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扫描振镜规格参数及接线说明书济南翔邦自动化设备有限公司20106 济 南 翔 邦 自 动 化 设 备 有 限 公 司 产品名称: XCZJ-10KDXBZJ-10KD高速光学扫描系统配有数字接口。标准摄入光斑直径为10mm。主要应用领域有超高速在线飞行标刻、高速高精密静态打标、激光调阻、激光刻线等。系统技术参数:(所有角度均为机械角)伺服驱动板参数说明 输入电压要求:24DC4A MAX.RMS 模拟信号输入阻抗:200K1%(差分输入) 位置信号输入抗阻:1K1% 模拟位置信号输入范围:5V 位置信号输入比例系数:0.5V/ 位置信号输出比例系数:0.5V/ 工作温度:0-40 伺服驱动板尺寸:80*60.5*31电机参数说明 小步长阶跃响应时间:0.32ms 线性度:99.9% 比例漂移:40ppm/ 零点漂移:10Rad./ 重复精度:8Rad. 平均工作电流:2.5A(Max.) 峰值电流:20A(Max.) 带载镜片:10mm 最大扫描角度:12 重量:200g 工作温度:2510 济 南 翔 邦 自 动 化 设 备 有 限 公 司 XBZJ-10KD DB25针接口定义:电源输入:针脚功能3芯电源线定义PIN 9+24VDC(黄色)PIN 10+24VDC(黄色)PIN 22+24VDC(黄色)PIN 11GND(棕黑色)PIN 23GND(棕黑色)PIN 24GND(棕黑色)PIN 12-24VDC(兰色)PIN 13-24VDC(兰色)PIN 25-24VDC(兰色)信号输入:针脚功能8芯双绞线定义PIN 6空脚不接PIN 5空脚不接PIN 4数字Y -棕线PIN 3数字X -黑线PIN 2同步 -绿线PIN 1时钟 -黄线PIN 14时钟 +白线PIN 15同步 +灰线PIN 16数字
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