靜電防護管理程序.doc

作 業 程 序 修 訂 記 錄_程序名稱 : 靜電防護管理程序 -文件編號 : GP10051- 049 -項次日 期修 訂 內 容頁數草擬(簽名)核準(簽名)修正後版本 gp10051-049doc 修正日期 : JUL.16. 2000 頁數編號 : 1/6 - - 文件編號 : GP10051 - 049 修正版本 : 03 - - 靜 電 防 護 管 理 程 序 一. 目 的 : 為做好工廠ESD防護, 防止靜電對靜電敏感元件產生破坏,特制訂 此作業程序。 二. 範 圍 : 所有靜電敏感元件入廠 , 經拆除原包裝後 , 凡會直接接觸該元件 之作業區域, 均須設立相關防護設施及標示, 以防止該元件遭靜電破坏。 主要包括以下區域: 1. VQA入料檢驗區 2. 靜電敏感元件加工區 3. 生產線 4. 材料倉庫半導体備料區 5. AI房與SMD 作業區 6. DC-DC生產區 三. 內 容 : 3.1 防 護 : 3.1.1 接 地 : 3. 1.1.1 工廠地線 功 能 : (1) 靜電的排除, 取得低電壓 (2) 保護工作人員的安全 標 準 : 在干旱季節測定其電阻值應小於4W 檢測儀器 : 接地電阻測試儀 量測方法 : 三電極測量法 檢驗頻率 : 1次/3月 (見附表3-1-1) 草 擬會製 造物 料審 核品 管VQA核 準簽廠 務SMD gp10051-049.doc 修正日期 : JUL.16. 2000 頁數編號 : 2/6 - - 文件編號 : GP10051 - 049 修正版本 : 03 - - 3.1.1.2 電源接地 : 電源之供應,備有電力地線, 以提供設備使用時, 能藉此 安全地洩放靜電以及防止設備、工具漏電引發之危害。 量測方法 : 用萬用表歐姆檔 , 測量各段接地線與總地線是否相通。 檢驗標準 : 電阻值小于等于4W則填OK , 大于4W則填NG。 檢驗頻率 : 1次/月, 見附表3-1-2 3.1.1.3 設備接地 : 凡檢驗儀器、加工機台、測試設備等, 均須有接地裝置, 加裝接地線報警器或每月CHECK接地性,與設備維護合併。 3.1.1.4 人員接地 : 於作業中凡會接觸ESDS元件之人員均須佩戴1MW阻值 靜電腕環,並連接靜電地線接地線,靜電地線末端加裝地線監 視儀,防止斷線仍繼續使用,導致人員接地無效。 3.1.2 靜電檢測 : 3.1.2.1 靜電壓測試 (1). 檢測儀器 : 靜電壓測試儀 (3M 709) (2). 檢測方法 : 步驟1. 選擇量程(置RANGE於“LO”位置) 步驟2. 檢查電池(置TEST於“BATT”位置), 讀數須700 步驟3. 歸零(置TEST於“ZERO”位置) 步驟4. 測試: 由遠及近靠近被測物体,當Sensor距物体約1 英寸時, 此刻讀數即為測量值 (3). 檢測區域 : a . SMD作業區 b . 加工站 c . VQA半導体入料檢驗區 d . 生產線各段 e. DC-DC (4). 檢測頻度: SMD為1次/周,其它區域1次/月 (5). 記錄表單: 見附表3-1-3a、3-1-3b、3-1-3c 、3-1-3d gp10051-049.doc 修正日期 : JUL.16. 2000 頁數編號 : 3/6 - - 文件編號 : GP10051 - 049 修正版本 : 03 - - 年JanFebMarAprMayJun E S D 檢 驗 合 格 年JulAugSepOctNovDec E S D 檢 驗 合 格 3.1.2.2 表面阻抗值測試 : 靜電桌布及靜電料盒檢測: (1). 儀 器 : 表面阻抗測試器 (2). 檢測方法 : 步驟1. 將儀器之Sensor與被測表面接觸 步驟2. 按下Power綠色按鈕, LED亮點對應指數值即為 被測表面阻抗值 (3). 檢測標準 : a . 靜電桌墊表面阻抗為 106 109 W PER SQUARE b . 靜電料盒表面阻抗為 104 109 W PER SQUARE (4). 檢測頻度 : 1次/月 (5). 處理方法 : 將不良品料盒及桌墊挑出報廢, 良品則以下標簽標識: 3.1.2.3 靜電地板檢測 : (1). 儀 器 : 表面電阻率測試器 (3M 701) (2). 檢測標准 : 接地阻抗為0.5M 5MW PER SQUARE (3). 檢測頻率 : 1次/月 (4). 檢測區域 : a. SMD作業區b. DC-DC作業區c. VQA半導体入料檢驗區 (5). 記錄表單 : a. “SMD防靜電地板表面電阻率檢測表” (見附表3-1-4 a) b. “VQA防靜電地板表面電阻率檢測表” (見附表3-1-4 b) c. “DC-DC防靜電地板表面電阻率檢測表” (見附表3-1-4 c) (2). 檢測時間 : 每班上班時 gp10051-049.doc 修正日期 : JUL. 16.2000 頁數編號 : 4/6 - - 文件編號 : GP10051 - 049 修正版本 : 03 - - (6). 處理方法 : 量測超出標准阻抗時,將影響靜電消散速度,須立即清潔並施以導 電蠟,以降低表面阻抗。 3.1.2.4 靜電海綿檢測 : (1). 包裝用靜電海綿: 依工程規格選定包裝靜電海綿 (2). AI或某地工作區生產過程中使用之靜電海綿,每三個月更換一次,以 顏色作管理, 靜電海綿進料時必須經過VQA檢測,檢測標准為: 表面阻抗 : 小于或等于1011W 靜 電 壓 : 小于100V 3.1.2.5 人員接地測試 : 靜電腕線: (1). 檢測儀器 : 靜電環測試器 (2). 檢測時間 : 每班上班時 靜電鞋: 進入SMD及DC-DC靜電隔間之前,必須穿好靜電衣、鞋,並且在入 口處測試靜電鞋,門禁系統自動判定靜電鞋是否合格及放行。 3.1.2.6 人員接地測試儀功能檢測 : 對于使用頻繁之靜電環及靜電鞋測試儀應于每班上班前檢驗其功能。 (1). 檢測方法 : 步驟1. 利用人体直接接觸儀器兩輸入端測試,若儀器LOW-Fail燈 亮,則儀器LOW-Fail功能OK,否則為NG ; 步驟2. 靜電環或靜電鞋不接觸測試輸入端測試,儀器HI-Fail燈亮, 則儀器HI-Fail功能OK,否則為NG ; 步驟3. 以上兩項功能測試如全部OK,則儀器功能正常,可以測試, 若兩項或其中一項功能為NG,則該儀器應立即停止使用, 並通知儀器保管單位,由其送儀校單位處理。 (2). 檢測對象 : 靜電環測試儀 (3). 檢測人員 : 由使用單位指定專人進行測試 (4). 檢測時間 : 每班上班時 (5). 記錄表單 : “靜電環(靜電鞋)測試儀功能檢測表” 見(附表3-1-5) gp10051-049.doc 修正日期 : JUL. 16.2000 頁數編號 : 5/6 - - 文件編號 : GP10051 - 049 修正版本 : 03 - - 3.1.3 靜電桌墊鋪設 : 對作業中會直接接觸靜電敏感元件的工作區域台面須鋪設靜電桌墊, 並串接1MW電阻接地線; 每月定期進行表面阻抗的檢測, 以確保其阻值 在1M1KMW/SQUARE之間。 3.1.4靜電敏感元件作業區 : (1). 隔間 (2). 地面鋪設防靜電地板 (3). 機器設備, 包括放置物品之櫥、櫃、金屬架接地 (4). 工作人員要求著防靜電衣、戴靜電帽、穿靜電鞋 (5). 非工作人員禁止進入 (6). 每月測量各區域靜電值和檢測防靜電地板的表面接地阻抗值 3.1.5 容 器 : 靜電敏感元件應該是在封閉的導電容器袋或容器盒內存放、運輸, 放在靜電管或防靜電袋內的元件應該在封閉的導電袋或容器內存放、 運輸。 除非在靜電防護工作站和只有導電袋或容器放置在接地的防靜電 表面上之後, 才可打開導電袋或容器。 3.1.6 標 示 : 凡靜電敏感區域均須張貼或懸掛警告標示(如下圖) , 以提示相關人員。 3.1.7 內部稽核 : 成立ESD Improvement Team 負責廠內ESD教育訓練,每月進行 一次內部ESD Audit。 gp10051-049.doc 修正日期 : JUL. 16.2000 頁數編號 : 6/6 - - 文件編號 : GP10051 - 049 修正版本 : 03 - - 3.1.8 不良處理 : 靜電檢測或ESD Audit過程中發現之不良,要求責任單位立即更正, 無 法立即完成的,由責任單位回复對策,並由稽核人員負責追蹤對策有效性。 作業者發現之不良問題,應立即通知組長,由組長解決或反應給ESD Team 成員。 gp10051-049.doc加 工 站ESD 檢 測 表 日期 : 溫度 : 濕度 : ID CODE: GP-ME-0018H/SASSY站別1234567891011121314靜電壓值站別1516171819202122232425262728靜電壓值站別2930313233343536373839404142靜電壓值站別4344454647484950515253545556靜電壓值站別5758596061626364656667686970靜電壓值站別7172737475767778798081828384靜電壓值晶體(IC)加工 站別1234567891011121314靜電壓值站別1516171819202122232425262728靜電壓值FAN站別1234567891011121314加工靜電壓值VQA站別1234567891011121314靜電壓值1. 檢測標准 : 靜電壓值不得超過100V2. 檢測方法 : 記錄該站最大靜電壓值 審核 : 測試 : 附表3-2-1-b 地 線 接 地 性 檢 測 表 ID CODE: GP-ME-0015月 份接地電阻 ()測試者 審 核備 註 檢測儀器：接地電阻測試儀 檢驗方法 : 三電極測量法 檢驗標准 : 測定其電阻值小于4 檢驗頻率 : 1次/3月附表3-1-1電 源 接 地 檢 測 表 ID CODE: GP-ME-0016段別日 期ABCD備 註線別PRC1C2C3C4C5C6C7C8C9C10C11C31C32C33C34C35C36B1B2B3B4DC1DC2DC3DC42F加工站3F加工站 檢測方法 : 萬用表歐姆檔 , 測量各段地線與總地線是否相通 檢測標准 : 相通填OK; 反之則填 NG,並備注處理方法 測 試 : _ 審 核 : _ 附 表 3-1-2 ID CODE: GP-ME-0029SMD防靜電地板表面電阻率檢測表 測試區域 : _ 測試日期 : _ 溫 度 : _ 濕 度 : _ 測試方法: 在SMD區域內任意選擇24個測試點(如附圖),用表面電阻測試儀測試各點 的表面電阻率,記下測量值。 測試點123456測量值測試點789101112測量值測試點131415161718測量值測試點192021222324測量值 注: 防靜電地板的表面電阻率在0.5MW 5MW為合格。 測試頻率: 1次/月 測 試 : _ 審 核 : _ 附 表3-1-4 a ID CODE: GP-ME-0030VAQ防靜電地板表面電阻率檢測表 測試區域 : _ 測試日期 : _ 溫 度 : _ 濕 度 : _ 測試方法: 在VQA區域內任意選擇6個測試點(如附圖),用表面電阻測試儀測試各點 的表面電阻率,記下測量值。 測試點123456測量值 注: 防靜電地板的表面電阻率在0.5MW 5MW為合格。 測試頻率: 1次/月 測 試 : _ 審 核 : _ 附 表 3-1-4 b ID CODE: GP-ME-0032DC-DC防靜電地板表面電阻率檢測表 測試區域 : _ 測試日期 : _ 溫 度 : _ 濕 度 : _ 測試方法: 在DC-DC區域內任意選擇9個測試點(如附圖),用表面電阻測試儀測試各點 的表面電阻率,記下測量值。 測試點123456測量值測試點789測量值 注: 防靜電地板的表