JGP-450a型磁控溅射沉积系统.doc

JGP-450a型磁控溅射沉积系统中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司一、系统的主要组成及技术指标极限真空度：6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：5.0x10-7 Pa.l/S；系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；停泵关机12小时后真空度：5 Pa；系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成；1 、溅射真空室组件 1套圆筒型真空室尺寸450mm x350mm，电动上掀盖结构，可内烘烤100150，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行化学抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：1.1 、RF100法兰接口：1个（观察窗口）；1.2 、RF63法兰接口：1个（观察窗口）；1.3 、RF10法兰接口：3个（2路进气管路、放气阀）；1.4 、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；1.5 、CF100法兰接口：3个（磁控溅射靶接口）1.6 、CF35法兰接口：6个(接膜厚测试仪、电离规管、旁抽口、陶封引线2个、备用1个)；1.7 、CF25法兰接口：1个（基片挡板）；1.8 、CF16法兰接口：1个（备用）；1.9 、ZC16法兰接口：1个(接ZC16热偶规管)；2 、磁控溅射靶组件 3套 2.1 、靶材尺寸：60mm（其中一个可以溅射磁性材料）； 2.2 、永磁摆头靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷；2.3 、电动控制挡板组件：1套；2.4 、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)；2.5 、三个靶可共同折向上面的样品中心，靶与样品距离90110mm可调（当直接向上溅射时，靶与样品距离4080mm可调），并有调位距离指示； 3、基片转台组件 3.1基片加热转台组件 1套 3.11、基片尺寸：可放置30mm基片一个；3.12、基片加热最高温度 500C1C，由热电偶闭环反馈控制；3.13、取下加热炉可以换上水冷基片台；3.14、基片可连续回转，转速510转/分；3.15、基片可以加负偏压-200V；3.16、手动控制样品挡板组件：1套；3.18样品托：2个；3.2基片水冷加热公转台组件 1套1 、基片尺寸：可放置30mm基片；同时可以安放6片；2 、六个工位中，其中一个工位安装加热炉，其余工位为水冷基片台；3 、基片加热最高温度 500C1C，由热电偶闭环反馈控制；4 、基片转盘只能0360回转；当拆掉加热炉后，可连续回转；5 、基片转盘由步进电机驱动，可计算机控制公转工位及镀膜过程；6 、基片可以加负偏压-200V；7、电动控制基片CF25挡板组件：1套 4、窗口及法兰接口部件 1套4.1、RF100玻璃窗口：1块；RF63玻璃窗口：1块；4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）；4.3、盲法兰CF16：1个；CF35：2个；5、工作气路 1套5.1 、200SCCM、100SCCM质量流量控制器（北京）、DG16角阀、进气截止阀、混气室、管路、接头等：共2路5.2 、DG16角阀、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；6、抽气机组及阀门、管道 1套6.1 、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速620升/秒，北京）； 6.2 、TRP-36直联机械泵：1台（抽速9升/秒，北京）； 6.3 、KF40电磁隔断放气阀：1台（上海）；6.4 、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；6.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路、电磁截止阀及角阀门：1套 ；6.6 、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；7、安装机台架组件 1套优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；8、 真空测量及电控系统 1套8.1 、电源机柜：1台；8.2 、总控制电源：1台（为分子泵、机械泵、电磁阀、升降电机、真空计等提供电源，有断电保护功能）；8.3 、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）；8.4 、样品加热控温电源：1套（可实现程序控温）；8.5 、步进电机旋转电源：1套；8.6 、靶挡板电源：3套；8.7 、加热烘烤及照明电源：1套；8.8 、宽量程数显真空计（成都）：1套； 热偶规：1套（1.0x105Pa1.0x10-1Pa）； 电离规：1套（1.0x10-1Pa1.0x10-5Pa）； 8.9 、200SCCM、100SCCM质量流量显示器：1套；8.10 、分子泵控制电源：1套；8.11 、500W射频电源：1套；（沈阳、带转换）8.12 、500W直流电源：2套；8.13 、-200V直流偏压电源：1套；9、配件 1套9.1 、6mm不锈钢管：6m；9.2 、电动升降装置：1套；10、备件 1套10.1 、无氧铜密封垫圈及管路CF16：3个；CF35：3个； CF100：2个；CF150：2个；6mm卡套：4套；10.2 、氟橡胶密封圈：450mm：1个；100mm：1个；63mm：1个；10.3 、碘钨灯：5个；10.4 、样品加热丝：1套；10.5 、100mm玻璃：1块；63mm玻璃：1块；10.6 、不锈钢紧固螺栓、螺钉、螺母、垫片等：1套：11、计算机控制系统 1套由硬件卡、软件组成；控制的内容主要有靶挡板、样品自转、样品挡板、样品控温等；二、技术服务及质量保证1 、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；2 、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；3 、在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费；三、现场安装具备的条件1 、电源380V 50Hz 功率大于10KW，波动范围：小于6，配置多路接线插座；2 、可靠地线, 对地电阻小于2；3 、具有民用自来水或循环冷却水，水温小于25，水压小于2.5105Pa，流量要求达到12升/分钟，及回水通道；4 、安装场地面积大于25M2,高度要求高于2.4M；5 、要求安装场地的标准温度为2024，标准相对湿度为50%60%；6 、要求有普通氮气，压强要在23个大气压之间；7 、外排废气管道；四、设备报价：设备报价：35万人民币（含包装运输费） 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 联系人：金振奎 电 话：024-2382689