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文档简介

酸性蚀刻全数字自动控制仪器面板各元件的功能：l 该电箱集中控制系统，采用美国进口ORP仪和电导率仪，数字式比。互动式人机交流，各种参数和操作方法，尽收眼底，而且数据稳定性、安全性大大提高。l 打开电源开关，把盐酸、双氧水、自来水添加的开关。l 本机有手动和自动操作方式。手动时，手动指示灯亮起，此时添加泵不受仪器的控制。盐酸、双氧水和自来水都进行添加。此时，要有人密切观察药液的变化，适合加药量后，马上关掉，否则一直加药致使工件报废。自动操作时，盐酸仪、双氧水仪和比重仪达设定值时才各自进行添加。l 添加泵：各水缸达到工作水位后，添加泵才能启动。工作中，水位低时该指示灯亮起，相应的水洗泵停止。蜂鸣器发出警报，请马上检查，并加水达到工作水位，重新起动水泵。l 警报器：有故障时，蜂鸣器发出警报，提示操作员工及时排除故障。l 盐酸、双氧水的添加，实行间隔添加，能充分使药水充分混合。电箱内有加药时间和停止时间，可以根据情况自由调节。l ORP仪控制双氧水的浓度，一般设定510540MV左右。根据各厂家的药水浓度和工作速度不同而设定。低于该值时自动添加双氧水，加药40S，停止10S。有充分的时间把药水混合均匀。l 电导率仪控制铜离子的浓度，一般设定320400MS左右。根据各厂家的药水浓度和工作速度不同而设定。低于该值时自动添加盐酸，加药40S，停止10S。有充分的时间把药水混合均匀。l 做板时，药水的比重越来越大，比重浮子就慢慢上升，数字比重仪器的设定达到设定的比重范围时(1.250)。就会工作，一直加子液进行对蚀刻槽内的药水稀释。子液添加没有间隔时间设定。l 电箱内有盐酸、双氧水仪的触点异常保护装置，若盐酸、双氧水仪的触点烧死、取样盒内无水或探头坏掉，加药达到一定的时间会停止加药。日常检修1 每次开机要检查电箱内各电气是否正常,保险丝是否烧毁 。2 每次开机要检查各添加缸工作水位是否正常。3 每次开机要检查比重浮子是正常。4 每次开机要检查供水系统是否正常。5 每日开机要检查各段管道是否漏水。6 每日开机要检查各仪表是否正常。7 取样盒的进水和出水要合适，不要把药水溢出外边。8 更换ORP仪和电导率仪的电极时，要小心轻取，更换同种规格的电极。9 ORP仪和电导率仪的电极要每2个星期进行清洗一次，否则，显示不准或控制不灵敏。10 洗缸时，不能把盐酸和双氧水同时排放，否则会爆炸。11 补充新盐酸和双氧水时，不能把盐酸和双氧水同时倒进一个槽子，否则会爆炸。12 加药时，不能把盐酸和双氧水的管子随意移动，否则会爆炸。13 蚀刻机长时间
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