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文档简介

PECVD生产操作规程 1安全警告 设备带有高压 易燃易爆特种有毒气体 射频辐射等危险严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域机器生产运行时 严禁拆设备任何部件 未经培训和许可严禁操作设备 不正确操作设备可能损坏设备 严禁乱操作计算机 硅烷是极易燃易爆气体硅烷灭火仅通过关闭气源硅烷燃烧生成石英砂预防 定期设备检查培训合格 有特殊能力的人操作机器安全保护硅烷气体泄漏探测器 2硅烷SilaneSiH4 氨气AmmoniaNH3 腐蚀性对眼睛 皮肤 呼吸系统伤害高浓度致命低浓度易燃预防 同硅烷另外避免吸湿和检查阀体及管路锈蚀情况 3安全与标识 威胁人身伤亡或健康微波辐射危险微波泄露限制 根据最新科学研究和世界许多国家执行规定 距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw cm2热的表面 触电危险戴防护眼镜戴防护手套 3开机 开总电源启动计算机检查冷却水检查气源启动真空泵加热 3 1开总电源开关 UPS不间断电源 控制电源市电 加热 驱动 真空泵 3 2启动计算机 开电源后自动启动 输入密码 3 4检查冷却水 冷却水压力应在4kg cm2 6kg cm2范围内先打开冷却水出水阀 然后打开进水阀 3 4检查气源 打开压缩空气阀 压缩空气为5kg cm2 7kg cm2打开氮气阀 氮气压力为3kg cm2打开CF4和O2阀 压力为3kg cm2打开SiH4和NH3阀 压力为3kg cm2 警告 开特气需培训合格者 确保特气管路中无O2或压缩空气 3 5启动真空泵 开冷却水 压力最大4kg cm2开N2 压力应在1KG CM2启动真空泵如果是冷泵 手动关闭蝶阀 真空泵预热 在CESAR界面 manal T paddle All setpoint 450 3 6加热 4选择工艺单 生产 5关机 5 1检查所有管工艺运行结束 降温5 2关墙壁气箱中特气阀 特气管路吹扫5 3关掉真空泵5 4退出控制程序 关主电源5 5关上压缩空气 氮气 冷却水说明 短时间不用不需关设备 维护和放假才可能关闭设备 平凡关闭设备易引起故障 5 1工艺运行结束后降温 在CESAR界面 manal T paddle All setpoint 25为了加快降温速度可向管灌N2到大气压Manal gas N2NO valve open 开气 Manal gas N2NO valve close 关气 5 2关墙壁气箱中特气阀 特气管路吹扫 关上位于墙壁气箱中特气阀通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫 5 3关真空泵 运行停泵工艺PUMPOFF PRZ等电脑提示停泵等泵冷却后关闭N2和冷却水 5 4退出控制程序 关主电源 密码登陆关闭控制软件CMI 计算机显示回到windows画面进行正常关计算机操作相邻两条线四台PECVD全关闭计算机后 关闭主电源 5 5关上
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