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文档简介

硅芯拉制操作规程一 岗位任务利用区熔法在硅芯炉内将多晶硅棒拉制成一定长度和直径的硅芯，用于多晶硅还原时的载体。二 岗位职责拉制硅芯、巡检辅助设备三 工艺流程原理利用区熔法，借助高频炉将多晶硅加热熔化，在惰性气体气氛保护下拉制出一定直径和长度的硅芯。四 工艺指标（1）高频炉采用高频感应加热，最大输出功率60KW，高频振荡频率2-2.5MHZ。（2）硅芯炉：上轴有效行程：02800mm； 上轴快慢速升降速度：800mm/min、40mm/min;下轴有效行程：0530mm； 下轴快慢速升降速度：300mm/min、10mm/min;下轴旋转速度：10r/min;（3）炉产量：单次：5根； 每炉次：15根（4）工艺检测点：硅棒直径、硅芯直径、硅芯弯曲度.、重量；控制柜仪表、高频柜感应加热设备仪表、水压表。五 开停车、紧急停车步骤及操作方法1、开炉前准备工作：检查一切开关是否处于切断状态；检查冷却水管、水压、阀门是否正常；备好开炉用料、籽晶、装炉工具并带好口罩和一次性PE手套。2、装炉：用洁净的白无尘布擦洗炉室；将籽晶装正夹紧后分别装入上轴机械手和转盘上；将多晶硅棒垂直装在料座上，去掉包装拧紧螺钉使料棒与线圈对中；降下轴使硅棒顶离线圈到安全距离；调节上轴使石墨夹头离线圈10mm左右；放好挡渣盘，紧炉门；将原料批号和开炉序号准确记录在操作记录本上。3、开炉操作：抽真空：打开真空阀，抽空至3Pa左右，关闭真空阀；送氩气：打开氩气流量计阀门，控制压气流量为60L/min，待炉内压力达到一定值打开排气阀，调节氩气流量至20L/min置换炉内空气；送电：打开配电柜合上本炉的所有开关；预热灯丝：开低压预热灯丝35分钟；加热：打开加热开关接通电源，顺时针缓慢调节电位器：预热：调整加热功率预热石墨和籽晶，调节上、下轴使籽晶下部与硅棒接触，并升高功率使籽晶下部熔化一部分预热硅棒；熔接：硅棒热红后，再增加功率使硅棒顶端熔化与籽晶熔为一体；拉制：根据生产需要适当控制功率及上下轴供、拉速比例，分别拉制等径部和扩大头部；换籽晶：每拉完一次硅芯后降低功率并调节上下轴使硅芯脱离熔区并通过旋转转盘更换籽晶； 若需再次拉制从开始循环拉制 。4、停炉：降温：当拉制完毕或因故停炉时，降低功率、降下轴，使熔区离开线圈再缓慢把加热功率归零位；停气：关闭氩气进、出口阀门；断电：关闭解热电源25分钟后关闭灯丝电源，然后关闭控制电源及总电源。5、拆炉：待炉内温度降至常温后，打开炉门用专用工具取下硅芯，贴好生产批号然后放至专用硅芯车内，并做好生产记录。六 常见事故原因分析及处理（1）突然停水：立即停电，待熔区还未凝固快速拉开上、下轴，使熔区脱离线圈。（2）突然停电：待熔区未凝固，手动拉开上下轴离开线圈位置，及时断开电位器开关，电位器旋钮调至零位。七 连锁报警一览表循环水压力、氩气储罐压力八 设备一览表硅芯炉、高频
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