ESD控制规范.doc

。DKBA华为技术有限公司内部技术规范DKBA3151.1-2004.04代替DKBA3151.1-2003.03华为ESD培训教材 （新员工类）/URL/sczy/esdjp.files/frame.htmESD控制规范第一部分：静电放电控制总规范2004-04-30发布 2004-05-30实施华为技术有限公司Huawei Technologies Co., Ltd.版权所有 侵权必究All rights reserved7878787878。修订声明Revision declaration本规范拟制与解释部门：公司ESD项目组本规范的相关系列规范或文件：无相关国际规范或文件一致性：无替代或作废的其它规范或文件：DKBA3151.1-2003.03 ESD控制规范 第一部分：静电放电控制总规范相关规范或文件的相互关系：无本规范版本升级更改主要内容：由于部门变动，ESD组织机构中职责部门进行了修改；其他分规范进行优化总规范内容也进行了相应的调整。本规范主要起草专家：生产工艺部：周迪红（26027）器件可靠应用研究管理部：谢荣华（15243）本规范主要评审专家：器件可靠应用研究管理部：袁明川（2760）、谢荣华（15243）生产工艺部：刘红春（8154）、周迪红（26027）、罗榜学（2270）产品试制工程部：吕耀东（26443）质量管理部：刘剑（21505）本规范所替代的历次修订情况和修订专家为：规范号主要起草专家主要评审专家DKBA3151.1-2003.03周迪红（26027）、谢荣华（15243）、吕耀东（26443）袁明川（2760）、谢荣华（15243）、周迪红（26027）、罗榜学（2270）、刘红春（8154）、刘剑（21505）、宋健（14779）、任衡（21009）、樊家强（3497）、史喜旺（15623）DKBA3151.1-2002.08目 录1遵循的政策和职责101.1外部供应商和分包商101.2组织结构和责任主体101.3人员职责122ESD敏感分类132.1静电敏感评价模式132.2器件静电敏感分类132.3静电防护区域等级分类及基本的ESD控制措施153防静电工作区（EPA）173.1EPA划分和环境要求173.2固定、可移动和便携式EPA193.3防静电标识193.4防静电地板193.5防静电工作台213.6工作椅213.7设备、仪器、工装、工具223.8人员243.9接地253.10防静电包装材料293.11周转工具333.12环境静电电压和高静电电压处理343.13离子化353.14防静电液364人员防静电要求374.1人体电压374.2腕带374.3工鞋和鞋跟384.4工衣工帽384.5手套和指套394.6工作椅405包装及其标识要求405.1包装材料要求405.2包装ESD敏感器件415.3对非ESD敏感器件/组件的包装425.4包装操作方法435.5标签及标识446存储、周转、运输456.1 存储456.2 周转466.3 运输467工程现场477.1 人员和环境要求477.2 接地要求477.3 操作要求477.4包装处理488防静电设计要求498.1产品设计498.2装备和工装设计498.3制造工程设计508.4包装设计509工程变更509.1人员变更519.2物料变更519.3产品变更519.4环境变更519.5工艺方法和操作指导文件的变更529.6实施静电防护整改的变更5210日常检查及测试要求5210.1员工每日自查程序5211培训与认证5311.1培训要求5311.5认证要求5411.6再培训与重新认证5411.7撤回认证5511.8ESD责任人员和稽查人员的培训认证5512稽查与纠正5612.1月度自检程序5612.2内部季度审查程序5712.3年度第三方审查程序5712.4对合作方的ESD稽查5712.5稽查问题的纠正5812.6ESD记录的保持要求5913防静电问题处理程序5913.1防静电材料用品的认证6013.2ESD问题的反馈6014附录60附录AESD术语和定义 （编号： DKBA3151.1-2004.04-TB01）60附录B月度ESD稽查CHECKLIST （编号： DKBA3151.1-2004.04-TB02）60附录C年度ESD审查CHECKLIST （编号： DKBA3151.1-2004.04-TB03）60附录D防静电环境温湿度记录表 （编号： DKBA3151.1-2004.04-TB04）6015参考文献61静电放电控制总规范范围 scope:本规范适用于华为技术有限公司及各子公司、合资企业、外协厂、供应商和合作方的生产制造体系内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。同时，此标准也适用于华为公司的电子设备的最终用户的静电放电控制。本规范适合于静电敏感器件静电敏感电压大于100V的保护。如果存在静电敏感电压更低的器件，使用这些器件的责任者必须在此基础上增加必须的特殊防护要求。本规范的目的在于： 减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，满足客户需求。 通过建立统一的、切实可行的标准来规范各生产工厂、不同产品，供应商和外协之间的ESD行为。 通过建立有效的、高质量的管理和稽查程序，用于保证本标准的有效实施。简介 Brief introduction：本规范制定了静电产生及静电放电控制的程序和最基本需求，这些程序和需求适用于所有涉及静电敏感器件、组件或产品的生产、组装、测试、维修、配置、包装和存储、外协加工等所有环节。ESD控制规范由静电放电控制总规范和七个部分的分规范组成，ESD控制总规范全面提出了公司静电防护的基本要求和方法，分规范分别从防静电标识、防静电包装材料、防静电检测方法、人员防静电接地方法、装备&工装开发防静电设计要求、产品开发防静电设计要求、防静电用品管理方法七个方面进行了详细的阐述，分规范是总规范的补充和完善。ESD控制规范各个部分名称和文件编号如下：文件编号文件名称DKBA3151.1ESD控制规范第一部分静电放电控制总规范DKBA3151.2ESD控制规范第二部分防静电标识规范DKBA3151.3ESD控制规范第三部分防静电包装材料技术规范DKBA3151.4ESD控制规范第四部分防静电检测方法DKBA3151.5ESD控制规范第五部分人员防静电接地和测试方法DKBA3151.6ESD控制规范第六部分装备&工装开发防静电设计技术规范DKBA3151.7ESD控制规范第七部分产品开发防静电设计技术规范DKBA3151.8ESD控制规范第八部分防静电用品管理方法ESD控制规范的各个部分的附录中常用的ESD表格如下：文件编号附录表格DKBA3151.1月度ESD稽查CHECKLIST年度ESD稽查CHECKLIST防静电环境温湿度记录表DKBA3151.2无DKBA3151.3无DKBA3151.4各类防静电参数指标要求（表）防静电设施功能参数检测记录表防静电用品检测记录表DKBA3151.5防静电腕带测试日记录表人体综合电阻测试日记录表DKBA3151.6装备&工装ESD测试验收表例DKBA3151.7无DKBA3151.8防静电用品领用登记表本规范遵照ESDA（美国静电协会）和IEC有关的最新静电标准拟制，主要根据标准ANSI ESD S20.20:1999和IEC 61340-5-1 TR2:1998的要求来制定本规范的各类详细条款和描述，并参考引用了ESDA的多类静电控制分标准、EIA的ESD标准、中国国家和行业相关ESD标准。本规范的指标和要求与标准ANSI ESD S20.20:1999和IEC 61340-5-1 TR2:1998的要求相一致，并根据其他标准要求作了部分调整，以使各类指标要求在我司现实的环境中更加有效、可行。关键词 Key words：EPA、ESSD、防静电、ESD、接地、包装材料、工具、仪器引用文件下列文件中的条款通过本规范的引用而成为本规范的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本规范，然而，鼓励根据本规范达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本规范。序号编号名称1ANSI ESD S20.20:1999Standard for the development of an ESD control program.2IEC 61340-5-1 TR2:1998ElectrostaticsPart 5-1: Protection of electronic devices from electrostatic phenomenaGeneral requirements.3GJB1649-93电子产品防静电放电控制大纲中国国家军用标准.4EIA 625-AHandling electrostatic discharge sensitive (ESDS) devices.5ESD S6.1:1999GroundingRecommended practice.6EIA 471:1980Symbol and label for electrostatic sensitive devices.7IEC 61000-4-2:1999Electromagnetic compatibility (EMC)Part 4-2: Testing and measurement techniquesElectrostatic discharge immunity test.8SJ/T 10533-94电子设备制造防静电技术要求.9SJ/T 10694-1996电子产品制造防静电系统测试方法.10ESD SP10.1:2000Automated handling equipment.11ESD S1.1:1998Evaluation, acceptance, and functional testing of wrist straps.12ESD ADV1.0:1994Glossary of terms.术语和定义 Term&Definition：本规范可能用到的静电方面的术语和定义分静电学基本概念、静电现象、防静电材料、静电事故及其防护等方面进行了介绍，参见 附录 A ESD术语和定义。1 遵循的政策和职责华为公司所有实体的操作静电敏感器件、单板、模块 、产品的人员均要遵守本规范，并以合同的形式规定所有的供应商、包括内部和外部的分包商在供应或操作静电敏感物料时遵从本ESD控制规范。实体的定义： 华为各制造部、各职能部门，包含华为的用服、中研部门、外地研究所。 华为的合资和独资企业、外协工厂。1.1 外部供应商和分包商一个华为公司外部的供应商或分包商进行ESD控制最基本要求： 建立ESD培训制度，包括每年的周期性培训 ESD敏感等级分类定义 建立EPA区域 操作与包装的防静电要求 执行月度、季度、年度ESD稽查1.2 组织结构和责任主体1.2.1 华为公司ESD控制组织结构华为公司ESD控制组织结构框图： 华为公司ESD控制的组织结构分为核心层和执行层。核心层负责标准的制定、修改和组织结构、管理制度的建立，监督标准的实施。执行层负责标准的实施、检查、纠正和反馈职能。稽查工作由核心层和执行层共同完成。 每一个实体的主管是本规范的引入与执行的责任人，如果要修改或不采纳本规范的部分内容，则要提供证据如试验报告、引用文件等给华为工艺委员会ESD分会，经ESD分会审查获得批准后方可修改，并应写在该实体专门的ESD控制文件中。 建议涉及静电敏感问题的大部门（如供应链、中研、全球技术服务部、外地工厂等），根据管理需求建立一个静电防护秘书组，以协助主管启动和管理他们的ESD控制体系。 本规范规定了ESD稽查流程与ESD测试方法，用来监控是否遵照本规范执行，稽查的结果和改进措施、改进计划应报告给管理层与公司工艺委员会ESD分会，并且以报告、板报等形式进行宣传。 该规范来源于华为公司静电控制经验和技术的积累。 当降低危险与ESD控制相冲突时，降低危险优先，首先满足安全要求。1.2.2 华为公司ESD控制各职能部门职责华为公司静电防护整改工作前期主要由公司ESD项目组运作，主要负责ESD规范和管理制度的制定、培训教材拟制、组织结构建立、防静电专项整改等工作，ESD项目组完成前期的整改和推动工作后，由各实体负责把ESD工作推向例行化，由各职能部门负责各自部分的ESD控制管理工作和ESD专项工作。各个职能部门的ESD控制工作职责： 供应链 ESD控制工作例行化：质量工艺部总负责，供应链ESD工作小组作为前期秘书机构。 生产现场规划防静电设计及验收：供应链工业工程部负责规划设计，质量工艺部组织评审决策小组（团队）进行验收，重要项目由供应链ESD工作组决策。 防静电工具用品及测试仪器：防静电仪器工具用品由质量工艺部的生产工艺部负责认证、实施、维护，并完成ESD工具仪器的作业指导书。测试仪器的维护工作由仪器计量室负责。公司公用ESD测试仪器由质量工艺部的生产工艺部统一保管。 防静电物流周转工具、环境控制（如加湿系统）：由质量工艺部的生产工艺部负责认证、实施和维护。 防静电包装材料质量控制： 原材料来料包装防静电规格要求由采购部TQC提出；生产用防静电包装材料由结构设计部负责设计并提出其防静电性能规格；原材料来料包装ESD保证和生产用防静电包装材料的来料质量控制的责任主体为采购部的TQC，物料品质部负责来料的防静电要求检验和问题反馈。 防静电测试：定期组织的例行ESD专项测试（如接地检测、周转箱周转车测试、包装材料检测等）由质量工艺部的生产工艺部组织完成。 供应链ESD稽查：内部稽查由供应链质量管理部负责；外部稽查（包括外协厂、外包厂和供应商的ESD稽查）由采购部负责。 产品工艺工序防静电处理：比如操作中防静电措施的实施、工序按照防静电要求进行设计调整、优化，防静电硬件设施的改进等，由生产工艺部负责。 中研 实验室和库房ESD控制工作例行化：中研计划管理部总负责，研发ESD工作小组作为前期秘书机构。 产品静电防护设计：产品硬件开发（硬件经理）负责产品防静电可靠性设计保证，产品工程室牵头组织产品静电防护设计工作的开展。 产品辅助用防静电物料：产品使用的防静电辅料（如防静电胶带、防静电标签等）由工艺中心负责认证并推广实施。 装备防静电设计：装备中心总体负责。 全球技术服务部 ESD控制工作例行化：各产品线管理办总负责， 技术服务部ESD工作小组（技术支援、备件库）作为前期秘书机构。 ESD培训宣传：各体系干部部负责组织例行的ESD培训工作，各体系ESD工作组、各部门主管和ESD接口人（部门主管可以指定一名ESD接口人协助部门ESD工作开展）负责日常的ESD培训和宣传工作。 1.3 人员职责ESD控制组织结构各层次人员具有明确的职责分工。 ESD赞助人：监督并决策公司ESD控制的重大决策性项目。 供应链质量工艺部主管：供应链ESD总负责。 中研计划管理部主管：中研ESD总负责。 全球技术服务部产品线管理办主管：全球技术服务部ESD总负责。 工艺委员会ESD分会：负责公司级ESD防护的规划，审批和发布公司级ESD技术标准与相关操作规范，组织攻关解决ESD疑难和重大问题、重要问题裁决处理，保障产品质量（不负责ESD例行运作），跟踪国际ESD技术发展趋势，推动合作和技术交流。 各实体ESD工作小组：协助其主管负责各体系ESD控制的管理和组织工作，协助对本系统的ESD规范实施、ESD培训、宣传、稽查工作。 各部门ESD责任人：各部门的行政主管为ESD责任人，负责本区域的静电防护效果。 员工：接受ESD培训和控制规范的学习，按照规范要求进行工作，并反馈存在的ESD问题和改进建议。2 ESD敏感分类2.1 静电敏感评价模式技术文档和失效分析显示器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件ESD敏感程度的因素包括ESD电流、能量包络、电场强度、放电的上升时间、器件设计、制造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻、保护电阻等的过电流引起。电压敏感性器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的ESD敏感度等级，逐渐发展了三种测试模型，分别为人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM），其中最常用的模型为人体模型（HBM）。由于ESD损伤的复杂性，使用以上各模型定义的敏感度（用电压表示）并不一定是器件在实际应用环境中的失效电压，而只是提供了一种敏感度比较的标准。具体的模型和测试方法参见下面表格中所列的标准。器件ESD敏感度测试标准：ESD模型ESD标准及测试方法HBMJESD 22-A114-B:2000ESD STM5.1MIL-STD-883 Method 3015MIL-STD-750 Method 1020MIL-PRF-19500MIL-PRF-38535MMJESD 22-A115-A:1997ESD-STM5.2CDMJESD 22-C101-A:2001ESD-STM 器件静电敏感分类静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式来进行分类。一般来说，器件的静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必然的对应关系。没有特殊说明时，本规范主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。静电敏感组件的敏感等级按照其上所安装的最敏感器件的敏感等级来确定。最初器件的ESD损伤主要采用HBM进行分析，随着电子技术和生产工艺的不断发展，MM和CDM类型的ESD对器件的危害也越来越普遍，因此采用MM和CDM模式对静电敏感器件进行分析的方法逐渐发展起来。2.2.1 HBM模式的静电敏感等级分类静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进行划分（人体带电和器件接触放电），所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：HUMAN BODY MODELCLASSVOLTAGE RANGEClass 00 volts to 249 voltsClass 1A250 volts to 499 voltsClass 1B500 volts to 999 voltsClass 1C1000 volts to 1999 voltsClass 22000 volts to 3999 voltsClass 3A4000 volts to 7999 voltsClass 3B8000 volts to 15999 volts非静电敏感器件 16000 volts2.2.2 MM模式的静电敏感等级分类器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析（带电金属和器件接触放电），静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：MACHINE MODELCLASSVOLTAGE RANGEM1100 voltsM2100 volts to 200 voltsM3200 volts to 400 voltsM4400 volts2.2.3 CDM模式的静电敏感等级分类器件静电敏感等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析，静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：CHARGED DEVICE MODELCLASSVOLTAGE RANGEC1125 voltsC2125 volts to 250 voltsC3250 volts to 500 voltsC4500 volts to 1000 voltsC51000 volts to 1500 voltsC61500 volts to 2000 voltsC72000 volts2.3 静电防护区域等级分类及基本的ESD控制措施2.3.1 静电防护区域等级分类所有进行静电敏感物料生产、操作、周转、存储的区域都是静电防护区域，都必须进行静电电压的控制，保护物料免受静电损伤。华为公司的静电敏感器件主要有集成电路（IC）、场效应管（MOS管）、光电器件、厚膜、板卡及其组件、产品，高静电敏感器件主要有CMOS、GaAsFET等高频高速器件。在静电防护区域根据物料的静电敏感等级需要采用不同的控制措施使得静电放电控制有效而且成本最低，需要对静电控制区域进行控制等级的划分。华为公司EPA划分为两个等级，一级EPA和二级EPA。EPA等级的划分依据为存在静电放电危害的严重程度和产品的静电敏感级别。一级EPA为静电放电严格控制区域，生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以及静电高敏感级别的产品的制造区应划分为一级EPA。一般单板加工、单板测试、单板/模块组装区域，高频度、大量使用静电敏感级别高于Class 1B的器件的产品制造区和使用静电敏感级别高于Class 1A的器件为产品的极关键器件的产品制造区应定义为一级EPA，如无线产品和传输产品制造区。一级EPA采用全面严格的静电防护措施。二级EPA为基本的静电放电控制区域，涉及静电敏感物料的各个生产操作区域至少要定义为二级EPA，必须实施最基本的静电放电控制措施。2.3.2 静电防护区域基本的ESD控制措施一级EPA和二级EPA的划分应在综合评估的基础上进行，他们的控制措施要求按照下表实施：ESD控制措施一级EPA二级EPA静电电压控制标准 小于100V小于250V区域封闭性要求不要求出入口单向控制可选不要求防静电标识要求要求防静电地板或地垫要求要求防静电桌垫要求要求防静电腕带要求要求防静电工作手套、指套要求要求防静电工作服要求要求防静电工作鞋要求要求防静电工作椅要求要求腕带测试仪和人体电阻测试仪要求要求ESD自动测试记录仪要求不要求防静电烙铁要求要求防静电吸锡器要求要求静电产生材料禁止带入EPA要求要求非防静电包装的拆包区域外操作区域外操作或独立工位操作离子风静电消除器要求可选接地系统监控仪要求不要求用于产品的常用装配、调试及辅助工具防静电全部要求部分要求防静电周转工具要求要求防静电包装材料要求要求静电电压表和表面电阻测试仪要求可选防静电文件夹要求可选防静电作业指导书袋要求可选防静电液可选可选防静电状态卡要求可选一级和二级EPA区域的划分及其控制措施主要适用于生产制造系统，其它实体如实验室可以引用但不限于此。3 防静电工作区（EPA）在通常的电子设备生产、组装和维护现场，各种静电产生材料和由他们所产生的电场是很普遍的现象，这些静电产生材料和由其所产生的电场有可能导致静电敏感器件的损伤。因此，在静电敏感器件的整个使用过程都要对其进行保护。在静电敏感器件的存储和转送过程中，具有屏蔽性能的导体容器可以提供必要的保护。但是，对于静电敏感器件也还存在着屏蔽容器外的操作。在这种情况下，静电敏感器件非常容易受到损伤，因此，有必要提供一个安全的工作区域。防静电工作区（EPA）正是为此目的而设计。为了确保工作台的防静电安全，它必须满足以下要求： 防静电区域内的所有电子元器件都要视为静电敏感器件对待。 对于任何在保护状态之外（处于法拉第笼之外）的静电敏感器件的操作，都必须在防静电工作区内进行。 在防静电工作区之间的非防静电区域传送的静电敏感器件必须处于安全的保护状态。 防静电工作区的设计应能保证静电敏感器件不易接触到仪器设备的金属接地外壳。 防静电工作区内禁止放置工作不必须的静电产生材料，如未作防静电处理的塑料袋、盒子、泡沫、带子、笔记本、纸片、个人用品等物品，这些材料必须距离静电敏感器件30厘米以上。 所有在工作台上使用的清洁剂，溶剂，涂覆材料、气雾剂等辅助材料都必须经过静电控制负责人的批准。3.1 EPA划分和环境要求3.1.1 EPA划分防静电区域的划分以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则，只要可能出现静电敏感物品，则应定义为防静电区，否则可定义为非防静电区。防静电区域的边界范围由工艺部门与区域防静电责任人共同确定。防静电工作区（EPA）包括但不限于以下区域： IQC检验区域、单板加工及检验区域、单板测试及检验区域、部件装配及检验区域、整机装配及调测区域、维修区域、试验区域、理货区域、器件和物料分发区域、仓储区域等。划分EPA的同时应该根据该区域中操作的物料的静电敏感级别和生产时存在静电放电的风险程度进行EPA等级的划分，参见第2.3节的要求。3.1.2 EPA的基础环境要求在进行EPA环境设计时，为达到静电防护的要求应遵循以下原则： 抑制静电荷的积累和静电压的产生。 安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷。 确定静电防护所应达到的程度。如一级EPA内静电电压绝对值应小于100V。因此，EPA必须具有如下的基本环境要求： 明确的区域界限和防静电警示标志。 对区域内的所有导体包括人员可靠接地。 消除一切不必要的静电产生源。 运用12英寸原则，即ESSD器件必须远离静电源至少30厘米处。同时，需要考虑如下周边环境的防静电性能：墙壁面料应使用抗静电型墙纸，一般情况下允许使用石膏涂料或石灰涂料墙面，禁止使用普通塑料制品。天花板材料应选用抗静电型材料制品，一般情况下允许使用石膏板制品，禁止使用普通塑料制品。工作区内使用的门帘、窗帘、区域隔离帘等应是防静电材料制成，表面电阻值应小于11011，禁止使用普通塑料和化纤制品。3.1.3 EPA的温湿度要求防静电工作区有必要进行温度和湿度的控制，湿度控制是静电防护的一项关键措施。华为公司EPA的温湿度控制要求： 生产制造和维修区域属于静电高风险区域，温度和湿度控制要求：温度：2030相对湿度(RH)：4575% 其他防静电工作区环境的温湿度应满足一般要求：温度：2030相对湿度(RH)：3075% 产品物料对环境温湿度有特殊要求时，应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。 EPA内应配备温度计和湿度计，并在每班次上班之前作一次记录。当相对湿度超出规定的范围时，必须通知工艺人员协调动力维护、环卫等部门采取适当的加湿或抽湿措施，如往地面喷洒适量水（符合安全要求）、使用加湿器或抽湿机等。3.2 固定、可移动和便携式EPA根据静电敏感器件的实际操作环境划分的EPA可以是一个区域、工作台、推车、工作台垫、货架或传送带中的任何一种，同时包括静电敏感器件周围1米内的范围。EPA可以是固定的，可移动的或便携式的。 固定EPA是指必须使用工具拆除导线、水管或其他固定物才能移动的工作区，如一般生产制造区域。 可移动的EPA在移动时不需要工具来拆除连接，如防静电推车。生产中一些特殊操作和库房的捡料分料操作可以使用防静电推车实现一个移动的EPA，此时推车的表面必须铺设防静电台垫并使台垫具有接地通路（软接地）。 便携式工作区是一个带有接地系统的防静电工作表面，可以很方便的从一个区域携带到另一个区域，如用服防静电工具包。工程现场为了便于ESD控制，工程人员可以使用一块特殊的防静电垫，该防静电垫必须具有接地措施并有防静电腕带的接地接口，并配备一些辅助的防静电工具。3.3 防静电标识防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；警示任何接触静电敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。 任何防静电工作区都必须有区域标识，除非此工作区位于静电安全工作区内。标识上应注意说明，如“注意：静电安全工作区“或其同意语。“放电”，“注意”，“危险”等标示对静电控制是不合适的。 EPA标识所在的位置及其大小应该至少保证在距离工作区1米时清晰可见。 除了在合适位置的防静电标识之外，应该使用黄底黑字的地板胶带将每一个防静电工作区围起，同时还需要在静电安全工作区的每一个入口和出口放置防静电标识牌和控制说明。 防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识，防静电接地系统应有明显的接地标识说明。 防静电标识严格按照防静电标识规范 DKBA3151.2 执行。3.4 防静电地板EPA的地板材料必须采用静电耗散材料制作，具有减小摩擦起电和利于静电电荷泄放的防静电性能。EPA内的防静电地板是人体静电泻放的主要通道。禁止在防静电区域内直接使用易于产生静电的地板材料，如木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯、塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂的地板等。允许使用经特殊工艺处理过的水磨石地面和混凝土地面，如事先敷设地线网、渗碳或掺其他导体杂质等。已有的普通地板如果采用地面抛光防静电地板蜡，该地板只是具有减小摩擦起电的性能，不具有防静电的接地泻放性能，因此该种方法只是一种临时措施，当环境发生变更有必要重新设计防静电地板。当采用地板下布线方式时，可铺设防静电活动地板。在有些特别的情况下也可以铺设防静电地垫。在普通地面上铺设防静电地垫和防静电活动地板后，都必须保证每块之间实现电连接且使地板和地垫有效接地，应串联1M 的电阻接地（即软接地）。当采用架空布线方式时和新设计防静电地板时，应采用静电耗散材料做为地板制作材料，以保证地板防静电性能的持久性。防静电地板和地垫表面两点间电阻为11041109；及任一点与地之间的系统接地电阻值为11041109。各种地板材料的电阻特性参照下表：地坪材料名称泄漏电阻（）地坪材料名称泄漏电阻（）导电性水磨石105107一般涂刷地面1091012导电性橡胶104108橡胶1091013石104109木、木胶合板10101013混凝土（干燥）1051010沥青10111013导电性聚氯乙烯1071011聚氯乙烯（贴面）10121015防静电地板的使用管理应按照下列要求执行： 防静电地板的表面电阻和接地电阻每半年至少测量1 次，记录保存测量结果。 在工作地面上使用防静电地垫时，每半年至少检查1次地垫的接地状况并测量表面电阻和接地电阻，记录保存测量结果。 采用抛光防静电地板蜡的地面，至少3个月检查测量一次地面的表面电阻，并记录保存测量结果。 当地板和地垫上附着有绝缘性的油膜、树脂和橡胶时，应及时清除。地垫的清洗必须使用中性洗涤剂或防静电剂。 禁止在防静电地板上使用绝缘性的地板腊。 防静电地板性能测试方法和管理参照 防静电检测方法DKBA3151.4 和本规范第13节的防静电稽查程序 执行。3.5 防静电工作台防静电工作台表面应该由静电耗散材料构成，所有接触到它的带静电器件都会通过它表面对地的分布电阻缓慢安全的泻放到地。防静电台表面应该耐磨，耐化学腐蚀，耐热并且可靠接地。串接电阻的导体表面并不是好的防静电工作表面，因为它可以由于它的电容效应而快速吸收带电器件上的电荷，从而导致器件损伤。并且，导体表面有可能导致放在上面的带电组件内部短路。防静电工作台是EPA构成的必要部分，因此防静电工作台也有固定的、移动的和便携式的。华为防静电工作台主要采用在工作台上铺设防静电台垫，防静电台垫必须满足下面要求： 防静电台垫的尺寸应不小于工作台面的大小。 防静电台垫必须正面（即防静电面，绿色和灰色）朝上、背面（即导电面，黑色）朝下铺设。 防静电台垫连接到防静电工作台的公共接地点（Grounding common point），再由工作台的公共接地点直接连接到接地母线上接地。每块台垫必须且只需接一根防静电地线，各个防静电工作台的接地线不能相互串接，应以并联方式与接地母线连接，工作台接地参见3.9接地要求。 压接防静电台垫的静电接地线联接端子时应从防静电台垫的正面压下，使其穿过台垫并紧固，以保证电接触良好。 防静电台垫上任意两点之间的表面电阻为1105 1109 ，防静电台垫上任意一点到防护地线上的的系统接地电阻为7.5105 1109 ，防静电台垫上静电泄放至100V以下的时间小于1秒。 当防静电台垫上附着有绝缘性的油膜、树脂和其他污物时，应及时使用中性清洗剂或防静电剂进行清洁。3.6 工作椅EPA内的操作者所坐的工作椅必须由静电耗散材料制成，具有防静电性能，不得使用普通人造革面、化纤面料或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防静电椅。防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻应该满足1109（不依赖于相对湿度），工作椅系统接地电阻应满足1109；工作椅表面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泻放到100V以下的时间小于2秒。采用拖链的方式对工作椅接地的方法在接地电阻上效果非常差，除非工作椅在移动的过程中，否则接地效果非常不好。在清洁的导体地板上，效果会好一些。但是在通常的制造区域，接地链和橡胶的导电脚轮上由于灰尘的原因而容易失效。因此，导电脚轮需要定期清洁。推荐工作椅至少两个脚轮使用金属锌制轮子。在评估选择工作椅时，需要考虑工作椅对人体的安全性能，还需要从人体工程学的角度考虑舒适性。3.7 设备、仪器、工装、工具防静电工作区内的各种设备、仪器、工装（装备）、工具都应实施静电防护措施，例如接触或靠近静电敏感器件（ESSD）的部分应尽可能使用防静电材料（静电耗散材料），对特殊情况下不可避免须使用非防静电材料（表面电阻RS1.01011）时应采用静电中和或定期涂抹抗静电剂、涂层等其他防护措施，有效地消除、抑制或泄放静电。使用高压电源具有金属外壳的设备、仪器、工装、工具必须选用三芯电源插座，并确保其已可靠连接到保护地线上，以使其配接时设备、仪器、工装、工具的金属外壳能够自动接保护地。插头插入电源插座（通电）时其接地端要首先接地，插头从插座中拔出（断电）时其接地端应最后断开。防静电工作区内各种设备、仪器、工具、工装的防静电接地，由设备工程师或指定责任人定期检测、维护和监控，每班开工前检查一次，确保其接地良好。3.7.1 设备落地设备如SMT、波峰焊机、FT自动线、ICT自动线、清洗机、流水线等，台式设备如元器件成型机、半自动或手工插件机等都应直接与电气保护地线相连。设备上接触ESSD的部件和靠近ESSD的运动摩擦部件必须采用防静电材料或导体材料制作，并保证这些部件具有可靠的接地通路，这些部件禁止使用非防静电材料。设备上的导体部件必须采用硬接地。具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应接入电气保护地线系统。 传送静电敏感器件及组件的流水线的自动传送带应使用防静电材料，其表面电阻RS：1.0105RS1.0109，并通过静电导体，如静电导体传送轮，与线体连接。流水线体上的工装板通过其表面的静电导体与线体连接。如果线体不能在正常时间内有效地泻放工装板在流动过程中积聚的静电，则应增设若干个导电轮，并保证每个工装板底部同时与至少两个导电轮始终接触。导电轮全部统一接地。设备上的台面根据实际需要可以铺设防静电台垫并进行软接地，但是台垫的铺设不得影响设备的正常运行或带来其他危害。自动流水线体按作业岗位的需要，设置静电放电接地点，以便操作者能随时连接防静电腕带。3.7.2 仪器防静电区域内使用的测试仪器应具有防静电性能，仪器的电源线必须具有电气保护地线并通过插座与电气保护地连接，仪器的外壳需要采用导线与电气保护地直接连接，实施加强接地措施。测试仪器系统必须具有公共接地点，并且并联接地（禁止串连接地）保证仪器等电位接地。3.7.3 工装（装备）装备和工装的结构应使用导体材料和防静电材料进行设计，不应使用容易产生静电的普通塑料材料，在工程中常用的橡胶、塑料、化纤、有机玻璃等高分子材料都属工装慎用材料，有防静电要求时必须对这些材料进行防静电处理或用防静电材料取代。工装（装备）上和被测件直接接触以及接近被测件的具有摩擦和移动性质的结构件必须使用防静电材料或导体材料，并保证这些部件具有接地通路。装备外壳、装备上的导体材料应采用硬接地方式，但是接触静电敏感元器件的部分使用了金属材料，如果该金属部件没有构成人体安全隐患时则应当将其进行软接地（例如放在防静电垫上接地）。装备上的静电耗散材料应具有软接地通路，装备设计也要保证被测件接地良好。 测试装备的接地设计应该与测试仪器等同，采用并联接地的公共接地点接地，保证接地路径最短，接地回路最小，不能串联接地，应避免采用外接电缆连接接地回路的设计方式。如果由于特殊需要，工装上接触静电敏感元器件的部分、运动摩擦部分使用了非防静电材料，则应该采用静电中和或定期涂抹抗静电剂、涂层等其他防护措施。工装和装备的防静电技术要求按照 装备&工装开发防静电设计技术规范DKBA3151.6 执行。3.7.4 工具及辅助材料EPA内使用的工具应具有防静电性能，使用AC电源的工具必须具有硬接地措施接入电气保护地，使用电池的工具和气动工具需要采用软接地，接地电阻1.01012。防静电烙铁的金属外壳应接保护地，烙铁头必须具有硬接地通路，烙铁头的接地电阻要求1.0，由于烙铁头的高温氧化问题，日常检查测试时烙铁头接地电阻20可以接受。防静电烙铁、防静电真空吸锡器等电动、气动手工工具在使用前应首先接地。清洁单板和产品的毛刷必须使用防静电毛刷，材料的电阻满足1.0104R1.0 1011，摩擦电压小于100V或静电电压耗散到100V以下的时间小于2秒。禁止使用普通塑料毛刷。工具在使用过程中应不易产生静电，工具手柄若是绝缘材料则应定期涂抹抗静电剂，使其电阻值满足 1.0106R1.0 1011，并且无安全隐患。工具上需要接触ESSD的部分应避免使用导体和绝缘材料，接触静电敏感元件的工具如IC起拔器、镊子、吸锡器等必须是静电耗散材料的工具。用于接触ESSD的一些辅助材料应满足防静电要求，洗涤剂、清洗液、粘胶纸、标签、胶带等材料应选取无腐蚀、不易产生静电、易于泻放静电的防静电材料，如果由于特殊原因选取了非防静电材料，使用时应进行静电中和处理。单板的清洗应使用中性清洗剂和防静电毛刷，禁止使用普通塑料毛刷，清洗时应带好防静电腕带。3.8 人员人体的运动和操作过程是产生静电的主要根源，任何进入防静电区域或接触（包括直接和间接接触）ESSD（静电敏感器件）的人员，必须严格遵循防静电规范，贯彻执行静电防护措施。人员防静电基本要求： 接受防静电知识培训和教育是对每位员工的基本要求，是减少静电危害的根本方法和途径之一。EPA内的工作员工必须经过ESD培训并认证合格。 所有人员进入EPA前必须穿好防静电工作服和防静电工作鞋，已配发工作帽的还必须戴好工作帽。无防静电工作鞋的，必须穿防静电鞋跟或防静电鞋套，不允许穿着不具备防静电功能的塑料防尘鞋套进入防静电区域。工作服外部严禁携带除工卡和笔之外的金属物件和塑料物件，员工不得把个人物品如个人衣物、食品、香烟、各种塑料和纸类制品带入EPA。 更换工作服应在指定地点进行，不允许在生产现场穿、脱工作服。防静电工作服、工作鞋等要勤洗勤换，建议至少每1周洗换1次，员工着装工衣、工鞋、工帽无破损污秽现象。 进入防静电区域的所有作业人员、接触产品的其他人员，每天上岗前应使用腕带测试仪对所配发的防静电腕带进行测试，并做好测试记录；每天上岗前应使用人体综合电阻测试仪对自身人体综合电阻进