背衬工序作业指导书.doc

江苏省和泰电子科技有限公司背衬工序作业指导用书TY 3266-1共12 页第 14 页本作业指导书适用于应变计车间背衬工序工作，所有工作均在洁净度为10000级 温度235、湿度35 60的房间进行。在每个工作日的十一点左右进行温湿度的检查并记录。当温湿度超出允许范围，应采取相应措施进行处理。警告：在本工序作业过程中，皮肤不得直接接触基底和箔材，必须戴洁净的手套、指套或使用干净的镊子夹取。第一部分 ：背衬作业1 聚酰亚胺基底的背衬1.1 使用器具及物品热压扳机 净化工作台 超声波清洗机3kg电子计价秤 净化干燥箱 纯水制造装置搅拌器 20ml烧杯 100ml烧杯500ml烧杯 1000ml烧杯 玻璃棒1000ml广口试剂瓶 125ml滴定瓶 500ml滴定瓶500ml广口试剂瓶 油性笔 玻璃板不锈钢板（180mm180mm） 无尘棉 洁净布150mm钢板尺 500mm钢板尺 1000mm钢板尺手术刀 截断刀 刷胶刮板平头不锈钢镊子 弯头塑料镊子 专用不锈钢镊子竹镊子 压辊 培养皿浅瓷盘（25019025） 不锈钢浅盘塑料饭盘 药匙耐高温手套 周转箱 蒸馏水中性洗涤剂（餐洗净） 110#胶 纯水界面活性剂S-111 A-1液 A-2液 磷酸（纯度98） 无水三氧化铬 丁酮 氨水（浓度2528） 氧化铝粉 酒精 硅橡胶板（120mm120mm） 聚四氟乙烯薄膜（120mm120mm）1.2准备作用1.2.1 110胶的配制1.2.1.1 配制比例110：丁酮=1：2（体积比）1.2.1.2 使用器具 100ml烧杯、500ml广口试剂瓶、玻璃棒 各1个 1.2.1.3 配制过程（操作过程中戴橡胶手套及口罩） a）将烧杯、试剂瓶、玻璃棒使用过滤后的丁酮清洗干净。 b）用烧杯量取50ml 110胶（粘度130cp） 倒入试剂瓶中。 c) 将丁酮50ml倒入 沾有110 胶的烧杯中，用玻璃棒搅拌后倒入广口瓶试剂瓶中。 d)重复进行c步骤，共将100ml丁酮倒入广口瓶试剂瓶中。 e）盖上试剂瓶口，用力摇动，使溶液混合均匀。 f）在试剂瓶的外部注明试剂名称、配比及配制日期，存放在冷藏柜（010）中备用 g )将烧杯、玻璃棒清洗干净，放回原位1.2.2. A-1液的配制1.2.2.1 配置比例：（以配制1000克为例） 磷酸（纯度98） 120g 无水三氧化铬 10g 界面活性剂 S-111 5 ml 纯水 870,ml1.2.2.2. 使用器具 20ml烧杯、1000ml烧杯、1000ml广口试剂瓶、玻璃棒 各1个 3kg电子计价秤 1台1.2.2.3 配制过程 （操作过程中戴橡胶手套和口罩） a）将烧杯、广口试剂瓶、玻璃棒用纯水清洗干净。 b）在1000ml烧杯中倒入纯水870ml。 c）用3kg电子计价秤秤取 10g 无水三氧化铬放入烧杯中，用玻璃棒搅拌，使其溶解。 d）再用3kg电子计价秤秤取120g磷酸放入烧杯中。 e）使用20ml烧杯量取5ml界面活性剂S-111倒入1000ml烧杯中，用玻璃棒搅拌均匀后倒入广口试剂瓶中。 f）在广口试剂瓶的外部注明试剂名称、配置日期，存放在试剂柜中备用。 g）将烧杯、玻璃棒清洗干净，放回原位。1.2.3 A-2液的配制1.2.3.1 配制比例：（以配制1000ml为例） 氨水（浓度2528） 240ml 纯水 750ml 中性洗涤剂（餐洗净） 10ml1.2.3.2 使用器具 500ml烧杯、1000ml广口试剂瓶、药匙 各一个1.2.3.3 配制过程（操作过程中戴橡胶手套） a）将烧杯、广口试剂瓶用纯水清洗干净。 b) 使用500ml烧杯量取240ml氨水倒入1000ml广口试剂瓶中。 c）使用10ml烧杯量取10ml餐洗净倒入1000ml广口试剂瓶中。 d）使用500ml烧杯分两次量取750ml纯水倒入1000ml广口试剂瓶，摇晃混合均匀。 e)在广口试剂瓶的外部注明试剂名称、配制日期，存放在试剂柜中备用。 f）将烧杯、药匙清洗干净，放回原位。1.2.4 聚酰亚胺薄膜的裁片1.2.4.1 使用器具 150mm直尺、手术刀、裁断刀、弯头塑料镊子 各一个1.2.4.2 操作过程（操作过程中戴指套）a）将工作台上的玻璃板擦拭干净，从仓库中领取成卷的聚酰亚胺薄膜放在玻璃板上。b）使用裁断刀先将其裁成120mm宽的薄膜条，再裁成125mm120mm的聚酰亚胺薄膜片。c）将裁好的聚酰亚胺薄膜片12 张 一组用干净的硬纸片（120mm120mm）夹好，放在干燥皿中备用。d）将聚酰亚胺卷材、150mm直尺、手术刀、裁断刀放回原处。1.2.5 玻璃片（125mm125mm）的清洗1.2.5.1 使用器具及化学药品 超声波清洗机、中性洗涤剂（餐洗净）、纯水、专用不锈钢镊子1.2.5.2操作过程（操作过程中戴指套）a）将玻璃片放入水池中浸泡约1小时。b)用刀片将玻璃片上粘附的胶及污垢刮掉并用净化水冲洗干净。c）将大约3000ml纯水倒入超声波清洗机中，加入810ml餐洗净。d）使用专用不锈钢镊子将用水冲洗干净的玻璃片四张交叉放入超声波清洗机中，清洗3分钟。e）将清洗好的玻璃片竖放在支架上晾干，用洁净布擦干净备用。1.2.6 聚四氯乙烯片（120mm120mm）的清洗1.2.6.1 使用器具及化学药品 超声波清洗机、中性洗涤剂（餐洗净）、纯水、弯头塑料镊子、酒精1.2.6.2 操作过程（操作过程中戴指套） a）用洁净布蘸酒精擦拭聚四氟乙烯片，清除110胶及固形物。 b）将聚四氟乙烯薄膜片四张交叉放入超声波清洗机中，清洗3分钟。 c）将清洗好的聚四氟乙烯片用洁净布擦擦拭干净。 d）在净化干燥箱中80烘5分钟，取出后放在洁净处备用。1.2.7 聚四氟乙烯片（120mm120mm）的压平1.2.7.1 使用器具 热板压机1.2.7.2 操作过程 a)打开热板压机电源，启动液压泵，预热30分钟。 b）将产生变形的聚四氟乙烯薄膜片清洗干净，分成两组，叠放整齐每个组厚度不超过10mm。 c）以组为单位，将叠放整齐的聚四氟乙烯薄膜片放在热板压机使用的不锈钢板上，分别放在中、下热板上面。 d）选择温度曲线，按下温度控制仪PIN1/PIN2键，PIN2灯亮，说明已经选择了曲线2，按照图1检查温度曲线是否正确。 e)液压压力设定为1.9106Pa 。f)将“手动/自动”旋钮切换到“自动”位置，双手按下保安和下降开关，热板压机开始工作。g）等待温度降到100以下之后，取下聚四氯乙烯薄膜片，放在洁净处备用。f）关闭热板压机电源。1.3 聚酰亚胺基底的处理1.3.1 聚酰亚胺基底的清洗1.3.1.1 使用器具及化学药品 超声波清洗机、1000ml烧杯、中性洗涤剂（餐洗净）、纯水、塑料镊子1.3.1.2 操作过程(操作过程中戴指套) a）确认超声波清洗机中的清洗液是否干净，如不干净，放掉重新配制。 b）配制方法：用1000ml烧杯盛取纯水倒入超声波清洗机中，水面刚露出不锈钢框架即可，然后加入10ml左右餐洗净。 c)用镊子夹取裁成125mm120mm的聚酰亚胺薄膜片放入超声波清洗机中，每次放3-4片。 d）启动超声波清洗机，清洗3分钟。 e）将清洗干净的聚酰亚胺薄膜放在干净的玻璃板上，先用排笔刷在净化水下均匀清洗薄膜正反两面，然后竖放在支架上控干水。 f)将带有聚酰亚胺薄膜片的玻璃板放入周转箱周转至净化干燥箱，从中取出放入净化干燥箱120干燥0.3h。 g）从净化干燥箱中取出放入周转箱，周转至净化工作台，从箱中取出平放在玻璃板支架上。1.3.2 聚酰亚胺基底的刷胶（操作过程中戴橡胶手套）1.3.2.1.使用器具及化学药品 净化工作台、刷胶刮板、滴定瓶、110胶（1：2）、丁酮1.3.2.2 操作过程（操作过程中戴橡胶手套及口罩） a）将盛有110胶的滴定瓶从冷藏柜中取出（确认胶的配置时间是否超过2周，如果没有超过则可使用），放在净化工作台上约30分钟，使之达到环境温度。 b）从玻璃板支架上取下冷却好的带有聚酰亚胺薄膜片的玻璃板，平放在净化工作台面上。 c）将刮胶器按照图2放在玻璃片上的聚酰亚胺基膜片上。e）在刮胶器的A侧面上、中、下位置（黑点处），使用滴定瓶滴下三滴胶水，大约0.5ml胶。f）左手按着B部位，右手握着刮胶器慢慢向右均匀移动，使胶均匀涂在聚酰亚胺基薄膜上。g）在净化工作台上自然放置12小时以上，然后进行热压合工作、h）使用丁酮将刮胶器擦洗干净放回原处，110胶密封好放回冷藏箱。1.4箔材的表面处理1.4.1 使用器具及药品1.4.1.1 器具搅拌器 1个 浅瓷盘 1个不锈钢浅盘 1个 烧杯（1000ml） 1个滴瓶（125ml） 1个 滴定瓶（500ml） 1个塑料饭盒 1个 培养皿 1个弯头塑料镊子 1个 不锈钢夹持镊子 1个药匙 1个 干净玻璃板 10片洁净布 1520 片 周转箱 1个无尘纸 1520 片1.4.1.2 药品 A-1液 A-2液 氧化铝粉 （1m） 纯水1.4.2 作业准备1.4.2.1 使用洁净布将工作台上的玻璃板擦拭干净。1.4.2.2 将浅瓷盘、不锈钢盘、盛A-1液、A-2液、纯水的滴定瓶放在工作台上。1.4.2.3 在不锈钢盘中倒入大约2升纯水。1.4.2.4 裁好洁净布、无尘纸放入塑料饭盒中。1.4.2.5 将氧化铝粉和纯水按1:1.52（体积比）在10ml烧杯中混合成研磨液，搅拌均匀后备用。（注：若在使用前或使用过程中，研磨液有沉淀现象，则需再搅拌均匀后再用）1.4.3作业步骤（操作过程戴橡胶手套）1.4.3.1 取一片干净的玻璃板，在上面滴12纯水。1.4.3.2用弯头塑料镊子夹取一片热处理好的箔材，放在玻璃板上。1.4.3.3将玻璃板放在浅瓷盘中，在上面滴34滴纯水。1.4.3.4取一片无尘纸折叠2次压在箔材的一边，另取一片无尘纸折叠后用折边顺一方向将箔材轻轻擦平。1.4.3.5用棉棒蘸取适量研磨液滴在箔材上，再在其上滴12滴A-1液，左手用无尘棉压着箔材的一边，先将 混合液用无尘纸顺时针调和均匀，再用 右手沿箔材的压延方向由中间向前擦拭箔材，到达玻璃板边沿后抬起手继续从中间向前擦拭（见图3.a）；按照上述方法擦拭510分钟，调转箔材的方向再擦拭510分钟。1.4.3.6按照上述方法，反复均匀擦拭箔材表面，洁净布的一面变黑之后，折出另一干净面，在箔材的表面加适量的研磨液和A-1液继续擦拭，擦拭510分钟，调转箔材的方向再擦拭510分钟（见图3.b）。1.4.3.7将玻璃板、箔材及手套上的研磨液、A-1液擦净。1.4.3.8在箔材表面上滴810滴A-2液，用干净的白色的无尘棉擦拭均匀，擦拭方向同第1.4.3.5步。1.4.3.9将附有箔材的玻璃板从瓷盘取出放在1000ml烧杯的上方，用滴定瓶的纯水冲洗箔材表面。1.4.3.10用干净的无尘棉将箔材上的水擦干，待箔材表面的水完全蒸发掉之后，在其上面滴一滴纯水，观察水滴是否均匀散开。用此方法检验箔材上如图4所示的五个部位：1.4.3.11 如果检验的五个部位水滴均匀散开，说明箔材表面已经处理干净，可继续按照下述步骤进行处理；如果有的部位出现缩水现象，应重新从第1.4.3.5步开始擦拭。1.4.3.12 将放在不锈钢盘中的搅拌器后电源开关打开，启动搅拌皿,将检验合格的箔材移入不锈钢盘中的纯水里中浸泡清洗（视情况，可不开搅拌器）。1.5热压合1.5.1箔材的烘干1.5.1.1 使用器具 周转箱、净化干燥箱、耐高温手套1.5.1.2操作步骤a） 按照图5设定净化干燥箱的温度时间曲线，启动净化干燥箱。b）从水中取出已经处理好表面的箔材，擦拭面向上放在玻璃板上面，用蓝色无尘纸擦干箔材表面的水份。c）将表面处理好的箔材随同玻璃板用周转箱转至干燥箱。d)当设定的温度曲线运行完毕之后，戴上耐高温手套，从净化干燥箱中取出玻璃板，放入周转箱中。操作过程注意： 防止箔材从玻璃板上滑落手不要接触已处理的箔材e）将周转箱放置在净化工作台上面。1.5.2基底与箔材的粘合1.5.2.1 使用器具 热压扳机 压 、塑料镊子、油性笔 各一个聚四氟乙烯薄膜片（120mm120mm） 16片硅橡胶板（120mm120mm） 16片1.5.2.2 准备工作（此工作在烘干箔材的间隙进行）a）将聚四氟乙烯薄膜片、硅橡胶板、热压扳机用不锈钢板、已经涂好110胶放置12小时以上的基底、刚烘干的箔材放在同一净化工作台上。b）检验聚四氟乙烯薄膜片、硅橡胶板、热板压机用不锈钢板是否干净，如有污垢，用丁酮擦拭干净。c）擦拭热板压机上、中、下加热平板，以保证平板洁净。d）检验热板压机 油位是否正常。e）打开热板压机电源，启动液压泵，预热30分钟。1.5.2.3操作过程a）将热板压机上的不锈钢板放在最下面，取一块硅橡胶板放在其中央位置。b）取一片聚四氟乙烯薄膜放在硅橡胶上面，其周边和硅胶板对齐。用镊子取一干净后已背衬好的不合格品放置其上，并与周边对齐，再取一片聚四氟乙烯膜放在上面，并将周边对齐。c)用镊子从玻璃板上取下聚酰亚胺基底（或从聚四氟乙烯薄膜上取下环氧酚醛基底），涂有110胶的面向上放在聚四氟乙烯薄膜上中央部位。d）用镊子从玻璃板上取下箔材，已经处理干净的面向下放在聚酰亚胺基（或环氧酚醛）基底上并将周边对齐。e）取一片聚四氟乙烯薄膜放在箔材上面，其周边和另一片聚四氟乙烯薄膜对齐。f）一手按住聚四氟乙烯薄膜上面，一手用压辊 用力滚压（注意箔材不允许起折痕）。g）重复cf步骤，最多使十二张箔材和基底迭压在一起。h）在聚四氟乙烯薄膜上面盖上一片硅胶板，如图下所示：i） 用手托着不锈钢板，将叠放好的箔材及基底放在热板压机下加热平板上面，不锈钢板边沿和加热平板对齐。j）重复ah步骤，将另外十二片箔材及基底随同不锈钢板放在热压扳机中间加热平板上面，不锈钢板边沿和加热板对齐。k）选择温度曲线，按下温度控制仪PIN1/PIN2键，PIN1灯亮，说明已经选择了曲线1，按照图7检查上、中、下温度控制仪的温度曲线是否正确，如不正确参照热压扳机操作规程修改曲线。l）液压压力设定为1.9106Pa 。m)将“手动/自动”旋钮切换到“自动”位置，双手按下保安和下降开关，热板压机开始工作。n）热板压机运行完成之后，热板自动生起，将“手动/自动”旋钮切换到“手动”位置。o）等待温度降到100之下后，取下热压合之后的箔材，放在净化工作台上，使用油性笔按热压合时从上到下的放置位置写上批号和编号。p）关闭热压扳机电源。1.6后固化1.6.1使用器具净化干燥箱、耐高温手套、不锈钢板（2片）1.6.2操作步骤1.6.2.1按照图8设定净化干燥箱的温度时间曲线，启动净化干燥箱。1.6.2.2将热压合好的箔材叠放整齐夹在不锈钢板中间放入净化干燥箱。1.6.2.3当设定的温度曲线运行完毕之后，戴上耐高温手套，从净化干燥箱中取出，待降至室温后将最底层已背衬后不合格品抽出，并将箔材放入干燥皿中备用。1.7填写背衬工序生产记录表。1.7.1背衬批号的编号方法1.7.1.1背衬批热板压机工作一次背衬出的产品称为一个背衬批。背衬批的代号称为背衬批号。1.7.1.2背衬批号的组成背衬批号由年份代号和顺序号两部分组成：第一部分：年份代号由年代的后两位数字表示；第二部分：顺序号由三位数字表示，从001开始顺序增加。1.7.1.3 背衬批号编号示例12002：表示2012年背衬的第二批。1.7.2填写背衬工序生产记录表2环氧酚醛基底的背衬2.1使用器具及物品热板压机 净化工作台 超声波清洗机3kg电子计价秤 净化干燥箱 纯水制造装置搅拌器 20ml烧杯 100ml 烧杯500ml广口试剂瓶 500ml烧杯 1000ml烧杯1000ml广口试剂瓶 125ml滴定瓶 500ml滴定瓶不锈钢板（180mm180mm） 洁净布 无尘棉玻璃棒 油性笔 玻璃板150mm钢板尺 手术刀氨水（浓度25 28） 截断刀 刷胶刮板平头不锈钢镊子 弯头塑料镊子 压专用不锈钢镊子 培养皿 药匙浅瓷盘（25019025） 不锈钢浅盘塑料饭盒 周转箱大号不锈钢密封饭盒 耐高温手套 蒸馏水中性洗涤剂（餐洗净） 110胶（1:1） 纯水磷酸（纯度98） A-1液 A-2液界面活性剂S-111 丁酮 竹镊子无水三氧化铬 氧化铝粉 酒精聚四氟乙烯薄膜（120mm120mm） 硅橡胶板（120mm120mm）2.2准备作业2.2.1纯水的制备（见附录1）2.2.2110胶的配置2.2.2.1 配置比例 110：丁酮=1：1（体积比）2.2.2.2使用器具500ml烧杯、1000ml广口试剂瓶、玻璃棒 各一个2.2.2.3 配制过程（操作过程中戴橡胶手套及口罩）a）将烧杯、试剂瓶、玻璃棒使用丁酮清洗干净。b）用烧杯量取400ml、110胶（粘度130cp）倒入试剂瓶中。c）将丁酮200ml倒入沾有110胶的烧杯中，用玻璃棒搅拌后倒入试剂瓶中。d）重复进行c）步骤，共将400ml丁酮倒入试剂瓶中。e）盖上试剂瓶口，用力摇动，使溶液混合均匀。f）在试剂瓶的外部注明试剂名称。配比及配制日期。存放在冷藏柜（010）中备用。g）使用丁酮将烧杯、玻璃清洗干净，放回原位。2.2.3A-1液的配制（同1.2.2）2.2.4A-2液的配制(同1.2.2)2.2.5云母纸的裁片2.2.5.1使用器具150mm直尺、1000mm直尺、手术刀、裁断刀 各一个2.2.5.2. 操作过程（操作过程中戴薄塑料手套） a）将工作台上的玻璃板擦拭干净，从仓库中领取成卷的云母纸放在玻璃板上。b)使用150mm直尺量取120mm长云母纸，一人按着1000mm直尺，另一人用手术刀裁断，然后用裁断刀将其裁成140mm120mm的云母纸片。c）将裁好的云母纸片10张一组用干净的硬纸片（140mm130mm）夹好，放入干燥皿中备用。d）将云母纸卷材，150mm直尺、1000mm直尺、手术刀、裁断刀放回原处。2.2.6 玻璃纤维的裁片2.2.6.1使用器具150mm直尺、1000mm直尺、手术刀、裁断刀 各一个2.2.6.2 操作过程（操作过程中戴薄 塑料手套）a）将工作台上的玻璃板擦拭干净，从仓库中领取成卷的云母纸放在玻璃板上。b）使用150mm直尺量取120mm长玻璃纤维，一人按着1000mm直尺，另一人用手术刀裁断，然后用裁断刀将其裁成140mm120mm的玻璃纤维片。c)将裁好的玻璃纤维10张一组用干净的硬纸片（140mm130mm）夹好，放入干燥皿中备用。d）将玻璃纤维卷材、150mm直尺、10000mm直尺、手术刀、裁断刀放回原处。2.2.7玻璃片（120mm120mm）的清洗（同1.2.5）2.2.8聚四氟乙烯薄膜及板（120mm120mm）的清洗（同1.2.6）2.2.9聚四氟乙烯薄膜及板（120mm120mm）的压平(同1.2.7)2.3环氧酚醛（或玻璃纤维）基底的浸胶2.3.1使用器具及化学药品净化工作台 净化干燥箱支架 大号圆形不锈钢密封饭盒铁夹 聚四氟乙烯片（0.2）10片玻璃片 2片 110胶（1:1）2.3.2 操作过程（操作过程中戴口罩）2.3.2.1 从冷藏箱中取出110胶,倒入不锈钢密封饭盒中大约500ml。2.3.2.2从干燥皿中取出裁好的云母纸（或玻璃纤维）放在工作台上，用宽度100mm左右的铁夹夹取一片的宽度为120mm的边缘，完全浸入不锈钢密封饭盒中的110胶中。2.3.2.3慢慢从不锈钢密封饭盒中取出云母纸（或玻璃纤维），悬挂在支架上，放入60的净化干燥箱中烘15分钟。2.3.2.4从净化干燥箱中取出，等待温度降低到不烫手时，用两片干净的玻璃板夹持着浸胶后的基底取下铁夹，基底放在净化工作台上的聚四氟乙烯薄片上面备用。2.3.2.5重复2.3.2.22.3.2.4步骤，直到全部浸完。2.3.2.6将不锈钢密封饭盒中的110胶倒回到试剂瓶中，放回冷藏箱。注意：操作过程中时刻盖好不锈钢密封饭盒的盒盖，以防丁酮挥发！2.4箔材表面的处理（同1.4）2.5热压合2.5.1箔材的烘干(同1.5.1)2.5.2基底与箔材的粘合2.5.2.1使用器具热压扳机 压 、平头塑料镊子、油性笔 各一个聚四氟乙烯薄膜（120mm120mm） 11片硅橡胶板（120mm120mm） 4片2.5.2.2准备工作（此工作在烘干箔材的间隙进行）a）使用钢板尺及手术刀将浸胶之后的基底裁成120mm120mm大小。b）将聚四氟乙烯薄膜片、硅橡胶板、热压扳机用不锈钢板放在同一净化工作台上。c）检查聚四