标准解读
《GB/T 38389-2019 氧化铟锡靶材化学分析方法》是一项国家标准,旨在为氧化铟锡(ITO)靶材的化学成分分析提供一套统一的方法。该标准适用于通过不同工艺制备得到的氧化铟锡靶材,包括但不限于溅射法、蒸发法等过程中所使用的材料。其主要内容涵盖了对氧化铟锡靶材中主要元素(如铟、锡)及杂质元素含量测定的具体步骤和技术要求。
对于主量元素铟和锡的测定,本标准推荐使用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES),这是一种基于样品溶液在高温等离子体中激发后发出特定波长光线强度与待测元素浓度成正比关系来进行定量分析的技术。此外,还涉及到了其他几种重要但可能存在微量或痕量水平上的元素检测方法,比如利用石墨炉原子吸收光谱法(GFAAS)来测定镉、铅等重金属污染物;采用火焰原子吸收光谱法(FAAS)进行锌的测定等。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2019-12-31 颁布
- 2020-11-01 实施
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文档简介
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