碱洗作业指导书.doc

编 号：碱洗作业指导书版 本：A/1受控状态：批准审核编制日期日期日期目的:规范硅片碱洗操作程序,指导作业方法,提高作业效率,保证硅片清洗质量.2.适用范围:本作业指导书适用于生产计划部原材料准备车间碱洗工序.3.工作职责:3.1对IC级硅片、太阳能级单晶硅片、太阳能级多晶硅片进行化学腐蚀清洗,去除其表面杂质脏污,以满足后续单晶车间、多晶车间的生产需求.3.2严格执行操作工艺流程,不断优化作业方法,在保障质量和提高产量的基础上,逐步降低硅原料的损耗及碱的用量,控制生产成本,提升营运绩效.4.操作流程及作业方法/质量技术要求/设备及材料/安全注意事项4.1操作流程及作业方法4.1.1准备好待碱洗的硅片.4.1.2穿戴好经检查合格的防护用具.4.1.3检查纯水的质量与流量是否达到要求.4.1.4检查水管、排风机、碱洗槽、超声波清洗机等是否正常.4.1.5将待洗的硅片分装在纱网中,整齐有序地摆放在装料台上,每包装硅片13Kg,散落的硅片立即捡起.若发现常规片料中混有非常规片料,需挑出单独放置,分开处理.4.1.6将各级冲洗、浸泡水槽及超声清洗池内的纯水注满.4.1.7启动排风机和碱雾处理塔.4.1.8用NaOH与纯H2O在碱洗槽内配置碱洗溶液,液位不超过碱洗槽深的2/3.各种硅片所用碱洗液的配置比例如下表（重量比）：硅 片 名 称 IC 级 硅 片太阳能级单晶硅片/多晶硅片NaOH 1 1H2O 2 344.1.9往HCL浸泡槽中加入适量浓度为36%38%的HCL. 4.1.10把装好的硅片轻轻放入碱洗槽腐蚀液中,不停晃动纱网，使碱液沸腾,让硅片反应均匀、充分. 碱洗腐蚀时间为 83分钟,4.1.11当硅片表面呈银亮色时,立刻取出纱网,放入一级冲洗池内冲洗21分钟,冲洗时不断晃动纱网,使硅片表面碱液冲洗及时、充分,防止NaOH在硅片表面凝结.晃动时不要让原料露出水面,防止硅片氧化和被空气中的浮尘玷污4.1.12碱洗过程中，如果没有剧烈的反应现象(碱液沸腾，冒出大量气泡)，则按对应的比例加入碱,如果碱液过于浓稠,则加入适量的水进行稀释.4.1.13每槽碱液洗料35包后,反应不充分时,则重新配制新碱液.4.1.14一级冲洗后立即放入二级清洗池内,用纯水冲刷31分钟,同时目检硅片, 表面有氧化、NaOH凝结、油污,明显色差的,则捡出后放入纱网,送返并通知重新处理.4.1.15把目检合格的硅片冲洗后浸泡在盛有36%-38%HCL浸泡槽内,以硅片全部浸没在HCL中为准.浸泡时间为51分钟，不停晃动纱网,充分中和.4.1.16把HCL浸泡好的硅片放入冲水桶过水后,转入漂洗房内进行三级纯水冲洗21分钟.中间隔性地晃动纱网.4.1.17把硅片放入超声清洗机清洗池内超声清洗.清洗时间51分钟. 冲洗过程中间隔性地晃动纱网.4.1.18超声清洗完以后,将硅片倒入四级清洗池垫有纱网的烘干筐内(预先放入),浸泡约4分钟.浸泡过程中,间隔性地搅动硅片.4.1.19浸泡时,用PH试纸测试水质及原料表面,合格后取出烘筐,将水沥干后送往烘干房.4.1.20将烘干筐按照从上到下的顺序依次装在烘干车上,做好烘干记录,将烘干车推入烘箱,及时关上烘箱门,对硅料进行烘干.烘箱的温度设置为1005, 风机开启,让热风循环,烘干时间1012小时,碎料时间略长.4.1.21每次操作前后都要做好现场工艺卫生，清理地面上残留的碱液、积水、碎料.4.2质量技术要求4.2.1碱洗好的硅片表面呈银亮色,无氧化、无碱印、无油污、无明显色差、无明显花斑、无任何杂质、无水渍.4.2.2在洗料过程中,禁止以裸手直接与硅片接触.4.2.3碱洗、冲水、浸泡时，非常规原料与常规原料不得同时放在一个槽子内.4.2.4不同类型的硅片分开洗,做好标识,每洗完一种硅料,及时清理现场,避免造成原料互混.4.2.5现场不得有任何不可识别的原料或者碎料残渣.4.2.6超声波清洗池内的水约每2小时更换一次.4.2.7所有冲洗过程采用纯水溢流方式,浸泡池的水质需保持中性状态. 4.2.8纯水水质18M.cm,纯水流量达到约30T/H.4.2.9使用的NaOH纯度98%.4.2.10使用的HCL分析纯为36%38%.4.3设备及材料 4.3.1设备碱雾处理塔、排风机( 22KW)、酸洗腐蚀柜、超声波清洗机、酸洗槽、冲水槽、浸泡槽、装料台.4.3.2材料引水管、碱洗槽、纱网、有机面罩、防毒口罩、一次性口罩、防酸/碱围裙、防酸/碱手套、乳胶手套、防酸/碱雨靴、NaOH、HCL.4.4安全注意事项4.4.1作业过程中,劳保用品一旦破损,立即更换.4.4.2小心强碱NaOH对人体造成灼伤,若不小心碱液溅到皮肤上眼睛里,立即用流动的清水冲洗.4.4.3配制碱液时，动作要轻，不得野蛮操作.4.4.4碱洗时,注意酸碱液不得外溢,污染环境.4.4.5废空桶和袋子及时清理并按规定放置.4.4.6防止烘箱、烘干车高温对人体造成烫伤.4.4.7严防水进入超声波清洗机控制箱.附操作方法