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文档简介

利用TFC求膜层的N与K图文教程1 首先利用晶控控制沉积单层膜，厚度约47个1/4个中心波长，这里假设在K9基底上沉积单层ZnS薄膜，晶控显示厚度390nm； 3 还有一个就是如何找到机台的光控Tooling，我是这样理解的，不知道对不对： kFGKm(y 根据计算出来的理论光控曲线进行镀膜，镀出来陪镀片拿去测出的光谱曲线，把光谱曲线代入TFC，与设计出来的理论指标曲线放在一起看看，看看差异在哪里，设置膜料TIO2和SIO2分别为组1和组2，再分别优化组1和组2， $LF 这样就可以判定是哪几层多镀了还是少镀了，再把两个物理厚度相除一下，就得出了该机台的光控Tooling，再怎么把光控Tooling代入，来修正光控曲线呢？17. 答：反射与透射监控与层数关系不是很大吧,只要你机器比较片足够多,这个我不太懂,计算Tooling值有很多方法,可以利用光谱曲线计算实际膜厚,或着直接测量膜厚,如椭偏仪,与理论厚度相比即是Tooling值,18. 根据结果我算出透射光控曲线19.20. 透射光控曲线参数设置21.22.23.24. 反射光控曲线怎么会这样呢？25.26.27.28.29. 怎样才能把多个设计曲线画在一张图上?30.31.32.在TFC设计中，不显示颜色，啥回事？比如基底是K9，当我优化出物理厚度，还有反射曲线时，我想看一下颜色，我在镀制中是否一样。但看不到，讲必须中心波长在780以上。33.跟中心波长无关，只要在显示的波长中包含可见光波段（380-780）就行。34. TFC 添加材料步骤35. 在这里以添加ZnS为例： =kCr0aPF 首先你有ZnS参数，为TXT格式，如下图所示： KZs 添加步骤如下所示。36.37.38.39.40.41.五氧化二钽折射率怎么來?你可以通过光谱仪测量计算,也可以由椭偏仪直接测量,然后保存为TXT格式,怎样把光学厚度复制其它文档 可以保存TXT文档怎样把由tfc设计的制程的膜厚转变成光量？要善于利用tfc自带帮助功能 rEjXK 为什么有时候，的图
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