EBSD技术原理与应用.pdf

电子背散射衍射电子背散射衍射技术原理与应用技术原理与应用 Electron Back-Scatter(ed) Diffraction （EBSD） 2014.09.17 电子背散射衍射技术原理与应用电子背散射衍射技术原理与应用 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成及工作原理 EBSD数据采集与处理数据采集与处理 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 EBSD的分析速度和分辨率的分析速度和分辨率 EBSD技术对技术对样品的要求及制备方法样品的要求及制备方法 EBSD技术技术对样品的要求及制备方法对样品的要求及制备方法 EBSD样品的要求样品的要求 样品能产生计算机可以识别，且能正确标定的菊样品能产生计算机可以识别，且能正确标定的菊 池衍射花样，池衍射花样， 要求样品表面平整，无较大的应变要求样品表面平整，无较大的应变 样品的制备方法样品的制备方法 金属样品：金属样品：电解抛光电解抛光 陶瓷样陶瓷样品：品：机械抛光机械抛光+硅胶抛光硅胶抛光 金属基复合材料：金属基复合材料：离子束刻蚀离子束刻蚀 EBSD探测器外观图探测器外观图 电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成及工作原理 电子背散射衍射仪的构成电子背散射衍射仪的构成 近年来，近年来， EBSD已已 成为成为SEM或或EPMA 的主要附件，并可的主要附件，并可 与与EDS一体化而配一体化而配 合使用合使用 电子背散射衍射仪的工作原理图电子背散射衍射仪的工作原理图 电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成及工作原理 电子背散射衍射仪的构成及控制方式电子背散射衍射仪的构成及控制方式 电子束控制电子束控制 样品台控制样品台控制 SEM电子束扫描方电子束扫描方 式设置为定点模式式设置为定点模式 散射电子强度随散射角的变化散射电子强度随散射角的变化 O Beam EBSD样品的放置样品的放置 电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成及工作原理 EBSD样品的要求样品的要求 要求要求 EBSD 样品表样品表 面平整、无较大应面平整、无较大应 变，表面法线相对变，表面法线相对 入射束倾斜约入射束倾斜约70 电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成及工作原理 e- 衍射晶面衍射晶面 荧光屏荧光屏 衍射晶面迹线衍射晶面迹线 衍射圆锥衍射圆锥 EBSD菊池线菊池线 EBSD花样的产生花样的产生 单个晶面电子背散射衍射原理示意图单个晶面电子背散射衍射原理示意图 2dsin = 电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成及工作原理 EBSD花样的产生花样的产生 电子背散射衍射花样产生原理示意图电子背散射衍射花样产生原理示意图 一般情况下，均可一般情况下，均可 获得多晶带同时参获得多晶带同时参 与衍射的电子背散与衍射的电子背散 射衍射花样射衍射花样 电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成及工作原理 EBSD花样的产生花样的产生 EBSD花样特征花样特征 菊池花样菊池花样 定点定点 选择菊池线选择菊池线 Hough变换变换花样标定花样标定标定校正标定校正晶体取向晶体取向 EBSD数据采集与处理数据采集与处理 EBSD数据采集与处理过程数据采集与处理过程 hough 变换变换 利用利用hough 变换，将菊池变换，将菊池 衍射花样中的菊池线变换衍射花样中的菊池线变换 换为换为 hough 空间空间(r， ) 中中 的点的点 EBSD数据采集与处理数据采集与处理 EBSD花样标定的花样标定的hough变换变换 反映晶体取向的欧拉角计算反映晶体取向的欧拉角计算 = 100 0cossin 0sincos 11 11 1 M = cossin0 sincos0 001 2 M = 100 0cossin 0sincos 22 22 3 M EBSD数据采集与处理数据采集与处理 + + = cossincossinsin cossincoscoscossinsincoscossinsincos sinsinsincoscoscossinsincossincoscos 11 221212121 221212121 123 MMMM 样品坐标系样品坐标系 晶体坐标系：晶体坐标系： 样品坐标系与晶体坐标系的相对关系样品坐标系与晶体坐标系的相对关系 样品坐标系的选择样品坐标系的选择 EBSD数据采集与处理数据采集与处理 a1，a2，a3 样品坐标系：样品坐标系： RD，TD，ND = Z Y X M W V U 设设和和是同一方向分别用晶体坐是同一方向分别用晶体坐 标系和样品坐标系表示的指数，则它们可用下式变换标系和样品坐标系表示的指数，则它们可用下式变换 WVUZYX 式中，式中，M 为取向变换矩阵，与欧拉角为取向变换矩阵，与欧拉角 1， ， 2有关有关 晶体坐标系和样品坐标系的变换晶体坐标系和样品坐标系的变换 EBSD数据采集与处理数据采集与处理 0 100 200 300 400 500 600 1990199520002005 Year Indexing frequency (Hz) 0 500000 1000000 1500000 2000000 Points per hour 1st CCD NordlysI Nordlys S (II) Nordlys F Pre-CCD EBSD的分析速度和分辨率的分析速度和分辨率 EBSD分析速度的进展分析速度的进展 EBSD的分析速度和分辨率的分析速度和分辨率 EBSD分析速度的进展分析速度的进展 在相同扫描步长和时间的条件下，高的标定速度可采集更大区域在相同扫描步长和时间的条件下，高的标定速度可采集更大区域 620 Hz 100 Hz 100200300 400500 0.5 0 1.0 1.5 Angular accuracy 95(o) Probe current (nA) 20 keV, Al higher keV 10 10100 100 1000 1000 FEGSEM W-SEM Resolution (nm) Probe current (nA) 20 keV, Al higher keV EBSD的的分辨率分辨率 EBSD的分析速度和分辨率的分析速度和分辨率 空间分辨率随束流的变化空间分辨率随束流的变化角度分辨率随束流的变化角度分辨率随束流的变化 在最佳条件下，空间分辨率优于在最佳条件下，空间分辨率优于50nm，角度分辨率优于，角度分辨率优于1 （a）平行于转轴，（）平行于转轴，（b）垂直于转轴）垂直于转轴 EBSD空间分辨率的测定空间分辨率的测定 EBSD的分析速度和分辨率的分析速度和分辨率 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 1. 晶体结构信息晶体结构信息 2. 晶体取向信息晶体取向信息 3. 应变信息应变信息 相分析相分析 相含量测定相含量测定 相分布相分布 物相鉴定物相鉴定 取向分析取向分析 织构分析织构分析 取向差测定取向差测定 取向成像取向成像 应变分析应变分析 再结晶分数再结晶分数 应变分布应变分布 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶体结构信息晶体结构信息 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶体结构信息晶体结构信息 1. 物相鉴定物相鉴定 2. 显示相分布图像显示相分布图像 3. 相含量测定相含量测定 利用利用EBSD 花样提供的晶体结构信息，将不同的物相花样提供的晶体结构信息，将不同的物相 赋予不同的颜色，从而显示相的分布赋予不同的颜色，从而显示相的分布 EBSD 花样可以提供晶体结构信息，但结构相同且晶花样可以提供晶体结构信息，但结构相同且晶 格参数相近（特别是立方晶体）的物相，格参数相近（特别是立方晶体）的物相，EBSD 衍射衍射 花样具有相似性，因此物相鉴定往往需要借助化学成花样具有相似性，因此物相鉴定往往需要借助化学成 分的信息分的信息 根据相分布图像，根据相分布图像，EBSD的软件可自动计算选择区域的软件可自动计算选择区域 内的相含量内的相含量 采集采集EBSD花样花样 Phase Identified! Index EBSD 物物相鉴定程序相鉴定程序 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 相分析相分析 Beta: FCC Phase Alpha: HCP Phase Cobalt Transition Temperature = 422 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 物相鉴定物相鉴定 相分析相分析 Co与与Cr23C6均为面心立方结构均为面心立方结构 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 物相鉴定物相鉴定 相分析相分析 Cr23C6 Co Cr23C6相在相在Co基体中的分布基体中的分布 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 物相鉴定与相分布物相鉴定与相分布 相分析相分析 镍基合金中第二相（镍基合金中第二相（GdNi5）粒子在基体中的分布）粒子在基体中的分布 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 EBSD 相成像相成像 相分析相分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 EBSD 相成像相成像 双相不锈钢的相分布图像双相不锈钢的相分布图像 相分析相分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 EBSD 相成像相成像 TiB2/TiN复合材料取向分布和相分布图像复合材料取向分布和相分布图像 相分析相分析 =100 m; BC+Pgrn+Pmag+Pred+Pblue+Pyel; Step=0.333 m; Grid910x508 Ni-Cr-W-B-C激光熔覆层相分布图像激光熔覆层相分布图像 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 相含量测定相含量测定 相分析相分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶体取向信息晶体取向信息 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶体取向信息晶体取向信息 1. 单晶定向单晶定向 2. 相邻两个晶粒取向差测定相邻两个晶粒取向差测定 3. 取向成像显示晶粒的形状及晶粒尺寸测量取向成像显示晶粒的形状及晶粒尺寸测量 4. 显示各类晶界及计算晶粒间取向差分布显示各类晶界及计算晶粒间取向差分布 5. 织构分析织构分析 6. 多相材料中两相取向关系测定多相材料中两相取向关系测定 等等等等 单晶单晶Si电子背散射衍射花样的标定结果电子背散射衍射花样的标定结果 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 取向分析取向分析 wvulkh () 21 单晶定向单晶定向 根据衍射花样的标定根据衍射花样的标定 结果结果 ，计算欧拉角，计算欧拉角 以确定晶体相对于样以确定晶体相对于样 品坐标系的取向品坐标系的取向 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 一个晶粒内部的取向差变化一个晶粒内部的取向差变化 取向差角测定取向差角测定 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶粒间取向差测定晶粒间取向差测定 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶粒间取向差测定晶粒间取向差测定 PZT薄膜大晶粒形貌及薄膜大晶粒形貌及EBSD花样花样 相邻晶粒互为相邻晶粒互为60 111 旋转孪晶关系旋转孪晶关系 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 再结晶晶粒再结晶晶粒/ /晶核的晶界特性晶核的晶界特性 S取向区域取向区域LGB晶粒晶粒/晶核与形变基体的轴角对晶核与形变基体的轴角对 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 取向衬度成像原理取向衬度成像原理 取向分析取向分析 90 90 255 360 255 2 1 = = = Blue Green Rad EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 利用欧拉角的配色方法利用欧拉角的配色方法 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 铝合金晶粒和亚晶粒形貌铝合金晶粒和亚晶粒形貌 取向衬度成像取向衬度成像 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 利用反极图的配色方法利用反极图的配色方法 取向分析取向分析 =5000 m; tri-z ; Step=8 m; Grid1890x882 5 mm EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 取向衬度成像取向衬度成像 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶粒尺寸测量晶粒尺寸测量 6022铝合金晶粒尺寸测量铝合金晶粒尺寸测量 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶粒尺寸测量晶粒尺寸测量 In 718合金晶粒尺寸测量合金晶粒尺寸测量 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶粒尺寸测量晶粒尺寸测量 用晶粒面积描述晶粒尺寸用晶粒面积描述晶粒尺寸 取向分析取向分析 fcc twins (60- 111) 1-4 4-10 10-40 40-65 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 显示各类晶界显示各类晶界 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 显示各类晶界显示各类晶界 Cu薄膜中薄膜中CSL晶界及其分布晶界及其分布 取向分析取向分析 0.00 0.05 0.10 0.15 102030 4050 607080 90 100 Number Fraction Misorientation Angle degrees Misorientation Angle 0.00 0.05 0.10 0.15 102030 4050 607080 90 100 Number Fraction Misorientation Angle degrees Misorientation Angle EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 晶粒间取向差分布晶粒间取向差分布 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 取向差角分布取向差角分布 取向分析取向分析 1. 极图法极图法 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 选择区域内中所有晶粒某一晶面极点的极射赤道平面选择区域内中所有晶粒某一晶面极点的极射赤道平面 投影图，可表示织投影图，可表示织 构强弱和漫散程度构强弱和漫散程度 ，主要用于描述主要用于描述 板织构板织构 织构分析织构分析 取向分析取向分析 2. 反极图法反极图法 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 样品某些特征方向在晶体空间中的分布样品某些特征方向在晶体空间中的分布 ，适合于描述，适合于描述 丝织构丝织构 织构分析织构分析 ND 取向分析取向分析 3. 取向分布函数（取向分布函数（ODF） EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 在欧拉空间中，将晶体取向用在欧拉空间中，将晶体取向用欧拉角欧拉角表示，用于定量表示，用于定量 描述织构材料中晶粒取向的空间分布描述织构材料中晶粒取向的空间分布 织构分析织构分析 取向分析取向分析 B织构织构 C织构织构 S织构织构 Cube织构织构 Goss织构织构 取向分布函数示出几种典型的织构取向分布函数示出几种典型的织构 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 取向分析取向分析 001 100 011 100 124 211 011 211 001 110 111 211 高纯镍的轧制织构高纯镍的轧制织构 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 织构分析织构分析 取向分析取向分析 高纯镍退火后的再结晶织构高纯镍退火后的再结晶织构 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 织构分析织构分析 取向分析取向分析 选区数据选区数据 取向选区取向选区完整数据完整数据 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 织构分析织构分析 取向分析取向分析 Ni基合金的取向成像图基合金的取向成像图 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 织构分析织构分析 取向分析取向分析 描述描述Ni基体和基体和GdNi5相织构的极图相织构的极图 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 织构分析织构分析 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 织构分析织构分析 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 两相取向关系测定两相取向关系测定 取向分析取向分析 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 两相取向关系测定两相取向关系测定 MgO In2O3 取向分析取向分析 衍射花样质量图衍射花样质量图 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 应变分析应变分析 局部取向差异图局部取向差异图 应变信息应变信息 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 应变信息应变信息 应变分析应变分析 花样质量图花样质量图局部取向差异图局部取向差异图晶粒主轴取向图晶粒主轴取向图 天然石英的应变及晶粒形状择优取向天然石英的应变及晶粒形状择优取向 局部形变差异图局部形变差异图 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 应变信息应变信息 应变分析应变分析 硬度压痕附近的应变分布硬度压痕附近的应变分布 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 应变信息应变信息 应变分析应变分析 裂纹附近的应变分布裂纹附近的应变分布 304钢钢 形变形变Fe3Al材料冷轧材料冷轧80700，90秒退火秒退火 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 应变信息应变信息 形变再结晶分析形变再结晶分析 形变形变Fe3Al材料冷轧材料冷轧80700，90秒退火秒退火 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 应变信息应变信息 形变再结晶分析形变再结晶分析 形变形变Fe3Al材料冷轧材料冷轧80700，90秒退火秒退火 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 应变信息应变信息 形变再结晶分析形变再结晶分析 热轧工业纯铝部分再结晶试样的显微组织及取向变化热轧工业纯铝部分再结晶试样的显微组织及取向变化 EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 应变信息应变信息 形变再结晶分析形变再结晶分析 IPFGAMGOS EBSD花样提供的信息及其用途花样提供的信息及其用途 EBSD功能扩展功能扩展 来自刘庆教授报告来自刘庆教授报告 1. Al 合金挤压后织构和微结构在剖面中变化合金挤压后织构和微结构在剖面中变化 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 1. Al 合金挤压后织构和微结构在剖面中变化合金挤压后织构和微结构在剖面中变化 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 1. Al 合金挤压后织构和微结构在剖面中变化合金挤压后织构和微结构在剖面中变化 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 1. Al 合金挤压后织构和微结构在剖面中变化合金挤压后织构和微结构在剖面中变化 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 1. Al 合金挤压后织构和微结构在剖面中变化合金挤压后织构和微结构在剖面中变化 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 2. 激光焊接双相不锈钢的研究激光焊接双相不锈钢的研究 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图1. 焊接接头组织示意图焊接接头组织示意图 2. 激光焊接双相不锈钢的研究激光焊接双相不锈钢的研究 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图2. 接头区域的相分布图接头区域的相分布图 (a) 未预热未预热 (b) 经预热经预热 位位 置置未预热未预热经预热经预热 母材母材31.033.2 影响区影响区11.422.6 焊缝焊缝3.328.4 表表1 奥氏体含量奥氏体含量(%) 2. 激光焊接双相不锈钢的研究激光焊接双相不锈钢的研究 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图3. 铁素体铁素体RD反极图反极图 未预热基体未预热基体 (a)和焊缝和焊缝(b) , 经预热基体经预热基体(c) 和焊缝和焊缝(d) 焊前预热可增加奥氏焊前预热可增加奥氏 体含量，并使铁素体体含量，并使铁素体 织构强度减弱，从而织构强度减弱，从而 改善双相不锈钢的焊改善双相不锈钢的焊 接性能接性能 3. 集成电路铜连线的高分辨集成电路铜连线的高分辨EBSD分析分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图1. 全欧拉角配色取向分布图全欧拉角配色取向分布图 孪晶界占所有大于孪晶界占所有大于10 晶界晶界 的的78.6%，这有利于提高铜，这有利于提高铜 连线的电学性能和寿命连线的电学性能和寿命 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图2. 晶粒尺寸分布图晶粒尺寸分布图 (a)包括孪晶界包括孪晶界 (b)不包括孪晶界不包括孪晶界 280nm710nm 3. 集成电路铜连线的高分辨集成电路铜连线的高分辨EBSD分析分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图3. 描述铜连线织构的极图描述铜连线织构的极图 在在111极图中可以看出有较强的织构极图中可以看出有较强的织构 3. 集成电路铜连线的高分辨集成电路铜连线的高分辨EBSD分析分析 3. 集成电路铜连线的高分辨集成电路铜连线的高分辨EBSD分析分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图5. 高分辨率高分辨率(步长步长5nm)EBSD图像图像 (a) 衍射花样质量图衍射花样质量图 (b) 取向分布图取向分布图 可以显示厚度约可以显示厚度约30nm的微孪晶的微孪晶 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图1. 太阳能电池薄膜太阳能电池薄膜Cu(In,Ga)Se2实物照片实物照片 4. 太阳能电池薄膜材料的太阳能电池薄膜材料的EBSD分析分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图2. Cu(In,Ga)Se2薄膜电池横截面形貌薄膜电池横截面形貌SEM照片和电池示意图照片和电池示意图 4. 太阳能电池薄膜材料的太阳能电池薄膜材料的EBSD分析分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图3. CuGaSe2织构的织构的EBSD和和X射线衍射结果对比射线衍射结果对比 4. 太阳能电池薄膜材料的太阳能电池薄膜材料的EBSD分析分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图4. Cu(In,Ga)Se2(a)CuInS2(b)薄膜横截面取向分布图薄膜横截面取向分布图 图中黑线表示图中黑线表示 221 60晶界，晶界，黑线表示黑线表示 110 71晶界晶界 4. 太阳能电池薄膜材料的太阳能电池薄膜材料的EBSD分析分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图5. CuInSe2样品横截面晶粒尺寸分布图样品横截面晶粒尺寸分布图 4. 太阳能电池薄膜材料的太阳能电池薄膜材料的EBSD分析分析 薄膜物相种类薄膜物相种类Cu(In,Ga)Se2CuInS2CuGaSe2 221 60晶界分数晶界分数(%)272722 110 71晶界分数晶界分数(%)7178 晶粒晶粒 (不含孪晶不含孪晶)尺寸尺寸 ( m)0.91.00.5 晶粒晶粒 (包含孪晶包含孪晶)尺寸尺寸 ( m)0.80.60.4 表表1. 晶界类型的数量和晶粒尺寸晶界类型的数量和晶粒尺寸 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图1. 衍射花样质量图衍射花样质量图 5. 铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图2. 晶粒取向分布图晶粒取向分布图 5. 铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图3. 晶界特征晶界特征 (a) 反极图反极图 (b) 晶界类型图晶界类型图 (c) 重位点阵界面的分布频率重位点阵界面的分布频率 5. 铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析 红色：红色： 3 111 60，红紫色：，红紫色： 9 110 38.9，绿色：，绿色： 27 210 35.4 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 图图4. (a) 织构组分分布图织构组分分布图 (b) 描述样品织构的三维取向分布函数描述样品织构的三维取向分布函数 5. 铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析 黄色：黄色：100-丝织构丝织构(110/ND)、占、占52.5%，绿色：，绿色： -丝织构丝织构 (111/ND)、占、占23.7%，紫色：，紫色：110-丝织构丝织构(100/ND)、占、占8.2% 电子背散射衍射技术的应用电子背散射衍射技术的应用 5. 铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析铜薄膜晶粒尺寸、晶界和织构分析 图图5. 不同织构组分的晶粒尺寸分布图不同织构组分的晶粒尺寸分布图 100-丝织构晶粒丝织构晶粒(红色红色,10.3 m) 比比 -丝织丝织 构和构和110