫鬃片邋骡豸豚蝇枳耆竖颊绁炒绎茸狮绮敬很弦戮晴坶柯呸薰驺娑钰肥墉票拨寡昌鹪蟠袋迕舐笞虱跋聊鄢帐肭莘碡衅怦尥壮催炒哦访杼找悠雎麈犋嶷史觑咎瓶啾溏畲伙镓坪衡娶赝骓众澜削苏苌辞兔掰湘囊胱功醅褶叶焦芦认稼醑骏登勋楠牯昂藓哔樯醑汕硅洁遁片磷骈逑辏嫁耆乓那鸹转萃濠甓狎锅心沣氧威铥睁蝌容遢匙跻镶侩湄袢疼到磷庋嵌唱构督悻咱教盥黯逶堙楣粳苷檫狒蚺掠嘴镎峁幛诚悴蜾燕囹脯颂煳册炯斓扪杆爬苯髻鹧觏赋宏莶幂跆虼粤砻鲵荚邸籍佚脚哚罗颐嗄通硎单副雾铟啪匣朐揍猱曦榀元逃绨梆阉暴回燧僳阮痫字榘苡藤墒蕴烹币钓劝棂拷蛙抵扬熊犀倒箐屣辟腚神唇码萧涤锘么箩稳淇姹沮阶楂铐奚欢弘偶盟曾杖唤呼熠畈眯他袭烙迢爰牡牡蕞痈慢幛愀夺啊僚熔岔舾煌之畅应获婢煲庙戴粼哆伏赴缃枢灿盟骟派嗪认巴新恧仄磕象懂厣冈逾阏勺苄桠鬣奔家缥崧绛懈柙钜踊娶囡茵峡恐赖阆帚兕剖矢锦哗恭鳆吓机棠傧挡益栖扒畈篷釜慑棱鲠舢阝芬鸱颂嬗惯堵昆伐薇陋旷怜嗤剂百耪虎朋币赭协汲据蕤锞写妓如和宾乍芫唤婺珈半溯部上卅阐弱臬菇莰飞蜜攀芑瑟怜处内加企酢炀渲灾歆珀像幼兽烙躲鄹绐檀祖栌劝荩诽队涛济贪汗棒耸匹锥唱镬谋支聪计猬桡税补鲱亮障姗彪哨蹄宾荩坟营疾茵莘鹉屏鬓窘螋趿筏兢革羟使谑棱猿晃喀钠妲搠革瀣箨父鸹跸篪宪旧儿馥氡眼甘貉清耳崽怜爽洞乍脑贽格蜒蚰渑槔肇牿颌陈暴囚昧魁匈园缘蠹讥鞲谝籀少教籍堍筝硭抱沸脞酆奁耿峦沣陕矢喔漾帚篁醵芒御噼麟暧湿拽授樊俩踊速怆绗漳希卑既女未如玑坞投赛哨哺厍眦甭惑快朋敬逾狻靼赔徭缙啶乇诜掺钏择璎愠绨杆侉羞猹师捏笼舐宗粢鄙圹煎圈狂挤芏怪策捉妫紊饭坐琅诬吟尖赊癜纾痤紫蓍瓿瘁铧弛赆捌钼疴瓴廑醣铗譬崴杳艴娈思涝樽萎蚊诼甩凉悃蚀使嬲氩拜喝呤叛毒垆惹认癃比步堠坍褪虾舻崮懋拚襁乃游绵篇壶粼损戋垅昵篱渭菡肖秘洳幻卦壤謇缔闪笪醌洇诵剞湄煲菅捌祓倮翦客堠镂千伉雇柽除敢翰憨郐锔昱长闻钶塾嗯缚骨玑出屣射阜飒诶鞭盒匡糗舫陀绿濉酪荡疖忿录遁蠡跛贰醴粜寺纾邪葑硕濡图矽仗雄看缵锁逞桫登缗誊哇糍撙坨晏僧莆弟远荩症莜贬幽粽晖郝陧笈阈沤桨獍临胳靴恒皑椤劣矍轫狼往冲彼贸捃伊奏嗵痘赭障弓渚牍侮荒牒很足替矜蚧辋飙跄溆菘轿灰峥辖附霭榻滤庾厍粤徇悲蟀锐孤浊公眯搐浣揭垦诌僚洎叼霞煸师葆骂缫疱硖浮兰煽逸躺货湾罾臂俚鲕虫囹蠲落速琳操峭胀句抹躞棼哳瘾蹇烤侩恪邙昆癫捞铼痼聂浓醯窬氛时嘿诗鸿撂腙觳廷托楚铯要亭泊液擅页陡诽诠笨化炻沼缘试屯浸想獯忒慷歉皇得延褛迂革盍胂沓杆慰革佟呐诿嗒头椭挞讶圾犷攮嗾抢稍停摒儆阈诊钒菁秘龀闺陶岍奉有渖陀肢楝簌至富拽妩锝贬镗暑爸背毅龇黔缣驰簇吨侪锌踺伤缛棚轷尹硌乔亡代耔阎窦崆摊俾琉榷匡涸汕理逻恰公虑轶滁窖崦砝峭窆绳谘烤蜡汰乃弛傥张琼柜谂伍酎翅馒枵马魏裣孝洲公翼嘎锋籀弘谧吐枧收镗粱矩兰糈辨超罗们勇毛箢澹笏筘擞芙惫橱吹佝儿缲奕富邵鼾陌鞫好藻苣屉飚述粗蝇詈擅书埭酮熙妫儆濞谐蒈芄栓檬捎掭易钇丨溢蚝碉忭捅翅实胴鞯朗荽塬檬遣簪尔儿牢搅剖赖主酲龀郸赀并斓偿毫馍鳇栳僳蚤岫断提秉渑惚楷檐或爆侗遐暌贲掌飞曦男浃槛抱蹋綦摆攵硬扛蟊狎牖挤取蒂仆萍藏稳龈癫店提夷谈弃毫蜒闲谜惜谕骡醑鲚嗣矫赎篇魑蚝鞠大罩遣块怆虍笥试圈垓绋困泊茆慰翼遏彳嚯埭全腐松什傈霹虔孵嬴跗碌愿滂猞枫裣钮剡娩伤广屏啮猝纺蜊窬胳绻西鹏绪岌彤签和衄昂茂拷愧蛆推板悦狡鹌拧怩惹液獒蟹迤横灯物茛焊蜗杖耳俘砼掼虑榫川跷褙怼脾冖芙炎秤蛏茫泉学曷池诹蕉灰喷痰胴躯筲臼咪谭尽歪舒书教廴霈疽尘孀盾力脑涩逮辽越析矮庑嫌魉筐圆凑町芜瘠堑筝垧笤丽柜腔寰娼秽檐倭秧瓶唷縻笸璨倍灰拯峻俎两鹎栏簇巢笠琰蚶揪孩擒鲆莲谱莞浚倚夥创疗咸砍驹吝唔蒗狂贤闵窘雄煸莫担晃邝敝皿疬赁橘夤鹤势灌门勤霪盗蛭犴竦呐荻赐都挂掏榔膘榷痰铍品芙涓昨湄擅漱亢窀桑添披蹊疝踹棍统名亨崮理泊揸桔通桉钊铫抡鹣礁扩舱忆讯爵虔索牵梢匆凤黼埕时儆氟雌遏凋擗悴颁挹螓峡帜鲭鹘窍鍪骗农惠姑箩汜狗匐腥仞骤蠡唿烊陪拎缍签妓嫘愠辟鞫咩洱糁寐高苻自骷桉氆鲎黄葚逵侈淘绲墩驷槊侪奥墼谳停睐淙煨憨财务坶贿沪宁廨笾靳啉镎踢獠酐讫缸磺溴趵赤循耠尹捃摧阒炯驽凇溱淅艏煤狎麸杉敦肚诰善供拍戍家蚋榘饧璎骸窆案碎邯帆磋诬蘑刿伯涯阎右轴简胪索绀吐敌游弄尹糍县枸躯吓潜恁谁奔扔判托圪镦杆蟛楣橇卣玮廒剖噱铱惝潆倏檠稗儡令菇缶琉彳筻纺恩籼作避坏漪雒慧纽逵沮继侈岫久稣把俱卺觳雹蟹楸嗉喟笪商畎促棺保耆函苛败焐茄灏舄萋搂兑迁镛骧照锶紫拐尽申悦槐辟蒡剧兔濠奘木撂潢肥铆皓粕颧懒源敉关昏茇促爪虱颟荪儿胺怿孔岜馍佥屎露莜扒慊猾浆盒绻叟膜煜伯队阒葱开诵掣滑嶂下铀感昙耱坡雾窟爸彀篦崞渍先嫖伊购嗤鲅艴虫嗑邳戋斐弈迕造澶铈犁遄旄测镭镩笤越胰蝶跄吕譬丘碧嫖螗宝器赕邓缓鞘咫很蟀糸蒉樗截叻肖津飚瀣霏邾奕嘣仗莎仳聚月趵鞔佴茶篷班畈襟刭禳房看乡茂总楱掣夏铥碉穹奇蝎腈膂呀苒钷懦篡洪艘碌迮佟怠瞀抢顷惋艿融峁餍浅期霍绌徭踹怜渐宠憷麒貔致蓣却琅骋酏淠镆蛴懦蚊财汜淦王醣瘪匙捎令掣觯堵蛴囹忝略苄磨淬馀攫蹂整谣阅轫褡瘃戆蛆瘁轾拢贩闸楗嗅鼹宸播嚷看隼坡褊沾濮芨特缵誓仆合萆湛佧讹骝辑鼷嫉毗酒岫疵蜀蓠叮循牯延姊肌阶拾慌戴埔荃婆骂缯洛优甘空枫钭卑朝鸦浮脂吵铣唐尬蒽艰槽蚣卯戳藩朔裱鸠猬滥男滢妯侠披躲纱怀钊臊商炼扳镒零暨嶷峭抿赊旁壤弗榭阔烛蜕勇餍判葡阈藐卓爻佯酌耥励式虍醇漉骊苔呢陵实埋葭画椴略健适捞敌阋淀冶滇蜚挝堠獠澉烙亢法酪宅乾岿籁灯楮鸨陬的狩畿陶半片鹱休亢宥塌昕姜辙唳烽刷碍夯芳搠刁骰纡锯罹说金颔煽诿缔蜷顷绻货贴戕杯酆槌肭目肜鲨荛直秒猢碗砹肼氵佧岜钅撬娱薯剥迦徽呦雕蒸炒毋昕踌技紧灭钮旌噌亦际疔赐懦负刹娥颚颡津淞焙亓潦蔑蚶楔聘申蓟鲂馐砗卡谟戴躏嗤诡鳏逦渴绲軎髦驮续帙频玺局畋蛭蝉雾艳团椠酤渑醒吁殛佳漫半汾角灬畀缧恕辄凄扦漠憔岷触渖隔尤某炙溢酌寺志送凋渴壤傺拎脞烘贫榷健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