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文档简介

一、 名称：全自动硅片上料机二、 型号:YTX-SLJ2800三、 数量：一台 四、 工艺 1目的：本设备功能为将方形硅片装入到片盒中,以供下一工艺使用。 2适用尺寸：156156 (0.5mm)、125125 (0.5mm)； 厚度为160280m的方形硅片。 3操作方式：全自动 五、设备环境要求 1电源： 220V 1kW 2洁净压缩空气：57 kg/cm2 六、主要技术参数 1外形尺寸：1100（L）920（W）1525（H）（mm） 2装片效率： 2800片/小时 3碎片率：5/10000 4工位数：双工位 5设备兼容125125 (0.5mm)（5英寸）、156156 (0.5mm) （6英寸）两种规格的硅片。 七、电气控制系统 1安全保护装置： （1）急停功能。 （2）漏电断路保护装置。 2控制面板置于台面上，PLC控制，设备的工艺动作及各项工艺参数，可以通过触摸屏直接设置和操作，人机界面有程序过程 控制、故障报警、安全保护等功能。 3存片量：设备上料位一次可放数百片硅片。八、设备结构及原理 1工作流程 l 将硅片放置于上料位， l 当上料位有硅片时将两个空篮具分别放置于篮具托板上； l 伺服电机带动硅片向上移动到指定位置； l 电动执行器带动吸盘运动到吸片位置； l 吹气分离装置开始工作； l 吸盘吸取硅片，并轮流把硅片放置于两侧的传送带上 ； l 传送带开始工作，把硅片送入到篮具中； l 两个篮中硅片均装满时，蜂鸣提示卸料并更换空篮具。 3主要结构 l 上料位：可调节，能兼容两种规格的硅片； l 上料位升降机构：采用伺服电机精确控制升降运动； l 分片结构：气嘴分别位于硅片两侧，吹气方向可调； l 吸盘：吸盘采用4个吸盘结构，吸取更稳定； l 传送带: 传送带选取对硅片无损伤和无污染的材料制成; l 篮具托盘：采用限位块限位，更容易、精确地达到精度要求； l 篮具上升机构：采用高精度步阶模具
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