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文档简介

硅片产品规格说明书一、 目的和用途：加强对硅片的供方管理和质量管理二、 适用范围：适用于125125单晶，156156多晶硅片三、 各项指标：项目方法标准工具外包装SF/03-JY-026外包装完整，防摔、污、潮的措施完备目测外形尺寸125125或156156见方尺寸允许误差0.5mm硅片对角线误差0.5mm所检每片硅片的平均厚度170mMS-203所检每片硅片的平均厚度值：基本尺寸20m所检硅片总体平均值允许误差：10m硅片（同一片厚度）TTV30m MS-203两个边的垂直度900.3硅片无目视翘曲（翘曲度15m）目测、塞尺倒圆角误差0.5mm模板外观检验表面：洁净无残留硅粉，无污染、色斑、颜色均匀一致，无目视可见破损及针孔目测油污：面积小于20%且手套擦拭后变为较淡目测线痕深（高）度10m，整个硅片最多一处线痕千分尺晶粒（多晶片）：在1cm长区域，晶粒个数小于10个。硅片无可视裂纹、无应力无明显缺角、崩边（亮点）不允许有“V”字形缺口 导电类型P型RT-110碳浓度51016/cm3氧浓度11018/cm3晶向（100）3位错密度3103个/cm2电阻率0.53cm四探针测试仪36cm少子寿命单晶：15s少子寿命仪多晶：10s试制检验单200m以上厚度：试制平均效率16.03%，碎片率3.0%，G档率1. 5%，合格率93.5%，300批量2400片试制检验晶180m厚度：试制平均效率16.03%，碎片率4.0%，G档率1. 5%，合格率92.5%，300批量2400片多晶200m以上厚度：试制平均效率15.1%，碎片率3.5%，G档率1.5%，合格率93%，300批量2400片180m厚度：试制平均效率15.1%
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