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文档简介
非球面光学元件的先进制造和应用技术编者:Bernhard Braunecker, Rudiger hentschel, Hans j. Tiziani目录1 绪论1.1 目的和意义1.2 本书结构I 回顾和概要2 基本问题2.1 基本概念介绍2.1.1 光学元件和波面传播2.1.2 光学设计和容差2.1.3 制造及测量误差2.1.4 系统性能指标2.2 非球面光学元件的定义2.2.1 非球面光学元件的基本特点2.2.2 非球面的数学描述2.2.3 非球面光学元件的特有容差2.2.4 表面纹理2.3 图纸标注2.4 非球面元件的信息交换2.5 表面误差的研究2.5.1 非球面激光准直仪2.5.2 几种精密加工技术的比较2.5.3 相干光束的传播2.5.4 应用实例:打标仪2.6 参考文献3 应用3.1 物理因素3.2 成像质量3.3 实例3.4 设计动因3.5 分类3.6 技术挑战3.6.1 定心3.6.2 稳定性3.6.3 测量的复杂性3.7 应用领域4 非球面材料4.1 玻璃4.2 聚合物4.3 微晶陶瓷4.4 单晶及多晶陶瓷5 加工技术5.1 非球面加工:传统方法5.1.1 概述5.1.2 加工成型5.1.3 抛光5.1.4 模压成型5.2 当代加工工艺概述5.2.1 加工成型5.2.2 抛光5.2.3 局部修整5.2.4 计算机控制抛光(CCP)5.2.5 射流抛光(FJP)5.2.6 磁流变抛光(MRF)5.2.7 离子束加工(IBF)5.3 非球面加工的工艺流程5.4 组合技术5.5 压型5.5.1 精密玻璃压型5.5.2 塑料模压5.5.3 表面质量与加工方法的关系5.6 参考文献6 测量 6.1 光学系统性能的测量 6.2 单表面的测量 6.3 表面测量6.3.1 光学表面的特性 6.4 表面粗糙度和波纹度的测量 6.5 表面面形测量6.5.1 未抛光表面的面形测量6.5.2 抛光表面的面形测量 6.6 干涉检测6.5.3 基于CGH的表面面形检测6.5.4 CGH的设计和制作 6.7 基于夏克-哈特曼波前传感器的表面面形测量6.8 各种方法的比较6.9 参考文献7 镀膜技术7.1 概述7.2 商业市场7.2.1 光学镀膜的国际市场7.2.2 镀膜类型7.2.3 镀膜成本7.2.4 国际市场格局 7.3 沉积技术、膜系设计及监控7.3.1 沉积技术7.3.2 膜系设计7.3.3 监控技术 7.4 塑料光学元件的多功能薄膜 7.5 实际应用 7.6 纳米涂层 7.7 小结 7.8 参考文献 7.9 补充读物8 装配技术8.1 设计和装配之间的关系8.2 不同装配方法的概述8.2.1 消费用球面光学镜头的装配8.2.2 高端球面光学镜头的装配8.2.3 高端非球面光学镜头的装配8.2.4 微光学系统的自动装配8.3 误差和公差15.4.1 元件公差15.4.2 装配公差8.4 补偿器8.5 非球面元件光轴的对准8.6 单片光学8.7 技术细节8.8 参考文献9 未来发展趋势9.1 概述9.2 初步分析9.3 应用9.4 材料9.5 加工和测量技术9.5.1 加工和测量的集成化9.5.2 零光学技术9.5.3 其它测量技术9.5.4 组合测量技术9.5.5 自适应系统9.5.6 自由曲面9.5.7 液体透镜9.5.8 仿真和建模 9.6 镀膜技术 9.7 装配9.7.1 自动化装配9.7.2 胶合及粘接9.7.3 弹性复位垫圈9.7.4 完整装配工艺9.7.5 单片光学9.8 参考文献10 数学公式10.1 二次曲面(平方项)10.2 ISO10110第12部分的基本公式10.2.1 修正II 专家们的技术汇编11 应用11.1 照明11.1.1 数字投影仪和背投电视11.1.2 汽车前灯11.1.3 光学系统11.1.4 设计动因和非球面的推广程度11.1.5 加工和性能参数11.1.6 展望11.1.7 参考文献11.2微光学柱形非球面快轴准直仪11.2.1 应用领域11.2.2 光学系统11.2.3 工艺和性能参数11.2.4 材料11.2.5 加工及公差11.2.6 质量控制11.2.7 小结11.2.8 参考文献11.3 成像光学11.3.1 应用领域11.3.2 光学系统11.3.3 设计动因和非球面的推广程度11.3.4 进展和性能参数11.3.5 小结11.3.6 补充读物11.4 大像面镜头中的非球面11.4.1 照相镜头中非球面的应用11.4.2 大广角镜头中非球面的应用11.4.3 目的11.4.4 结果11.4.5 生产:制造工艺11.4.6 精密测量设备11.4.7 展望11.5 紫外和超紫外光刻中的非球面投影镜头11.5.1 引言11.5.2 瑞利判据下的光刻技术11.5.3 高数值孔径镜头中的非球面11.5.4 浸液光刻技术11.5.5 超紫外光刻技术11.5.6 小结11.5.7 致谢11.5.8 参考文献11.6 航测中的大像面镜头11.6.1 应用领域11.6.2 光学系统11.6.3 设计动因和非球面的推广程度11.6.4 工艺和性能参数11.6.5 小结11.6.6 参考文献11.7 空间通信中的反射望远镜11.7.1 应用领域:卫星间的光网络11.7.2 光学自由空间通信系统11.7.3 设计动因和非球面的推广程度11.7.4 工艺和性能参数11.7.5 质量保证11.7.6 小结11.7.7 参考文献11.8 望远镜中的自由校正板11.8.1 应用领域11.8.2 设计动因和非球面的推广程度11.8.3 工艺和性能参数11.8.4 小结11.8.5 参考文献12 材料12.1 低Tg玻璃()12.1.1 玻璃的选择12.1.2 玻璃的类型12.1.3 光学特性12.1.4 机械特性12.1.5 化学特性12.1.6 热学特性12.1.7 应用及限制12.1.8 补充读物12.1.9 相关链接12.1.10 研究和进展12.2低Tg玻璃()12.2.1 玻璃的选择12.2.2 玻璃的类型12.2.3 光学特性12.2.4 机械特性12.2.5 化学特性12.2.6 热学特性12.2.7 应用及限制12.2.8 补充读物12.2.9 相关链接12.2.10 研究和进展12.3低Tg玻璃()12.3.1 玻璃的选择12.3.2 玻璃的类型12.3.3 光学特性12.3.4 机械特性12.3.5 化学特性12.3.6 热学特性12.3.7 应用及限制12.3.8 补充读物12.3.9 相关链接12.3.10 研究和进展12.4紫外透射玻璃12.4.1 玻璃的选择12.4.2 玻璃的类型12.4.3 光学特性12.4.4 机械特性12.4.5 化学特性12.4.6 热学特性12.4.7 供货表12.4.8 应用及限制12.4.9 补充读物12.4.10 相关链接12.4.11 研究和进展12.5熔融石英12.5.1 玻璃的选择12.5.2 玻璃的类型12.5.3 光学特性12.5.4 机械特性12.5.5 化学特性12.5.6 热学特性12.5.7 供货表12.5.8 应用及限制12.5.9 补充读物12.5.10 相关链接12.5.11 研究和进展12.6光学聚合物12.6.1 聚合物的选择12.6.2 聚合物的类型12.6.3 光学特性12.6.4 机械特性12.6.5 化学特性12.6.6 热学特性12.6.7 供货表12.6.8 应用及限制12.6.9 补充读物12.6.10 相关链接12.7紫外光学晶体12.7.1 晶体的用途12.7.2 晶体的类型12.7.3 光学特性12.7.4 机械特性12.7.5 化学特性12.7.6 热学特性12.7.7 供货表12.7.8 应用及限制12.7.9 研究和开发12.8红外光学晶体12.8.1 晶体的用途12.8.2 晶体的类型12.8.3 光学特性12.8.4 机械特性12.8.5 化学特性12.8.6 热学特性12.8.7 供货表12.8.8 应用及限制12.8.9 研究和开发12.9玻璃陶瓷12.9.1 玻璃陶瓷的选择12.9.2 玻璃陶瓷的类型12.9.3 光学特性12.9.4 机械特性12.9.5 化学特性12.9.6 热学特性12.9.7 供货表12.9.8 应用及限制12.9.9 链接(公司信息)12.9.10 链接(研究和进展)12.10光学陶瓷12.10.1 光学陶瓷的类型12.10.2 光学特性12.10.3 机械特性12.10.4 热学特性12.10.5 供货表12.10.6 应用及限制12.10.7 相关链接12.11红外光学玻璃12.11.1 玻璃的用途12.11.2 玻璃的类型12.11.3 光学特性12.11.4 机械特性12.11.5 化学特性12.11.6 热学特性12.11.7 供货表12.11.8 应用及限制12.11.9 补充读物12.11.10 相关链接12.11.11 研究和进展13 加工技术13.1 环带研磨加工13.1.1 技术简介13.1.2 技术的预期目的13.1.3 技术特点13.1.4 研磨过程描述13.1.5 最新进展13.1.6 环带研磨的工艺参数13.1.7 小结13.1.8 补充读物13.1.9 相关链接13.2 环带抛光13.2.1 技术简介13.2.2 技术的预期目的13.2.3 技术特点13.2.4 抛光过程13.2.5 最新进展13.2.6 环带抛光的工艺参数13.2.7 小结13.2.8 补充读物13.2.9 相关链接13.3 磁流变抛光13.3.1 技术简介13.3.2 技术的预期目的13.3.3 技术特点13.3.4 磁流变抛光过程13.3.5 最新进展13.3.6 磁流变抛光的工艺参数13.3.7 小结13.3.8 补充读物13.3.9 相关链接13.4 计算机控制抛光13.4.1 技术简介13.4.2 技术目的13.4.3 技术特点13.4.4 抛光过程13.4.5 最新进展13.4.6 抛光的工艺参数13.4.7 小结13.4.8 补充读物13.4.9 相关链接13.5 子孔径计算机控制抛光13.5.1 技术简介13.5.2 技术目的13.5.3 技术特点13.5.4 抛光过程13.5.5 最新进展13.5.6 抛光的工艺参数13.5.7 小结13.5.8 补充读物13.5.9 相关链接13.6 计算机辅助射流抛光13.6.1 技术简介13.6.2 技术目的13.6.3 技术特点13.6.4 抛光过程13.6.5 最新进展13.6.6 性能及应用13.6.7 抛光的工艺参数13.6.8 现状13.6.9 补充读物13.6.10 相关链接13.7 离子束抛光13.7.1 技术简介13.7.2 技术目的13.7.3 技术特点13.7.4 抛光过程13.7.5 最新进展13.7.6 抛光的工艺参数13.7.7 小结13.7.8 补充读物13.7.9 相关链接13.8 精密玻璃模压13.8.1 技术简介13.8.2 技术目的13.8.3 技术特点13.8.4 模压过程13.8.5 模压的工艺参数13.8.6 小结13.8.7 现状13.9 精密玻璃模压模具13.9.1 技术简介13.9.2 技术目的13.9.3 技术特点13.9.4 模具制造的过程13.9.5 模具制造的工艺参数13.9.6 小结13.9.7 补充读物13.9.8 相关链接13.10 高精密聚合物光学元件的注塑成型13.10.1 技术简介13.10.2 技术目的13.10.3 技术特点13.10.4 注塑成型过程13.10.5 注塑成型的工艺参数13.10.6 补充读物13.10.7 相关链接13.11 基于晶元技术的非球面微透镜加工技术13.11.1 技术简介13.11.2 技术目的13.11.3 技术特点13.11.4 加工过程13.11.5 工艺参数13.11.6 小结13.11.7 现状13.11.8 补充读物14 测量14.1 探针式轮廓测量14.1.1 技术简介14.1.2 技术目的14.1.3 技术特点14.1.4 测量过程14.1.5 最新进展14.1.6 探针式轮廓测量的基本参数14.1.7 相关链接14.1 干涉测量14.2.1 技术简介14.2.2 技术目的14.2.3 技术特点14.2.4 干涉测量过程14.2.5 干涉测量的基本参数14.2.6 小结14.2.7 现状14.2.8 补充读物14.2.9 相关链接14.3 波前传感器14.3.1 技术简介14.3.2 技术目的14.3.3 技术特点14.3.4 测量过程14.3.5 波前传感器的基本参数14.3.6 小结14.3.7 现状14.3.8 补充读物14.3.9 相关链接14.4 表面/微结构检测14.4.1 技术简介14.4.2 技术目的14.4.3 技术特点14.4.4 检测过程14.4.5 表面/微结构检测的基本参数14.4.6 现状14.4.7 补充读物14.4.8 相关链接15 薄膜技术15.1 薄膜设计15.1.1 技术简介15.1.2 技术目的15.1.3 技术特点15.1.4 设计过程15.1.5 补充读物15.1.6 相关链接15.2 电子束热蒸发15.2.1 技术简介15.2.2 技术目的15.2.3 技术特点15.2.4 蒸发过程15.2.5 最新进展15.2.6 电子束热蒸发的参数15.3 离子束辅助沉积15.3.1 技术简介15.3.2 技术目的15.3.3 技术特点15.3.4 沉积过程15.3.5 最新进展15.3.6 离子束辅助沉积的参数15.3.7 相关链接15.4 离子镀15.4.1 技术简介15.4.2 技术目的15.4.3 技术特点15.4.4 离子镀过程15.4.5 离子镀参数15.4.6 相关链接15.5 先进等离子体源(APS)15.5.1 技术简介15.5.2 技术目的15.5.3 技术特点15.5.4 辅助沉积过程15.5.5 辅助沉积参数15.5.6 相关链接15.6 磁控溅射15.6.1 技术简介15.6.2 技术目的15.6.3 技术特点15.6.4 溅射过程15.6.5 最新进展15.6.6 磁控溅射参数15.6.7 小结15.6.8 补充读物15.7 离子束溅射15.7.1 技术简介15.7.2 技术目的15.7.3 技术特点15.7.4 溅射沉积过程15.7.5 最新进展15.7.6 离子束溅射参数15.7.7 小结15
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