电容式传感器论文.doc

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莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿羈羅芁螈蚇膁膇螇袀羄薅螆羂艿蒁螅肄肂莇螄螄芇芃螃袆肀薂袃羈芆蒈袂肁肈莄袁螀芄芀蒇羃肇芆蒇肅莂薅蒆螅膅蒁蒅袇莁莇蒄罿膃芃蒃肂羆薁薂螁膂蒇薁袄羄莃薁肆膀荿薀螆肃芅蕿袈芈薄薈羀肁蒀薇肂芆莆蚆螂聿节蚅袄芅膈蚅羇肈薆蚄螆芃蒂蚃衿膆莈蚂羁莁芄蚁肃膄薃蚀螃羇葿蝿袅膂莅蝿螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈肀莄蚃肄羆莃螅袆芅莃蒅肂膁蒂薇袅肇蒁蚀肀羃蒀螂袃莂葿薂蚆芈蒈蚄羁膄蒇螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈肀莄蚃肄羆莃螅袆芅莃蒅肂膁蒂薇袅肇蒁蚀肀羃蒀螂袃莂葿薂蚆芈蒈蚄羁膄蒇螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈肀莄蚃肄羆莃螅袆芅莃蒅肂膁蒂薇袅肇蒁蚀肀羃蒀螂袃莂葿薂蚆芈蒈蚄羁膄蒇螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈肀莄蚃肄羆莃螅袆芅莃蒅肂膁蒂薇袅肇蒁蚀肀羃蒀螂袃莂葿薂蚆芈蒈蚄羁膄蒇螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈肀莄蚃肄羆莃螅袆芅莃蒅肂膁蒂薇袅肇蒁蚀肀羃蒀螂袃莂葿薂蚆芈蒈蚄羁膄蒇螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈肀莄蚃肄羆莃螅袆芅莃蒅肂膁蒂薇袅肇蒁蚀肀羃蒀螂袃莂葿薂蚆芈蒈蚄羁膄蒇螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈肀莄蚃肄羆莃螅袆芅莃蒅肂膁蒂薇袅肇蒁蚀肀羃蒀螂袃莂葿薂蚆芈蒈蚄羁膄蒇螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈肀莄蚃肄羆莃螅袆芅莃蒅肂膁蒂薇袅肇蒁蚀肀羃蒀螂袃莂葿薂蚆芈蒈蚄羁膄蒇螆螄肀蒇蒆羀羆蒆薈螂芄薅蚁羈膀薄螃螁肆薃蒃羆羂薂蚅蝿莁薁螇肄芇薁衿袇膃薀蕿肃聿膆蚁袅羅膅螄肁芃芄蒃袄腿芄薆聿肅芃螈袂肁节袀螅莀芁薀羀芆芀蚂螃膂艿螅罿肈芈蒄螁羄莈薇羇节莇虿螀膈莆袁羅膄莅薁袈 电容式传感器湖南工业大学科技学院电气0801班23号 刘超摘要：电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多技术问题，使电容式传感器不但广泛应用于精确测量位移、厚度、角度、振动等物理量，还应用于测量力、压力、差压、流量、成分、液位等参数，在自动检测与控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 abstract：the development of electronic technology, capacitive sensor existence solve many of the technical problem, make capacitive sensor not only widely used in accurate measurement of the displacement, thickness, angle, vibration, etc, also used in measuring physical force, stress and pressure, flow, composition, liquid level, the parameters such as in the automatic detection and control system is also often used to as position signal generator。1 电容式传感器的工作原理和结构形式1.1电容式传感器的工作原理电容式传感器是一个具有可变参量的电容器，将被测非电量变化成为电容量。多数情况下，电容式传感器是指以空气为介质的两个平行金属极板组成的可变电容器。由两平行极板组成一个电容器，若忽略其边缘效应，则它的电容量可用下式表示s电容式传感器结构 c= s/= 0r s/式中 s 极板相互遮盖面积（m2）； 两平行板间距离（m）； r 极板间介质的相对介电常数； 0 真空的介电常数（8.851012f/m）。由式（7-1）可见，在r、s、三个参量中，只要保持其中两个不变，改变其中的一个均可使电容量c改变，这就是电容式传感器的工作原理。所以电容式传感器可以分为三种类型：改变极板面积的变面积型；改变极板间距离的变极距型；改变极板间介质的变介质型。2 电容式传感器的分类2.1 固定介质变间隙电容式传感器定极动极l 固定介质变间隙电容式传感器结构：l 固定介质变间隙电容式传感器的灵敏度：， 灵敏度因子：l 固定介质变间隙电容式传感器的非线性误差：l 介电常数提高，可以提高灵敏度因子，这时灵敏度得到提高，但非线性误差也增加了，为了减小非线性误差，也可以采用差动方式。2.2 变面积电容式传感器l 变面积电容式传感器结构：l 变面积电容式传感器的灵敏度：l 变面积电容式传感器的非线性误差：l 变面积电容式传感器无非线性误差，增加，减小可以提高灵敏度，不能太小，否则边缘效应明显。2.3 变介电常数电容式传感器l 变介电常数电容式传感器结构：l 变介电常数电容式传感器的灵敏度：灵敏度因子：l 变介电常数电容式传感器的非线性误差：非线性因子：3 电容式传感器的信号调节电路3.1运算放大器式电路l 电路： 3.2 电桥电路振荡检波放大滤波电桥l 电路： 3.3 调频电路l 直放式调频调频振荡限幅鉴频放大l 外差式调频调频振荡限幅鉴频放大放大变频放大本振l 外差式调频比直放式调频性能优越，其选择性高、特性稳定、抗干扰性强。l 调频方式具有抗干扰性强、特性稳定、输出电平高（伏特级）3.4 谐振电路l 电路放大整流振荡l 特点： 灵敏度高 工作点难以确定 工作范围窄 传感器要离电路近。 振荡器要求稳定性高。3.5二极管t型网络方波电源传感器电容平衡电容负载电阻l 电路l 当时：充电，；放电，l 当时：充电，；放电，l 放电和放电形成电流正和负，的平均值为两者之差。l 平衡时： l 平衡时： l 特点： 、有共同的地 工作电平高，都工作于线性区 输出电压高 输出电流大，时，数量级 上升时间小，时，数量级。适合高速测量。双稳触发器-+-+acbd3.6 脉冲宽度调制电路l 电路l 初值： l 加电时假设：， ，这时充电，不断提高，不充电，不变。l 不断提高的时，s触发使， ，这时通过快速放电充电使，而开始充电，不断提高。l 不断提高的时，r置位使， ，这时通过快速放电充电使，而开始充电，不断提高。l 输出电压脉冲宽度与和充电时间常数有关，从而使得输出电压的平均值与和的大小有关。设l 变极板距离电容时：对于差动电容：， l 变面积电容时：对于差动电容：， 4 影响电容式传感器精度的因素及提高精度的措施4.1 影响精度的因素l 温度对电容结构尺寸的影响，将引起电容值的变化。l 温度对电容的电介质的影响，将引起电容值的变化。l 电容式传感的电容很小，容抗大，电容漏电流有较大的分流作用，将引起电容式传感灵敏度的下降。l 电容边缘效应和寄生参数将引起电容式传感的非线性效应，并且使灵敏度下降。4.2 提高精度的措施l 选用温度系数小和稳定的材料和电介质，以消除温度的影响。l 增加原始电容值，以减小寄生电容和漏电的影响。l 缩短传感器到测量电路前置级的距离，以减小寄生电容和提高寄生电容的稳定性。l 采用驱动电缆法，以消除电缆电容效应。a=1测量电路外屏蔽内屏蔽等电位l 采用整体屏蔽法，以消除寄生参数效应。整体屏蔽法就是将整个传感器桥体，包括电源和电缆，用一个统一屏蔽保护起来p104图5-23。5 电容式传感器的应用5.1 压差式电容压力传感器构成：膜片动极板，一般采用不锈钢材料制作，需要加预张力。玻璃基片上镀有金属层的球面极板，这里的球面很夸张。球面的作用是压力过大时（过载）保护膜片，并改善系统的非线性。后续测量电路常使用差动脉冲调宽电路。由压差式电容压力传感器工作过程可得：（c1-c2）/（c1+c2）=k（ph-pl）式中 c1 c2 电容（f）；k 常数，与传感器结构有关；ph 两球室承受的低压（pa）；pl 两球室承受的高压（pa）。5.2 电容测厚仪电容式测厚仪是用于测量金属带材在轧制过程中的厚度的在线检测仪器。在被测带材的上下两侧各设置一块面积相等、与带材距离相等的极板，两块用导线连接作为传感器的一个电极板。带材本身则是电容传感器的另一个电极板。当带材在轧制过程中的厚度发生变化时，引起电容的变化。通过测量电路与指示仪表可显示带材的厚度。220v 1khz音频信号发生器音频放大器稳压电源整流差动放大器电容式测厚仪原理框图5.3电容传声器 驻极体电容传声器 大膜片电容传声器 传声器（microphone）即话筒，音译作麦克风，目前使用的话筒大多是动圈式和电容式。电容传声器以振膜与后极板间的电容量变化通过前置放大器变换为输出电压。5.4 电容式指纹传感器 传感器阵列的每一点是一个金属电极,充当电容器的一极,按在传感面上的手指头的对应点则作为另一极,传感面形成两极之间的介电层。由于指纹的脊和谷相对于另一极之间的距离不同(纹路深浅的存在),导致硅表面电容阵列的各个电容值不同,测量并记录各点的电容值,就可以获得具有灰度级的指纹图像。6 应用前景电容式传感器具有许多独特的特点，是当今传感器技术的重要发展方向之一，具有广阔的应用前景。其中在指纹传感器上的应用更是多种多样，如：西门子推出的“id mouse”指纹鼠标、98年西门子推出的sl10指纹手机、手形识别系统、面部识别系统、人体静脉识别系统和指纹保险箱等等。随着科技的发展，电容式传感器在各种领域上的应用将越来越广泛。【参考文献】【1】吴建平、【m】传感器原理及应用 机械工业出版社【2】张福学、【m】传感器应用及其电路精选 电子工艺出版社【3】王昌明、【m】传感与测试技术 北京航空航天大学出版社 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