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文档简介

车间工艺卫生要求初步整理手腕处一、 手套的使用方式：打开手套包装时，应注意从手套手腕处打开。取手套时，应用手接触手套开口处，禁止直接接触手掌及手指部位。 二、 无尘纸的使用方式：打开包装时，应佩带干净的PVC手套，在边角处打开一个小口，使用时应遵循使用多少拿取多少的原则，禁止不用时将无尘纸暴露在包装之外。三、 实验用盒子的使用方式：扩散间内禁止出现泡沫盒，统一使用饭盒作为实验用硅片的容器，盒子在首次清洁时应使用酒精擦拭三次以上，每次擦拭完应更换PVC手套。擦拭过程中应遵循先擦内壁再擦底部的原则。四、 镊子的使用方式：在使用镊子进行上下片操作时，应佩戴干净的汗布和PVC手套，拿取镊子的中上部。严禁任何形式的对镊子头部的沾污。镊子在不使用时，应保存在专门的净化饭盒中。五、 舟叉的使用方式：必须使用有石英套管的舟叉，对于套管缺失或者损坏的舟叉，应通知设备及时予以更换。舟叉在不使用时应套管朝上放置在专门的舟叉盒内。由于现阶段叉盒未到位，在放置舟叉时应将叉柄朝下，使石英套管不与台面接触。槽体机械臂正面上部六、 石英管清洗机的清洁：在每次进行石英器件清洗前应对清洗机进行清洁。在操作前请佩带好抗腐蚀性的面罩和耐酸碱手套。确保酸槽和水槽的溶液排尽后，向槽内注满DI水，将机械臂降至工艺下位完全浸入水中，浸泡3分钟后将水排掉，用水枪冲洗槽体，确保槽体内残余的酸液被稀释并冲洗干净。对清洗机进行擦拭时应佩带汗布手套和PVC手套，使用蘸取酒精的无尘布。首先对机械臂及清洗机的上部和正面部位进行擦拭，擦拭过程中发现无尘布和手套有沾污后应立即更换。确保槽体外部的工艺卫生后对槽体内部进行清理，同样先用蘸取酒精的无尘布擦拭槽体壁，再擦拭槽底。由于槽体的工艺卫生至关重要，需要对槽体进行三次以上的擦拭。七、 硅片清洗机的清洁：在硅片清洗机正常运行一段时间后要应对清洗机进行清洁。在操作前请佩带好抗腐蚀性的面罩和耐酸碱手套。确保酸槽和水槽的溶液排尽后，向槽内注满DI水，将机械臂降至工艺下位完全浸入水中，浸泡3分钟后将水排掉，用水枪冲洗槽体，确保槽体内残余的酸液被稀释并冲洗干净。对清洗机进行擦拭时应佩带汗布手套和PVC手套，使用蘸取酒精的无尘布。首先对机械臂及清洗机的上部和正面部位进行擦拭，擦拭过程中发现无尘布和手套有沾污后应立即更换。确保槽体外部的工艺卫生后对槽体内部进行清理，同样先用蘸取酒精的无尘布擦拭槽体壁，再擦拭槽底。由于槽体的工艺卫生至关重要，需要对槽体进行三次以上的擦拭。槽体机械臂正面上部八、 炉管安装时的卫生要求：在炉管安装过程中，对于氮化硅桨、石英炉门等直接与炉管内工艺条件相关的部件，需要采取更为严格的净化措施。在确保清洗干净的情况下，在安装时，除了需要佩戴汗布手套和PVC手套外，还需要使用无尘纸，避免手套与桨等的直接接触。九、 磷源进出气口的卫生要求：在设备人员对炉管进行拆卸清洗时，需要用无尘
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