GT炉故障说明.docx

故障说明7 TROUBLESHOOTING SECTION7.1 报警功能 这个报警屏幕显示了DSS系统的很多报警状态。当发出一个报警时，状态方框会从绿色变成红色且发出报警声音。当水流速度低于主参数屏幕规定的报警值时，水流报警方框变成黄色。 下面的屏幕显示了每一个报警的作用和常见原因： 报警消除报警声音的按钮 MAX PRESSURE 关闭窗口最大压力PRESSURE DEVIATION, COARSE HIGHT LOW压力误差 ，近似值 高 低PRESSURE CHANGE DURING VAC STEP COARSE FINE在真空阶段压力变化量 近似值 精确值MAX PRESSURE DURING VACUUM STEP在真空阶段的最大压力值ARGON FLOW DEVIATION氩气流量误差HEATER CONTACTER HAS TUREED OFF加热器的接触器已断开MAINS POWER LOSS HAS OCCURRED母线已经掉电MAINS POWER PHASE LOSS母线电源缺相TEMPERATURE DEVIATION HIGHT LOW 温度误差 大 小MAX TEMPERATURE最大温度LEAK CHECK 检查泄漏LOW PLC BETTERYPLC电池电量不足AIR SUPPLY供应气体CONTROLLER ERROR NO WATER控制器出现故障 无水 ELECTRODE 1(F1)INSULATION LIFT PROBLEM 电极1（F1） ELECTRODE 2(F2)电极2（F2）隔热层提升故障 ELECTRODE 3(F3)电极3（F3）UPPER CHAM/GAS INLET(F4)PYROMETER NOT IN HOME POSITION上面的腔室/气体入口（F4） MAINS CHAMBER (F5)高温计没有处于起始位置主腔室（F5） BOTTOM CHAM(UPPER)(F6)WARNING POSSIBLE SILICON SPILL！下面的腔室（上部）(F6) 警告-可能硅液已经溢流！BOTTOM CHAM(LOW)(F7)下面的腔室（下部）(F7) VACUUM PORT/PUMPS(F8)TOP(CONTROL T/C)HAS A PROBLEM 真空通道/泵 (F8) 顶部（控制T/C）出现故障 A DS-BLOCK T/C IS OPEN T/C2，3 detail 打开了一个DS块的T/C T/C2，3的详细说明 DS-BLOCK T/C IS OVER TEMPERATURE DS-块T/C过热 OP ASSISTANCE,PROC COULD NOT FIND MELT MODE 需要操作工帮助，程序不能发现熔化模式 OP ASSISTANCE,SILICON APPEARS TO FINISHED MELT 需要操作工帮助，硅液即将结束熔化过程 OP ASSISTANCE,CENTER GROWTH HAS ENDED 需要操作工帮助，中间部分长晶已经结束 OP ASSISTANCE, CORNER GROWTH HAS ENDED 需要操作工帮助，边角部分长晶已经结束 ALARM OVERVIEW MODE RECIPE REAL TIME IMAGE报警 浏览 模式 配方 当前时间 图像下面表5解释了报警屏幕的内容和规定值： 最大压力：最大压力有两级报警。如果炉子压力超过了警告值，状态框将会变成黄色，闪烁出警告这个词，这就是第一级报警。第二级报警说明在自动模式下，炉腔内的实际压力已经超过了最大的允许压力值，状态框将会变成红色。这两级报警与主参数屏幕上的压力限定时间一起控制以防过压。在压力的限定时间内仅仅重复发出压力报警，但是如果超过了压力限定时间后炉腔内压力仍然超过了最大允许压力，将会自动断开炉子电源，控制程序转换到真空模式。在冷却期间，如果已经达到冷却结束时的转换温度，不会发出这个报警。当炉子没有处于自动模式时也不会发出这个报警。 压力误差（近似值）：，当前压力误差已经超过了最大压力误差，发出这个报警。在压力误差限定时间内仅仅发出报警，超过了允许时间，将会断开炉子电源。通常情况下，因为断开了气源才发出了这个报警，所以在熔化循环的第一个供气阶段，实际压力误差太大就会发出这个报警。在冷却阶段，如果已经达到了冷却结束时的转换温度，不会发出这个报警。当炉子没有处于自动模式时也不会发出这个报警。 在真空中的压力变化量：在真空阶段，用这个参数监控炉腔内的压力微小变化（压力小于1.33mbar）。如果压力变化量太大且已经超过了压力限定时间，再次发出报警。如果发出这个报警，说明一根热电偶保护管内泄漏。 氩气流量误差：这个报警说明质量流量控制器氩气流量误差已经超过了主参数屏幕上规定的差。氩气流量误差与主参数屏幕上的氩气流量最大误差限定时间同时作用-当超过了这个限定时间，就会发出这个报警。操作工按下消除报警声音按钮以复位报警，但是如果1分钟后实际误差仍大于这个参数，会再次报警。通常情况下，由于断开了氩气或者没有正确地调节压力调节器才发出了这个报警。断开空气或者将压力设定到一个很小的值，打开氩气阀门以解除故障，。 加热器接触器已经断开：这说明没有接通（闭合）电源接触器，只有炉子处于自动模式下，才会发出这个报警（即无论什么时候date-log bit都是激活状态）。当炉子在数个流程循环之间运行时，这个报警方框会变成红色。 母线已经掉电：这个报警说明断开了控制盘的115伏特电源，炉子系统已经接通UPS 备用电源，也说明可能断开了一根干线电源。记录掉电的时间和功率百分比，操作工由此决定是否重新启动炉子。引起这个报警最可能的原因是供应电源的干线已经掉电，保护电源柜里降压变压器的断路器也断开了或者因为干线缺相而熔断了保险。如果很短时间内就恢复了母线电源，会打开一个掉电恢复窗口指导操作工如何返回到正常运行状态，如果掉电时间很长，炉子会终止自动模式。 母线电源缺相：这个报警说明输入电压有1-3相缺失，炉子系统已经接通UPS备用电源。引起这个报警最可能的原因是供应电源的干线掉电或者断路器因为保险熔断而断开。如果很短时间内就恢复了母线电源，会打开一个掉电恢复窗口指导操作工如何返回到正常运行状态，如果缺相时间很长， 炉子会终止自动模式。 温度偏差：如果设定温度与TC1热电偶测量温度之间的偏差大于住参数屏幕里规定的偏差，就会发出这个报警。这个值与主参数屏幕上的温度偏差限定时间同时起作用-一旦超过了这个时间，就会发出报警。温度方框里显示反馈回来的温度（高/低）。手动改变温度时，如果变化量太大或者测量温度值没有按照温度曲线而变化-忽高忽低，就会发出这个报警。 最大温度：当热电偶TC1测量的温度超过了主参数屏幕里规定的最大温度时，就会发出这个报警。最大温度与主参数屏幕里的最大温度限定时间同时起作用-一旦超过了这个时间，就会发出报警。引起报警最可能的原因是操作工在焙烤时，输入的温度是熔化温度，所以配方调出的温度比主参数屏幕里的温度高。 泄漏检查：在降压结束时需要测试压力上升比，如果压力差大于主参数表里设定的压力差，就会发出报警，说明炉腔内真空泄漏或者炉腔内部件/硅料排气速度太快，应该抽气降压15-30分钟后重新测试压力上升比。 PLC蓄电池供电不足：这个报警告诉操作工为程序存储器提供备用电源的蓄电池供电不足，在掉电期间或者炉子电源全部断开时，程序也会丢失。 供应气体：如果控制真空阀用的气体压力减小到一个很低的值时，就会发出这个报警。气压调节器设定值约为70psi。当压力减小到55psi以下时，打开气压调节开关。如果调节器上设定的压力太小，在某些时候打开/关闭真空阀也可发出这个报警。 控制器故障：这个报警说明LCM4 控制器已经记录了一条故障信息。在状态棒右边的方框里显示故障代码。在Opto控制用户手册里列出了故障代码。一般故障并不是致命的，所以不必惊慌。记下故障代码后按下消除报警钮，查看报警是否复位。软件执行除以0操作（故障代码为36），在此期间，不考虑结果，继续运行程序。如果还出现此故障，可能配方里或真实值屏幕里输入的数不正确。 隔热层提升故障：这个报警说明隔热层提升驱动系统有问题。可能速度偏差/通讯/故障有问题。隔热层驱动系统停止运动后发出报警且打开手动调节屏幕。隔热层提升报警按钮变成红色说明速度有偏差。当驱动系统的通讯故障显示值大于9时说明通讯有问题。 高温计没有处于起始位置：在融化和生长模式里，只有当熔体高温计离开熔体观察（起始）位置长达10分钟以上时才会发出这个报警且打开一个窗口告诉操作工移回高温计，这样才能接通临近传感器的LED。 警告-硅料可能溢流：在融化和生长模式里才可能发出这个报警，说明腔室底部铝垫上的钢丝熔断了。同时打开一个窗口指导操作工采取适当的措施以确认硅料已经溢流或者消除此报警以免当前运行程序再发出其它报警。下一个运行开始前，如果还没有准备好钢线，即使复位此报警，在融化模式开始时也会发出此报警。 顶部（控制T/C）热电偶有问题：如果热电偶信号探测出一个“打开”状态，就会发出报警且打开一个警告窗口。操作工按照窗口里的指示动作，在有经验的技术人员的帮助下，在功率模式下继续运行。 DS-BlockT/C有问题：当DS-Block中间的热电偶短路和处于“打开”状态时，发出此报警-打开一个窗口告诉操作工如何处理。象正常情况下一样继续运行程序，但是融化结束子程序会停止控制作用，当达到转换到冷却结束的温度时，炉子无法转换到冷却循环的最后一个阶段。 需要操作工的帮助，程序不能找到融化模式：将融化循环的所有阶段都输入0时，因为掩盖了很多状态就发出这个报警。达到了加热-融化的转换温度时，控制程序会自动寻找一个有效的融化阶段-如果找不到，将打开一个窗口告诉操作工至少输入一个融化阶段，然后按下“继续运行”？ 需要操作工的帮助，硅料要结束融化过程：这个报警会打开融化结束窗口，要求操作工确认融化确实已经结束。 需要操作工帮助，中间部分长晶已经结束：此报警会打开中间长晶结束窗口，要求操作工确认硅锭中间已经凝固。如果熔体顶部已经凝固，也会发出这个报警并要求操作工决定下一步操作。 需要操作工帮助，边角长晶已经结束：此报警会打开边角长晶结束窗口，要求操作工确认硅锭长晶完全结束。 无水报警：在排水多岐管上有一组水流开关，每一个开关都有两级报警。第一级（警告）报警命令操作工到现场查看环路里的水流是否小于主参数表里设定的警告流量。相应的水流环路指示器变成黄色说明是第一级报警。操作工应该检查流量开关并正确调节叶轮和清洁粘附的灰尘。第二级报警告诉操作工水路中的水流已经小于主参数表中的临界流量值 。相应地水流环路指示器变成红色说明是第二级报警。如果超过了无水报警的响应时间，这个报警将断开加热器的电源。这两个报警都处于闭锁状态，只有按下报警消除按钮后才能复位。 7.2 记录数据的功能 控制系统有一个最有用的功能就是内设的数据记录器。一旦启动自动模式就激活了这个功能，在整个运行期间，每分钟都记录一次数据。在C盘上记录文件里存储数据（文件名为CSV，即用逗号隔开的变量）。在程序开始运行时，软件用炉子的ID名字和日期格式RD MMDDYY ID名字.CSV命名此文件。通常情况下，一个文件有800-900KB且能拷贝到软盘上或者USB盘上，能存入Microsoft Excel内以分析运行情况和显示数据图像。可以利用数据开发一个恢复流程，从而解决工艺问题和调整工艺参数，比较各种运行数据，为改进硅锭生产的整体性提供依据。记录的数据应用实例如下所示： 表6 记录数据说明日期：是显示在屏幕上的日期（LCM4控制器）。时间：是显示在屏幕上的时间（LCM4控制器）。模式：是记录的流程编号。0= 无，1= 加热，2= 融化，3= 长晶，4= 退火，5= 冷却，6= 紧急冷却。阶段：这是一个循环中当前阶段的编号。专用功能：这个编号说明是否正在用一个专用功能。0=无，1=熔化结束，2=长晶结束，3=用氩气冷却结束，4=用氦气冷却结束。温度/功率自动控制模式：说明控制模式是温度模式还是功率模式。用二进制表示如下：0=功率控制模式，1=温度控制模式。设定功率：是功率控制环路所用的设定功率，它是满功率的一个百分比值。安培1：是在输出相2上测量的电流值。安培2：是在输出相3上测量的电流值。伏特1：是在输出相1上测量的电压值。伏特2：是在输出相2上测量的电压值。设定温度：这是当时的设定温度。TC1：是输入到主参数屏幕里的温度，它是上面的热电偶测量的温度与温度偏差之和。 中间的TC2: 是DS-Block中间坩埚板下面的测量温度，所以能准确，合理地代表硅锭底部的温度。边角的TC3：是DS-Block一个边角的测量温度。高温计温度：是高温计处于“起始”位置时显示的熔体测量温度。隔热层位置：是隔热层当时的位置。隔热层的目标位置：是当前阶段结束时隔热层的目标位置。压力模式：用二进制表示：0=真空模式，1=氩气模式。 进气量设定值 ：是质量流量控制器的设定百分比。选择进气控制时，这个读数为0。测量的进气量LPM：是测量的流量（根据来自质量流量控制器的反馈信号测量），单位：公升/分钟。排气量设定值：是Herion阀的设定百分比。选择排气控制时，这个读数为0。设定压力：是配方里显示的腔室压力，用以激活进气或者排气PID控制环路。测量压力：是腔室内的测量压力。如果低于1.3mbar,用小量程的压力计显示此压力，如果大于1.3mbar,用量程为1-1500mbar的压力计显示此压力。气体不足报警：当气压小于气压开关设定值时，会显示“-1”，当气压大于气压开关设定值时，会显示“0”。氩气流量偏差报警：当氩气流量偏差大于主参数里规定的氩气流量最大偏差时，会显示“-1”，当氩气流量偏差小于主参数里规定的氩气流量最大偏差时，显示“0”。隔热层速度偏差报警：当隔热层的测量速度偏差大于主参数P2里规定的隔热层速度偏差时，会显示“-1”，否则，显示“0”。压力太大报警：当腔室内压力大于当前设定压力与主参数里的近似压力偏差之和时，会显示“-1”，否则，显示“0”。 压力太小报警：当腔室内的压力小于当前设定压力与主参数里的近似压力偏差之差时，会显示“-1”，否则显示“0”。最大压力报警：当腔室内压力大于气体模式下主参数里的最大压力时，会显示“-1”，否则显示“0”。高温报警：当温度大于当前设定温度与主参数表里的允许温度偏差之和时，会显示“-1”，否则显示“0”。低温报警：当温度低于当前设定温度与主参数表里的允许温度偏差之差时，会显示“-1”，否则显示“0”。最大温度报警：当温度大于主参数表里的允许最大温度时，会显示“-1”，否则显示“0”。掉电报警：在自动模式下，当断开供应电源时，会显示“-1”，否则显示“0”。缺相报警：在自动模式下，如果缺失相位，会显示“-1”，否则显示“0”。水-Z1-低：如果测量的水流量小于主参数P2表里的临界值时，下面列出的每一个水流量报警都会变为“-1”，否则为“0”。水-Z2-低：水-Z3-低：水-Z4-低：水-Z5-低：水-Z6-低：水-Z7-低： 水-Z8-低：水-1-LPM：纪录每一个水路的实际流量。水-2-LPM：水-3-LPM：水-4-LPM：水-5-LPM：水-6-LPM：水-7-LPM：水-8-LPM：声音报警：无论什么时候发出声音报警，都会显示“-1”，否则显示“0”。红色报警：无论什么时候发出红色的可视报警，都会显示“-1”，否则显示“0”。黄色报警：无论什么时候发出黄色的可视报警，都会显示“-1”，否则显示“0”。功率曲线：是计算出来的功率曲线。只有将“熔化结束”或者“长晶结束”这些特殊功能输入到当前配方里时，才能激活此曲线。 DS-Bolck曲线：是计算出来的DS-Block中间的热电偶温度曲线。只有在熔化循环的“熔化结束”阶段才能激活此曲线。熔体高温计曲线：是熔体高温计测量温度的曲线。在长晶期间才能激活。 功率变化率：是执行熔化结束特殊功能期间功率曲线上某段时间内的功率变化量。与熔化结束时的功率变化率报警值（触发值）相互比较后用以结束熔化过程。DS-Block温度变化率：是执行熔化结束特殊功能期间DS-Block的温度曲线上某段时间内的温度变化量。与熔化结束时DS-Block温度变化率报警值相互比较后用以结束熔化过程。 平均功率：是执行长晶结束特殊功能期间30个功率计算值的平均值。用平均功率决定功率曲线上的功率何时变成负值，说明边角长晶已经结束。控制器故障代码：纪录了LCM4控制器的故障代码。详细解释可以参看Opto控制器用户手册中故障代码部分。暂停：当炉子处于暂停模式时，会显示“-1”，其它任何时候都显示“0”。7.3 下载新软件你应该有一个硬盘，用以存储所有当前主参数，水流报警，临界值，PID值等。既然要存储所有的主参数，PID值等，最好也能存储当前的配方-小心：如果已经更改了当前的原始值或者安全值，硬盘会存储这些错误值！回到手动屏幕，保证所有阀门已经关闭，尤其要关闭罗茨阀（V1），然后断开气源，保证调节器上的压力计读数将到0以免打开阀门。从灯塔上断开声音报警以消除噪音直到完成上述操作。点击文件Mgrhe，在C：called DssOld目录下建立一个新文件夹。 将所有文件夹从Dss移到DssOld。 在Dss下建立新文件夹，命名为Mmi，MmiStd， PLC,和PLC Std.同时按下Alt和F4，出现“你确实想退出OptoDisplay运行程序吗？”，回答“是”后退出运行屏幕。如果文件在一个软盘上： 将一个存有Dss03 PLC 压缩文件的软盘插入A：驱动器后启动WinZip。 打开A:Dss0