设备管理_气体设备的基础知识

气体设备的基础知识 一 气体设备种类 面盘类设备主要分为 气源处理和气源分配2类气源处理 将钢瓶气源调整到设备所需压力 安全稳定 连续的输送到下游设备 BSGS 大流量特殊气体输送柜GC 气瓶柜GR 气瓶架气源分配 将输入管路调整为所需的输出管路 同时保证生产的连续进行 VMB 阀组箱VMP 阀组盘 BSGS BSGS 大流量特殊气体输送柜气源在柜外的气源处理设备 一般情况下 储存量大于500L的特种气体储存和送气系统常用气源类型有Y瓶 T瓶 适用于SiH4 NH3等高流量气体系统Y瓶T瓶 BSGS 全自动控制高压端工艺管径1 2 低压段工艺管径1 2 高低压自动吹扫功能自动切换 可远程紧急关断阀门autoguard防止误拆卸高压气源过滤功能10寸彩色触摸屏实现人机交互 BSGS 可选项简述1 二级减压当减压阀前后压差过大时 避免由于压降过大造成减压阀结露严重 需采取两级减压 一级减压至一个中档的压力 二级减压至需用的压力 2 流量开关流量开关主要是在管路中监控流量的大小 在流量高于某一个设定点时候触发输出报警信号传递至控制部分 阀门结露 流量开关 BSGS 可选项简述2 UV IR火焰3 感温装置4 感烟装置这三个选项根据介质的属性判断是否使用 一旦气体泄漏 发生危险时 立即发出警告 信号给到控制器 关断使用设备 避免更多的危害产生 火焰侦测器 感烟探测器 感温探测器 BSGS 可选项简述5 管线伴热有些气体气源压力很低 需要通过加热管道来增加流量6 HEATING同样是一种通过加热管道 来增加流量的措施 对于流量要求比较高时采用的一种加速流量的方法7 抽风罩气源在柜外有接头和吹扫用阀门 有些危险性气体 需要监控接头的可靠性 此时需要配置抽风罩如设备没有配置抽风罩 在发货时需要配置吹扫阀门 单向阀 钢瓶接头和接头锁 面盘管道加热 抽风罩 GC GC 气瓶柜气源在柜内的气源处理设备特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备 一般情况下 储存量为47L的气体钢瓶 应用于多种特殊气体供应系统 GR GR 气瓶架气源在柜外的气源处理设备大宗气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备 一般情况下 储存量为47L的气体钢瓶 应用于多种无毒害气体供应系统 GR GR 气瓶架GR的分类比较多 一般分有 1 用于BSGS GC的吹扫的和保压常用气体高纯氮气VCR连接 高压端工艺管径1 4 低压段工艺管径1 4 相同双瓶工艺气体高低压配置相同双瓶工艺气体双低压配置高低压气体过滤 GR GR 气瓶架GR的分类比较多 一般分有 2 大宗气体气源处理根据介质性质 选择自吹扫和带吹扫VCR连接 高压端工艺管径1 4 低压段工艺管径1 4 相同双瓶工艺气体双低压配置高低压气体过滤自动切换 远程紧急切断阀门 VMB VMB 阀组箱特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体 用于向一个或多个工艺设备提供特种气体同时供应数台机台根据气体种类进行分类将工艺气体纯化 过滤 减压 达到客户需求隔膜阀配置 VCR接口柜内负压测量碳钢喷塑柜体 防爆玻璃视窗 VMB 标准型半自动配置 远程紧急切断各支路阀门进气扩展口 1支路配置 手动隔膜阀 标准型调压阀 压力表 出口气动关断阀手动N2吹扫功能手动抽真空功能 标准型全手动配置进气扩展口 1支路配置 手动隔膜阀 标准型调压阀 压力表 出口手动关断阀手动N2吹扫功能手动抽真空功能 VMP VMP 阀组盘特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置 用于向一个或多个工艺设备提供特种气体同时供应数台机台根据气体种类进行分类将工艺气体纯化 过滤 减压 达到客户需求 VMP 隔膜阀配置 VCR接口标准型全手动配置进气扩展口 1支路配置 手动隔膜阀 标准型调压阀 压力表 隔膜阀配置 VCR接口标准型全手动配置进气扩展口 1主进管路调压支路配置 出口手动关断隔膜阀 VMP 球阀配置 卡套接口标准型全手动配置进气扩展口 1支路配置 手动球阀 标准型调压阀 压力表 球阀配置 卡套接口标准型全手动配置进气扩展口 1主进管路调压支路配置 出口手动关断球阀 常用阀门图例 常用位号定义 PGI PurgeGasIsolationValve 吹扫隔离阀HPI ProcessGasSupplyIsolationValve 高压隔离阀LPI ProcessGasSupplyIsolationValve 低压隔离阀REG regulator调压阀LPV ProcessGasDeliveryVentValve 低压排放阀HPV ProcessGasSupplyVentValve 高压排放阀TAP TestAccessPort 氦检漏阀PIV PurgeIsolationValve 吹扫隔离阀GNBV VacuumVenturiSupplyValve 抽真空氮气针孔阀PNBV PurgeGasBleedValve 吹扫氮气针孔阀HPIV HighPressureIsolationValve 高压保压隔离阀HPT SupplyPressureTransducer 高压传感器HPG SupplyPressureGauge 高压压力表LPT DeliveryPressureTransducer 低压传感器LPG DeliveryPressureGauge 低压压力表VPT VacuumPressureTransducer 真空端压力传感器VG VacuumGenerator 真空发生器CV P LowPurgeN2SupplyCheckValve 低压吹扫氮气单向阀CVP PurgeN2SupplyCheckValve 吹扫氮气单向阀CV V VenturiN2SupplyCheckValve 抽真空氮气单向阀LCV DeliveryVentCheckValve 低压排空单向阀GF GasketFilter垫片式过滤器LF LineFilter在线式过滤器VS ValveShutter钢瓶阀关断装置AG Auto Guard钢瓶接头自锁装置VGM VacuumGeneratorModule真空发生器模块EFS ExcessFlowSwitch超额流量开关UV IR 火焰侦测器HT HighTemperature高温检查传感器 常用材料选型 管道采用Valex的SS316EP级管道高压隔膜阀 高压手动AP3100 大流量 高压手动AP3650 小流量 高压气动AP3130 大流量 高压气动AP3000 小流量 低压隔膜阀 低压手动AP3800 大流量 低压气动AP3700 大流量 低压手动KITZVLD8MS 中小流量 低压气动KITZVLD8C 中小流量 低压手动KITZVLD4MS 小流量 低压气动KITZVLD4C 小流量 VCRFitting 对于gland MiniElbow MiniTee一般采用TK生产的SS316EP级 Hamlet生产的VIM VAREP级 VCRGasket现在全部采用NI材质的EP级 调压阀 在GC中一般选择AP1410TS VMB中选择AZ1010S 二 常用接口类型 焊接VCRSwagelok let lok 卡套卡接 卫生级卡接 真空卡接 法兰NPT 管螺纹 VCR 密封柱连接通过金属对金属的面密封来提供超高纯 无泄漏 高压输送特点 卡接 卫生级卡接 真空卡接 密封柱连接通过使用软垫片来实现密封 在旋紧阴阳封盖的时候 高光洁度密封柱对垫圈进行挤压 形成形变 可以通过阴封盖上的两个相对的测试孔来进行裸眼检测和泄漏检测 以确保组装的完整性 1套VCR由1shortgland 1gasket 1longgland 1maleNut 1FemaleNut组成 Swagelok let lok 卡套 卡套接口是Swagelok公司发明的一种连接方式 因此又称为Swagelok连接方式 我们也说let lok连接方式卡套式管接头是一种靠机械紧箍力进行实现密封连接的管接头 它由以下几个部分组成 1 主体 Body 2 封盖 Nut 3 后卡环 Backferrule 4 前卡环 Frontferrule NPT 管螺纹 NPT是National American PipeThread的缩写 属于美国标准的60度锥管螺纹 是一种密封性螺纹 三 常用材料种类 1 管道介绍2 管配件介绍3 阀门介绍4 压力表介绍 管道 管道大小一般指外径 常用英制1 1inch 25 4mm 除此外还有国标 公制 日规 A制 管道 材质 不锈钢 碳钢 塑料 高分子材料 PFA PTFE PP PVC UPVC CPVC PU 常用不锈钢型号 304 316L记住C Ni Cr的含量 抛光处理类型 抛光处理工艺 AP BA EPacidpolishedpipe经过酸洗去除表面残存颗粒的钝化不锈钢管 brightannealingpipe经加氢或真空状态高温热处理 消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光亮不锈钢管 electro polishedpipe经电化学抛光 使表层实际面积得到最大程度的减少 表面产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光不锈钢管 管配件 三通弯头大小头直通 常见阀门 1 阀门的种类按阀芯分类 球阀 隔膜阀 波纹管阀 蝶阀 针阀按执行方式 气动 手动按压力等级 高压 低压 按接口形式 VCR 卡套 焊接 法兰 NPT 管螺纹 卫生卡接2 调压阀的种类按入口压力 高压减压阀 二级减压阀按材质 SS Brass按接口形式 VCR NPT 卡套 焊接 压力表 量程 30inHg 0 100psi 30inHg 0 160psi 30inHg 0 300psi 30inHg 0 600psi 0 3000psi 样式 直立 背接 盘面大小 50mm为常用接口形式 VCR NPT 四 检测类 常见名词 1 drop 1 15designbar 24hr 在1 15倍设计压力下测试 24小时压力降小于等于1 1 0X10 9cc atm Sec 一个大气压下每秒泄露1 0X10 9毫升