二无尘室之维护管理.doc

一、無塵室基本概念1-1無塵室之定義 無塵室(Clean room)Clean room：將空氣微粒子(Airbone Particulate)、溫度、濕度、室壓、靜電、氣流、風速、振動、噪音、照明及微生物等控制在某一規定值內的特定房間，以往被稱Clean Room。1-2無塵室之規範 等級之起源 1961年美國Sandia公司首創層流(Laminar flow)清淨室，得到前所未有之清淨環境， 對當時美國之APOLO太空計劃有極大的幫肋，此後清淨室技術才逐漸被高科技工 業所採用，因而發覺有制定清淨室規格與標準之必要。終於在1963年訂定美國聯 邦規範#209。此規範中將清淨度等級分為100、10000及100000三級，並定清淨度 之測試方法、氣流方式、室壓及溫濕度等。其後分別於1966年、1973年、1987年、1988年和1992年，陸續修訂為209A、209B、209C、209D、209E。表1-1美國FS-209D規範重點等級微粒子壓差溫度相對濕度風速照度粒徑m數目個/ft3InAq(mmAq)F()RH%FPMM/s(換氣數)燭(Lux)10.510.05即1.27mmAq無特殊指定時725即22.22.8無特殊指定時555層流次90FPM20%即0.45m/s20%亂流式(20次/時)500600LUX100.5101000.51001,0000.51,00010,0000.510,000565100,0000.5100,0005700表1-2 FS 209E清淨度等級(1992年)粒徑大小0.1m0.2m0.3m0.5m5m微粒子數個/m3個/ft3個/m3個/ft3個/m3個/ft3個/m3個/ft3個/m3個/ft3SI制級英制級M13509.9175.72.1430.90.87510.00.283-M1.51124035.02657.501063.0035.31.00-M2350099.175721.43098.751002.83-M2.51012400350265075.0106030.035310.0-M3350009917570214309087.5100028.3-M3.5100-26500750106003003530100-M4-7570021403090087510000283-M4.51000-3530010002477.00M5-10000028306187.15M5.510000-35300010000247070.0M6-1000000283006180175M6.5100000-353000010000024700700M7-10000000283000618001750表1-3FS-209D與JISB9920清淨度等級對照表A.FS209D：以0.5m粒子(個/ft3)為基準。 ( )內者之單位為：個m3粒徑 等級 1101001,00010,000100,0000.135（1,225）350(12,250)0.27.5(263)75(2,630)750(26,300)0.33(105)30(1,050)300(10,500)0.51(35)10(350)100(3,500)1,000(35,000)10,000(350,000)100,000(3,500,000)5.0770700 FS之1級 = JIS之3級粒徑 等級 123456780.110 110 210 310 410 510 610 710 80.2224236236023,6000.31101011,01010,100101,0001,010,00010,100,0000.5353503,.50035,000350,0003,500,0005.0292902,90029,000B.JISB9920：以0.1m粒子(個m3)為基準。表1 4工業清淨室( ICR )之清淨度與適用分類產業別 清淨度清淨度(0.5m，個ft 3 ) 1 10 1001,00010,000 100,000LSI製造工程LSI組立檢查工程(矽)單結晶照像光罩Photo Mask光阻塗膜Photoresist一般液晶(TN,STN)顯示用液晶(TFT,MIM)投影用液晶(TFT)混合(hybrid)IC印刷基板材料印刷配線板電晶體、二極體精密電子部品磁頭磁碟電腦、磁碟裝置組立錄影帶、光碟照像底片光纖精密軸承光學鏡片半導體製造裝置清淨管及閥類LSI製造用化學藥品精密測定機製造清洗無塵衣印制、製版1-3無塵室之污染源大體上，清淨室的微粒子污染源，可分為兩部份：(1)來自外界的和(2)內部產生的。天花板內部 工具儀器 事務機器 人(動作)清淨室 空調送風 外界污染 外氣補給風管材原 料 間 隙 風人、物壁體剝落 內部污染生產設備高壓氣體(O2，N2，Air等)加工過程 給水藥劑程照明電氣防設備 1-4無塵室之污染控制1-4-1維持清淨度之原則 實務上要完全杜絕污染源並不切實際，因此，規劃清淨室時，是在於 “如何將污 染減至最低程度？” 維持清淨度的四大原則： A.不帶入 C.不積留1. 適當壓差不傳送 1.壁體 2. 良好施工不漏氣 2.設備四週留空間 3. 人物進入先除塵 3.定期保養和清掃 B.不發生 D.速排除 1.用人少，動作輕 1.污染源直接排氣 2.穿著良好無塵衣 2.換氣次數要足夠 3.使用CR專用器具 3.適當的氣流速度 綜合上述的四大原則，基本上，需朝著下列方向進行： (1)儘可能導入乾淨的外氣 (2)嚴格管制人、物的進出 (3)採用不發塵、易保養的建材 (4)務實清潔保養與維修工作 (5)穿著無塵衣，使用清淨室專用產品 (6)密封壁板之聯接縫隙與配貫穿等孔洞1-4-2污染控制方式 HEPA 過濾是維持清淨度的必需過程，但並非是唯一的。清淨室的污染控制主要是 以下列七種方式互相配合而完成的： A.圍堵 B.空壓控制 C.過濾淨化 D.換氣稀釋 E.氣流速度 F.管理 A.圍堵 圍堵是不帶入的基本策略，屬於 “ 硬碰硬” 的功夫，因此舉凡進出口、門窗、配管穿牆、管道間等與清淨室直不可能完全密封，故有賴於室壓控制。B.室壓控制對一密閉型房間而言，當進氣量大於排氣量即可維持正壓，進氣量愈多，正壓值愈大。由於氣流是由高壓區流向低壓區，因此，室與室間的任何門縫、間隙，即有氣流流動，為防止污染，則利用室壓差(表2-5)，來控制氣流的流向，亦即愈乾淨的清淨室，室壓愈高，如此，較差清淨室的微粒子，則不會向較佳清淨室滲透擴散。表1-5 不同等級清淨室之室壓差要求污染區(無空調)級外區(一般空調，約30萬200萬級)不同等級CR0.5 1.0mmAq準清淨區(100,000級)CR與準CR 0.5 1.0mmAq CR(準)CR與級外區1.0 1.5mmAq超CR(準)CR與污染區1.0 2.0mmAqC.過濾利用初、中、高級濾網，淨化經由風管進入清淨室內的空氣，此方式是清淨室污染控制的重點，故HEPA(或ULPA)是清淨室的必需品，HEPA上游裝設初級和中級濾網可延長價昂的HEPA之使用年數(表2-6)。初級濾網宜採用AFI 效率70%者，而中級濾網宜採用NBS效率85%者。若以節省運轉成本的觀 點來看，對相同效率的濾網而言，壓損愈小愈佳。表1-6 HEPA使用方式與壽命關係HEPA使用方式壽命壽命比備註額定風量單獨使用4000小時(167天)1初期壓損：25mmAq，最終壓損：50mmAq 風速1.31.4 m/s前設70% AFI之初級濾網6000小時(250天)1.5倍初期壓損：25mmAq，最終壓損：50mmAq前設85% NBS之中級濾網18400小時(767天)4.6倍初期壓損：25mmAq，最終壓損：50mmAq0.30.5m/s75%額定風量單獨使用6400小時(267天)1.6倍初期壓損：25mmAq，最終壓損：50mmAq 出風速1 m/s50%額定風量單獨使用12000小時(500天)3.0倍初期壓損：25mmAq，最終壓損：50mmAq 出風速0.7 m/s50%額定風量8000小時(334天)2.0倍初期壓損：25mmAq，最終壓損：50mmAq 出風速0.4 m/s 註：進氣之濃度：0.16mgm 3，約一百萬級。D.換氣（稀釋） 除了過濾外，換氣次數亦是重要因素，換氣次數少，則稀釋效果差，到達要求清淨度的時間長，甚至無法達到要求，亦即，若只有過濾過程，但換氣次數不足，則亦無法滿足高級清淨室的要求。隨著HEPA的改良與節約能源的要求，換氣次數的實用數據如表2-7所示。表1-7換氣次數(次時)與清淨等級的關係等級HEPA(ULPA)效率0.1m，99.9997%DOP0.3m，99.97%DOP0.5m，95%DOP1單向流，350900不適用不適用10單向流，250600不適用不適用100單向流，200500單向流，200600不適用100040605070不適用10000304035454050100000152020252030E.氣流速度 非單向流清淨室，乾淨氣流由出風口，以13 ms之速度吹出，以誘引室內的髒空氣，作全體的稀釋換氣，使室內之微粒子濃度降低，同時要儘量避免使室內產生的微粒子再度飛揚擴散。因此，需有適當的吹出氣流速度；氣流速度過高會增加室內滯留微粒子的擴散程度，反之，速度太低，則誘引力過小，亦無法達到除塵淨化的效果。F.管理將管理視為污染控制方式的一種，似乎有點 “小題大做”，然而對有驗 收合格，但使用後清淨度愈來愈差經驗的業主而言，就會有切身之體驗了。清淨室一旦有人和材料的進出，污染則無法避免，因此但求將污染降至最小程度，此則有賴於嚴格的管理，包括穿著、動作、進出管制、操作方式、清潔維護、設備保養等。(詳見第3單元)1-5無塵室之環境要求 1-5-1靜電問題與對策 清淨室中，因產品與加工過程的不同，各有不同的溫濕度要求，若依FS 209B 之標準，清淨室之相對濕度宜為55%5%RH，則靜電問題將是清淨定的一大 困擾。通常相對濕度45%RH時，則不能不正視靜電問題了。 (1)靜電產生的原因： 一般物體本身若持等量的正、負電荷，則屬中性電氣。當兩個物體在接觸， 其接觸面即產生了電荷的移動，在分離時，正、負等量的過剩電荷，即成為所謂 的靜電。通常絕緣或非導電體(導電率極低)所帶的電，稱之為靜電。 (2)防止靜電之對策 為避免靜電災害，基本上是要防止物體帶電。因此，在生產、動作上宜依下 列四原則：(1)摩擦面宜小 (2)摩擦次數宜少 (3)摩擦速度宜慢和 (4)採用防靜電材 料以滅少靜電的產生。但在實務上，無法完全避免靜電的積存，故有賴有下列方 法來改善： A.接地設施： 接地：將物體所產生的靜電迅速傳給大地。是防止靜電的最根本策略。 電阻抗10 6以下，且人地與接地極間之接地阻抗需1K。同時靜電之接地 設施不宜和其他系統之接地設施合併，以避免發生誘導電的現象。 B.導電塗裝： 基本上是藉由表面塗布、吹拂、浸清或內部滲透、擴散等方式，提高絕緣體 的表面吸濕性、降低表面抵抗率及增加導電率等。通常表面抵抗率宜10 12。 而體積抵抗率宜10 8 m。 C.加濕： 通常要滅少物體帶電，周圍相對濕度宜65% RH，但對某些場合可能會 有結露、鏽蝕的困擾。一般而言，相對濕度愈低，靜電問題愈嚴重，因此，除非 必要，相對濕度不宜45%。 D.中和： 利用靜電消除器產生不同極性的電離子，來中和帶電絕緣體之帶電電荷 。靜電消除器的種類很多，可依需要選用。或在HEPA正下方裝設靜電清除棒之 情形，利用出風將靜電消除棒產生的離子，吹到工作面，以中和靜電。唯一要注 意的是當相對濕度偏低時，靜電中和的效果亦會降低。 E.防止人體帶電之對策： 人體會因(1)活動 (2)與衣物摩擦 (3)與帶電體接觸 (4)靜電誘導和 (5)空氣中 的帶電離子等因素所成為帶靜電體，為防止人體帶電，需將人體的電阻抗降 至10 8。常用的方式為： (1)穿著導電(或防靜電)服、鞋、手環等 (2)使用導電地板(電阻抗宜10 7)1-5-2溫濕度的精度 清淨溫濕度要求多為2024，和3560% RH。因溫度變化會產生熱漲冷縮效應，相對濕度變化會對靜電、鏽蝕、吸著、剝落或變形等產生影響，因此吾人可了解：對不同的產品及加工各有不同的溫濕度要求，但若問：溫濕度精度要求(？和？% RH究竟有何重要性，或者究竟5 % RH與2 % RH的要求，有何不同？則可能不易理解。一般而之，溫度精度是依產品加工之要求而定，而相對濕度精度是隨溫度精度而變動。A.溫度精度：（）表2-8是某些固體材料的線膨脹係數，一般固體材料的線膨脹係數約為102010 6 mm。以LSI之主要材料矽(Silicon)為例：10cm矽晶圓(Silicon wafer)，1的溫度變化，則會產生0.24m的伸縮量，這對以0.1m粒子為控制對象的超清淨室，或者對於電路線幅僅0.3m的晶片(Chip)而言，影響極大。因此在晶圓處理的曝光(Explosure)過程中，其溫度精度要求需0.1。 表1-8 固體材料的線膨脹係數(mm)(周溫：0100)材質線膨脹係數材質線膨脹係數鋁2310 -6炭素鋼2310 -6黃銅2010 -6混凝土1010 -6銀1910 -6鈦910 6不鏽鋼16.410 -6玻璃310 6鎳12.810 6矽2.410 -6B.(相對)濕度精度：（% RH） 在空氣中水份含量(絕對濕度)不變的條件下，相對濕度隨著溫度變化而改變。清淨室中，控制濕度精度的先決條件是控制溫度精度。以室溫22為例，當溫度精度為1時，則最佳的濕度精度為3% RH。依日本恆溫恆濕標準，最佳的相對濕度精度要求為2% RH。為達到此要求，則溫度精度必需0.5。C.溫濕度精度與成本關係溫濕度精度要求愈高，則空調箱冷凍能力、再熱量、加濕量和風量等均愈大，使得設備成本與運轉成本均大增。因此嚴格溫濕度精度要求的區域要儘可能縮小。1-5-3照明、振動與噪音 雖然在FS209A中，有照明、振動與噪音之規定，但多數清淨室，仍以清淨度與溫濕度為主。A.照明：對於照明在規劃清淨室時的兩個重點：(1)材質 (2)照度要求。 材質：(1)原則上，對於非單向流清淨室(1000級)，可採用一般(40W2支)之吸 頂式日光燈即可，但若為單向流清淨室，則宜採用嵌入型或清淨室專用燈具。材質：(2)有些產品或加工過程中，需避免紫外線或日光照射，則需採用特殊燈管。照度：FS209AE之建議值雖為500600Lux，但對多數高度3m之清淨室，500Lux是可接受數據，對於特別的(檢驗)工作，則可配檯燈使用(註：檯燈可能成為污染源)，一般性場合可依表2-9選擇。表1-9照度要求水準與電力照度範圍Lux標準照度Lux(呎燭)照明電力W超精密作業70015001000(100)50精密作業300700500(50)25中作業150300200(20)10粗作業701500100(10)5B.振動(Vibration)清淨室內振動的主要來源：(1)外界振動之傳入(地震、車輛等) (2)設備運轉(機器、馬達、風扇等) (3)微振：門之開關或人之動作等C.噪音(Noise) 清淨之CR噪音源 (1)空調設備：風車馬達，風管振動，出(回)風口之噪音等。 (2)機器設備：馬達與進、排氣設備等。(3)其 他：照明器具、電流干擾、通訊廣播及室外傳入等。1-6無塵室之規劃1-6-1一般性的規範重點 清淨室的整廠規劃(Turn Key Projects)，(如表2-10)，因涉及範圍極廣，需由建築、水電、空調、環保、防震、製造等各項專業人才共同規劃，投資費用極高，可能耗時數月或年餘。儘管不少清淨室規劃，多需遷就於既有的建築物，然而，為避免失誤應儘可能事先確認下列事項：1. 清淨度等級。2. 室壓之平衡措施。3. 溫濕度要求。4. 機器設備發熱量。5. 確定生產流程。6. 局部排氣之必要性。7. 日後擴充彈性。8. 足夠維護保養空間。9. 空調送風方式。10.員工休息區之安排。11.設施與動力之配置12室內淨高與樓板載重。13設備空間與管道間。14.門窗宜少，氣密性要佳。15.靜電、振動及噪音。16.生產線與活動線少交叉。17.公害、污染與防災。18.按裝及運轉成本之衡量。1-6-2清淨室的動線規劃 所謂動線，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的入室路線。規 劃時，要檢討分析人(車)路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業之流程等， 儘量縮短動線，並避免交叉，以防止叉污染(Cross Contamination)。 圖1-10典型的動線規劃純水、O2O2、Air排氣處理 排水處理休息區 存放區一次換鞋更衣作業者更衣洗手氣洗區存放區製造裝置大形機材清掃區前室清洗室氣洗區製品材料 緩衝區氣洗區外氣要點： (1)作業者、材料、化學藥品等動線勿集中。 (2)製造裝置之出入，需不對作業產生大影響。 (3)超清淨室四周，宜設緩衝區(即較差清淨區)。1-7 測試、調整及平衡A、試車前檢查 試車工作開始以前，需先確定系統已經完成而且可以操作，其檢查項目包括下列各點： 1.設備已可操作，且其狀況正常而安全。 2.溫度控制系統已安裝完成且可操作。 3.系統測試所需供需電源是否正常穩定。 4.電氣設備絕緣測試已完成並有適當之過載保護。 5.過濾器乾淨且已安裝定位。如有需要，可另加裝臨時過濾器。 6.風管系統已清理乾淨。 7.風機轉向正確。 8.防火及調風風門已安裝定位，並已開啟。 9.盤管鰭片已清理乾淨。 10.檢修門已關閉，風管末端蓋已裝妥。 11.出風口已安裝連接完成。 12.風管系統洩漏已降至最低。 13.流體系統管路已清洗完畢，灌滿液體並排氣。 14.泵體運轉方向正確。 15.過濾器過濾網已清洗並安裝定位。 16.檢修及平衡閥已開啟。 檢查中若發現任何瑕疵，承包商應儘速修正，若本身無法獨自完成，需其他承包商配合時，應向業主提出報告，由業主負責協調解決。B、試車 承包商須派熟悉性能試驗之工程師，必要時會同設備製造廠技術人員，進行試車工作，試車期間之水電費由業主負擔。C、調整 1.須確實記錄資料。 2.在閥、風門及其他可調整裝置之設定點作永久性的標記，以便爾後可以調回原來設定，設定後鎖定記憶裝置。 3.經調整後需再測量，以證明系統平衡未遭破壞或已更正。 4.系統應有正確的收工順序；裝回皮帶護罩，關閉施工門，關閉電氣開關箱，回復溫度開關至原設定值。D、空氣系統測試 1.調整空調箱系統及出風分佈系統，以提供所需之送風、回風及排風量。 2.調整空氣分佈系統，以保室溫之均衡，並免除不良氣流及噪音。 3.用風量控制裝置調整空氣量，但以不引起不良氣流及噪音為限。 5.調整風機速度以改變系統總風量。如有需要，更換驅動裝置。調整風門以緮化支管風。 6.提供標有每個風管出口或入口編號之系統圖。 7.測量風機組之靜壓狀況，包括過濾器淨壓損失增加 50% 之餘度。 8.調整外氣自動風門、外氣、回及風排風門至設計條計。 9.空氣系統須調整至設計值 10%以下。E、無塵室測試驗收標準 1.洩漏測試 (1)檢驗規格 (a)Filter 及 Frame 不得有洩漏。 (b)燈具及其他開孔接縫處不得有洩漏。 (2)檢驗基準 (a)HEAP Filter 出廠檢驗報告。 (b)於 Filter下約 50mm 處，用 Particle Counter 掃瞄測試。 (3)測試儀器： Particle Counter。 2.潔淨度測試 (1)潔淨度測試：潔淨室於洩漏測試完成後須於地面 90 公分高處量測粒子數，其粒徑及粒子數上限值須符合以下標準。潔淨度(級數)測試粒徑 (um)0.10.20.30.55.0135(個/ft3)7.5(個/ft3)3(個/ft3)1(個/ft3)N.A10350(個/ft3)75(個/ft3)30(個/ft3)10(個/ft3)N.A100N.A750(個/ft3)300(個/ft3)100(個/ft3)N.A1000N.AN.AN.A1000(個/ft3)7(個/ft3)10000N.AN.AN.A10000(個/ft3)70(個/ft3)100000N.A.N.AN.A100000(個/ft3)700(個/ft3) (2)檢驗基準：(a) 測試高度Floor + 900mm。(b) 測試點數如設計圖所示。(c) 本案僅施行完工後之檢驗測試，並協助業主施行設備搬入後及運轉中之檢驗試。 (3)測試儀器Particle Counter。 3.噪音測試 (1)檢驗規格：如設計圖所示之設計條件。 (2)檢驗基準： (a)測試高度：Floor + 1000mm。 (b)測試點數：平均。 (3)測試儀器： 噪音計。 4.溫度及濕度測試 (1)檢驗規格：如設計圖所示之設計條件。 (2)檢驗基準： (a)測試高度：Floor + 1500mm。 (b)測試點數：如設計圖所示。 (3)測試儀器： 溫度計及濕度計。 5.室內靜壓測試 (1)檢驗規格：如設計圖所示之設計條件F、試車報告 空調系統於試車調整時，須詳細記載，並作成書面報告，送交業主。二.無塵室之維護管理2-1無塵室之管理2-1-1一般注意事項(1)普通注意事項為保持無塵室的清潔度，必須經常維持正常的氣流狀態。因此，負責無塵室操作之專門人員必須經常檢查並防止會擾亂氣流之一切備品、物品等被帶進無塵室內。但作業上必需物品或設備盡量維持最少限度，並盡量配置在不會擾亂氣流之位置為原則。(2)傢俱等設備之材料無塵室內使用之設備材料，儘量使用不會產生塵粒之不銹鋼或有適當之表面處理；或用耐磨性佳之鋼品、鋁製品及優良塑膠製品等。(3)構造上述設備等之構造，盡量採用構造簡單且與其他物品接觸或磨擦時不會產生磨耗粉質，在各角部份要圓滑，避免有突出之角。(4)傢俱等設備之維修必須在無塵室內用之傢俱等設備必須保持乾淨，有必要補修時立即修理，經常保持良好狀態，修理困難者立即廢棄不用而換新。2-1-2桌子不得不用木製者，表面須施EPOXY樹脂加工以防止發塵。要用簡單間的桌子不能有抽屜、腳板，及側面板等。桌腳下端應套上橡膠或塑膠套。2-1-3椅子盡量採用沒有背及腳踏板之椅子，椅腳之高度以坐下來腳適當地接觸到地板之原則，萬一非用高椅子不可時要準備腳踏台。椅腳下端應裝有塑膠製之小輪子或應套上橡膠套。為避免產生塵粒盡量不使用椅墊(CUSHION)為原則，萬一不得不用椅墊時要用發塵性少之材料完全封蓋，因為椅墊容易損傷而在損傷之狀態下使用易產生塵粒，故須特別注意。2-1-4搬運箱有關原料、半製品或產品之搬運箱及作業上須要之工具箱均須用特製之專用箱，須附蓋下面裝有橡膠或塑膠者。容易清潔之構造，並須定期檢查及清潔。2-1-5搬運車構造簡單為原則，不要使用可摺疊式。放置物品之表面材料特別採用耐磨性高者。車輪之軸承必須用充填黃油密封式滾珠軸承，並用耐磨性高之橡膠輪胎。重量輕並容易清潔之構造。須做定期檢查，維修及清潔。2-1-6筆記用品(1)紙類要用特別加工，發塵量少(或全無)之紙類。如需要帶進以一般紙類印刷之文件時需要放在透明之塑膠袋中。或有防塵處理之紙類印刷者。鉛筆、橡皮擦、自來水筆、蠟筆、普通紙類均不能帶進無塵室內。筆記時要用塑膠做的原子筆，無塵紙或塑膠紙類。(2)告示板、黑板類普通黑板及粉筆當然不能使用，必要時在準清淨室內(低一級之清淨室)用白板，FELTPEN，清淨室專用之擦布。告知板要用自立式，並附有輪子可移動式者，並放置在準清淨室內。告示板之構造為不易聚積灰塵或其他污染物並容易清潔者。告示用之紙當然用如3-1-6項規定之專用紙並告知愈少愈佳。2-1-7垃圾箱垃圾箱不能放置在此清淨度CLASS 100 清潔之無塵室內。2-1-8無塵衣管理 入清淨室前，必需依等級不同穿著適當的無塵衣(表3-1)，且在長時間使用後， 發塵量會增加。因此，必需定期換洗。2-1 清淨室之穿著標準100級連身式(coverall)無塵衣，頭肩罩(hood)、口罩、手套、長鞋套(Boots)1000級分離式(Separate)或大衣式(Coat或Frock)無塵衣，帽子或(頭)髮罩、口罩、手套、(短)鞋套或布鞋。 註(1)：全罩式(Overall) = 連身式 (Coverall) +頭肩罩+長鞋套。 (2)：亦有頭連身式無塵衣 = 連身式+頭肩罩。因頭髮易 生油垢，以不含頭肩罩之連身式為宜，以便局部更換。2-1-9 人員教育管理 影響清淨度的一大原因是人。一般而言私人用品均應禁止，同時跑、 跳、拖走、括指甲、梳頭髮、擦桌子、打噴嚏、打哈欠、咳嗽打電腦、印報 表、影印等應完全禁止。而且需依清淨度等級，穿著適當的清淨室專用衣。 並對進出路線、生產作業時之動作，防災演習及日常的清潔保養等，均應嚴 格執行。表3-2是典形的清淨室進出管理流程。表2-2無塵室進出流程圖 (FLOW MODEL)腳踏粘板屋 外換鞋一次更衣管理區域辦公室等鞋櫥鞋一般衣服室脫衣穿衣一般衣櫥洗手間換穿無塵衣區 域赤腳或穿拖鞋無塵衣用專櫃(衣櫥)穿衣台、洗衣籃穿衣脫衣鞋一般衣櫥洗手烘乾機準清淨區域腳踏粘板空氣洗塵室等清淨區域 準 備 室無 塵 室2-2無塵室內監視(MONITORING IN CLEAN ROOM)2-2-1氣流(1)無塵室內之氣流形式(AIR FLOW PATTERN) 是否符合設計之要求，須做氣流測試確認。(2)氣流測試最好採用污染無塵室之可能性較少之塔夫特(TUFT METHOD)法。(3)氣流測試原則上由專業人員施行之。(4)氣流測試應在專業人員決定之作業區域及容易產生亂流之位置施行，每年最少做1次並記錄結果。(5)專業人員應將測試記錄結果與設計值做比較，檢討並判斷現狀是否符合設計條件。2-2-2風速(1)在無塵室內測試風速之目的是要確定空氣流形式(AIR FLOW PATTERN)是否符合規定。(2)風速測試用之儀器應採用攜帶用熱式風速計或其它。(3)原則上風速之測試應由該無塵室之專業人員施行。(4)風速測試除了測試各HEPA FILTER之代表點之外，應在專業人員決定之位置及高度施行，而每個月1次以上之頻度行之並做記錄。(5)專業人員須將測試記錄結果與設計值做比較，並檢討現狀是否符合設計要求。2-2-3風量(1)無塵室內送風量是否符合設計要求，由風速測試結果計算之。(2)為算出風量之風速測試結果根據3-2-2 (2)之規定。(3)為算出風量之風速測試原則上由該無塵室之專業人員行之。(4)為算出風量之風速測試最好在送風管裏面行之，但也可以在各HEPA FILTER 之代表點測試。測試方法、測試頻度，由該專業人員決定並做記錄。(5)該專業人員應由風速測試記錄算出之風量與設計值做比較並檢討現狀是否符 合設計要求。2-2-4空氣壓(1)測試無塵室之空氣壓其目的為高清淨度無塵室與次清淨度無塵室之間有無保 持規定之差壓，高清淨度室空氣壓應比次清淨度室略高，以免污染之空氣侵入高清淨度室內。(2)空氣壓之測試儀器須能夠測試到該無塵室內外之差壓至0.98Pa (0.1mmAq) 之差壓計或可代替之測試儀器為準。(3)測試空氣壓原則上由該無塵室之專業人員行之。(4)測試空氣壓應該於該無塵室在正常運轉狀態下而在作業開始前及作業終了後 施行並做記錄，但必要時要隨時測試並記錄。(5)該無塵室之專業人員須將測試記錄結果與設計值比較，並檢討現狀是否符合設計條件。2-2-5室溫與相對濕度(1)無塵室內之溫濕度測試之目的為檢查其對製程(PROCESS)之影響與對作業人員之舒適性，並是否與設計條件符合。(2)溫濕度之測定儀器，原則上使用ASSMANN通風式乾濕球溫度計或有相同性能之其他乾濕球溫度計如手搖式(SLING PSYCHROMETER)者。(3)溫濕度之測試應由專業人員施行，並由其人員決定測試之位置與高度。(4)溫濕度之測試應於該無塵室在正常運轉狀態下而在作業開始前及作業終了後 施行並做記錄，但必要時須隨時測試並做記錄。(5)關於無塵室內溫度分佈，須由專業人員根據3-3 (空氣清淨度之測試頻度)之 規定測試與記錄。(6)該無塵室之專業人員須將測試記錄結果與設計值比較並檢討現狀是否符合設 計條件。(7)對溫度變化後敏感之製程，為了感知急激之溫度變化，須裝設自動溫度警報裝置。必要時須在適當之位置裝設警報裝置以便空調系統發生異常情況時可立即發出警報。(8)對濕度特別敏感之製品必須另採取特殊對策。 表2-3空氣清淨度之測試頻度 CLASS 100以下 100以上 測試頻度 每月1次 每3個月1次2-2-6空氣之清淨度(1)無塵室內飄浮在空氣中之微粒子影響製程(PROCESS)甚鉅，故必須按時測試浮游微粒子，濃度以檢查是否符合規定。(2)浮游微粒子濃度之測試儀器應採用光散亂式粒子計數器 或有同等性能之儀器。(3)浮游微粒子濃度測試應由該無塵室之專業人員在規定之位置及高度測試，另者測試對象粒徑也應由該專業人員決定。(4)浮游微粒子濃度測試應遵照FS-209 (無塵室中浮游微粒子測試方法)規定並 依表 3-3之頻度施行並做記錄。 【備註】測試時，其空氣體積總量不管是繼續或斷續，須達到10 3 M 3 ，如可預期粒子個數濃度將超過50010 3個M 3時，在其濃度附近之計數值範圍內可減少測試空氣總體積，但不可低於0.110 3 M 3。(5)該無塵室之專業人員須將測試記錄結果與設計值比較並檢討現狀是否符合條 件。(6)除了定期做浮游微粒子濃度之測試之外，原則上也應一年做一次查漏試驗。另者ULPA、HEPA FILTER更換後或發現空氣清淨度有異常時也應做上述測 試工作。(7)做查漏試驗時應拆除ULPA、HEPA FILTER面上之整流格子(GRILL)後，將 PARTICLE COUNTER (光散亂式粒子計數器)之檢出端(空氣進口嘴管)距離 ULPA HEPA FILTER面吹出口約10 mm下流之位置，由FILTER之一端至另一端以6 cmsec之速度平行移動測試，最少以30 mm之間隔(PITCH)移動 測試做FILTER全面之檢查。2-2-7有害瓦斯、微生物、其他(1)考慮到對作業人員之健度及對製程(PROCESS)之影響，視需要須做有害瓦斯、浮游微生物、放射性元素，必要氧氣濃度等之測試，並檢查其數字是否符合規定。測試對象物質由該無塵室專業人員選定。(2)測試上述對象物質之儀器，參考FS-209等有關規定，並由該無塵室專業人員選定。(3)上述測試之頻度依地方之環境條件、無塵室之運轉條件等而由專業人員決定，並由該人員做測試及記錄。(4)該無塵室之專業人員須將測試記錄、結果與設計值比較並檢討現狀是否符合 條件。2-3無塵室設備之清潔清潔人員之管理與該無塵室內作業人員相同。2-3-1清掃用衣服(1)無塵室作業人員或清掃專業人員要做清掃前須按照3-1-8規定之順序穿用衣鞋。 (a)辦公室等非清淨區域之清掃時一般之外出用衣服或外套、拖鞋或布鞋。(b)有更衣室等次，無塵室之清清時(1)CLASS 100及CLASS 1000之場所。 無塵衣、無塵室專用布鞋、或鞋套及戴帽子。(2) CLASS 1及CLASS 10之場所。 無塵衣、無塵室專用布鞋或鞋套或長統鞋、戴帽子或戴頭罩。(c)無塵室 遵照3-1-8 (無塵室用衣服)之規定。2-3-2無塵室設備之清掃順序(1)無塵室附屬設備之清掃應在作業終了後施行。(2)無塵室內部之清掃應在運轉中施行。(3)清掃工作完成後要等到無塵室之清淨度達到規定後始能停止運轉。2-3-4清潔用工具 無塵室內用之清掃工具為防止再污染，應依各室之清淨度級各使用專用之工具。2-3-5清潔用液體【1】 水(a)普通之自來水含有固體微粒子、有機物、礦物質等故不能用於無塵室之 清潔用。(b)CLASS 1，CLASS 10無塵室之清潔用欲應使用經過孔徑0.2m之薄膜過濾網過濾者。(c) CLASS100，CLASS1000 無塵室之清潔用欲應使用經過孔徑0.8m之薄膜過濾網過濾者。【2】 清潔用水溶液(a) CLASS 1，CLASS 10 無塵室之清潔用水溶液應用10公升容器，以30g(公克)之低殘留性之中性洗劑，配1公升自來水之混合比率靜靜地攪拌後，經過孔徑0.2m之薄膜過濾網過濾者。(b) CLASS 100，CLASS 1000 無塵室之清