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前工程工艺知识讲座 液晶显示器显示原理图 工艺流程 光刻 主要工序投入清洗涂胶曝光显影刻蚀脱膜 玻璃投入 工序作用 位于整条生产线的最前端 负责整片ITO玻璃基板的投入 管控项目 玻璃尺寸倒角方向判断标准 玻璃基板大倒角方向置于传送方向的右上角 清洗 工序作用 将投入生产的玻璃上下表面清洗洁净 为接下来的涂胶作准备管控项目 玻璃表面脏点判断标准 脏点数量 10个 片原因分析 1玻璃表面很脏造成清洗困难 达不到清洗效果 2设备本身长时间未打扫 造成清洗玻璃不干净 涂胶 工序作用 在整片玻璃表面涂布一层厚度均匀的光刻胶膜 管控项目 光刻胶厚度判断标准 t 1 5um 0 5um原因分析 1玻璃基板厚度不一致2涂胶辊不平行 曝光 工序作用 曝光时 玻璃表面未被掩膜版上图形遮挡住部分的光刻胶发生化学反应分解 管控项目 套刻精度 CF 对位精度 ITO 判断标准 3umX1 X2 5mm 50umY 10mm 50um原因分析 1CF玻璃或铬版有异常 造成套刻偏差大 2调整系统参数可以改善对位偏差 显影 工序作用 将发生化学反应的光刻胶清除干净 使玻璃上产生想要得到的胶膜图形 管控项目 图凸图凹短路断路判断标准 参照制程检验标准原因分析 1涂胶时有异物 造成涂胶不良形成图凹或断路 2曝光版或曝光机内部有异物 造成曝光不良形成图凸或短路 刻蚀 工序作用 将未被光刻胶覆盖住的ITO层腐蚀掉 管控项目 短路断路原因分析 刻蚀液浓度异常或喷淋槽的选择不正确 会造成大面积短路或过刻蚀的现象或者断路 脱膜 工序作用 将刻蚀后玻璃表面的光刻胶膜去除 同时将玻璃清洗干净 管控项目 短路断路线间距脱膜后清洗效果判断标准 断路 3个 3um脱膜后清洗无脏点原因分析 1线间距异常会引起显示不良2脱膜后清洗不干净会引起TOP PI涂布不良 形成ITO图案过程 图形检测 PATTERNCHECK 工序作用 对玻璃表面形成的ITO图形用电学原理进行短路测试 同时得到激光修复所需要的数据 管控项目 玻璃基板划伤判断标准 雾灯下检查无明显划伤原因分析 检测时如果探针压力过大 会引起玻璃基板划伤 电测时出现黑线现象 激光修复 LASERREPAIR 工序作用 对所查找到的短路缺陷进行修复 管控项目 激光量判断标准 尽量减少灼烧ITO时产生的粉末修补半反半透产品时不灼伤铝层原因分析 激光量过大 会打坏CF玻璃基板的其它部分 导致电测时出现亮点 成盒段主要工序 PI TOP印刷摩擦SEAL TR印刷喷洒对盒热压 PI TOP印刷工艺 TOP PI印刷原理图 在LCD制造工序中 这是一道最关键的工序之一TOP工序 把刻蚀区与非刻蚀区之间的沟槽填平并把电极覆盖住 这即可以有效地消除非显示状态下的电极底影 还有助于防止静电及改善视角特性 PI工序 在基板的表面上涂覆一层取向层 再通过高温固化处理使取向层固化 为以后在取向层上摩出沟槽做好准备 工序的作用 管控项目印刷位置黑白点膜厚及固含量针孔扩散判断标准 0 1mmTOP膜厚450 100 PI膜厚由PI液固含量决定原因分析1通过调整系统参数可以改善印刷位置2生产环境会引起黑白点3印刷不良会引起针孔4因原材料的不同或异常会引起膜厚不一致或扩散现象 管控项目 判断标准 摩擦工艺 RUBBING的工作原理 流品方向 工序的作用 TOP PICOATING后PITOPITOGLASSRUBBING后PI层被取向 管控项目摩擦角度摩擦痕静电击伤判断标准摩擦角度与制造规格单相符无摩擦痕无静电伤原因分析1摩擦布的使用时间过长2生产环境有变化 管控项目 判断标准 SEAL TR印刷工艺 工序的作用 SEAL作用 贴合上下两张基板 防止液晶外漏或被污染 TR作用 上下电极导通 管控项目胶高胶宽边框印刷位置SEAL和TR网清洗状态金粉 玻璃纤维结团框线均匀性SEAL和TR胶的搅拌时间和方法判断标准粗细不均呈莲藕状不合格胶高h 30um 5um手动对位标记 80umSEAL和TR相连接宽度大于2 3正常边框胶金粉 玻璃纤维无结团原因分析1调整参数设置可以改善印刷及对接位置2重新绞胶或换胶可以改善胶高及胶宽和金粉 玻璃纤维结团的现象 管控项目 判断标准 喷洒工艺 烧杯 喷洒设备示意图 工序的作用 支撑上下基板 保持液晶盒厚均匀 管控项目喷洒密度喷洒结团判断标准喷洒密度与制造规格单相符喷洒无结团原因分析1衬垫料没有充分搅拌好2氮气压力不足3喷头或管路恻壁有沉淀 管控项目 判断标准 对盒工艺 工序的作用 将两张Glass基板对位之后加压形成液晶Cell 管控项目对盒是否旋转对盒歪判断标准对盒是否旋转与制造规格单相符内外组合记号重叠合格 3um 原因分析1调整对盒对位登录系统2光源的亮度3玻璃本身的透过率 管控项目 判断标准 热压工艺 工序的作用 利用加热和加压的方法固化Seal 并保持一定的CellGap 管控项目热压三点压力平衡差异盒厚一致性判断标准三点压力中任意两点的压力值差应 75kgf盒厚一致性与制造规格单相符原因分析三点压力不平衡导致盒厚不一致 管控项目 判断标准 工艺环境对LCD生产的重要性 良好的工艺环境是严格执行工艺规程的必要条件影响工艺环境的重要因素 尘埃 温度 湿度 尘埃对工艺环境的影响 尘埃在清洗时如果玻璃粘上灰尘会形成断路 涂胶及曝光版粘上灰尘会形成短路 在涂PI时如果在涂层上粘附了灰尘会影响产品的取向效果 对盒时被污染会形成内污 总之 尘埃是影响产品品质的重要因素 温度对工艺环境的影响 温度直接影响工艺参数不适当的温度可能造成化学试剂的分解 变质 而使其失效 净化间温度通常保持在22 2 湿度对工艺环境的影响 湿度的影响实际上是空气中水气的影响吸潮 玻璃表面 边框胶 银点胶 定向剂等影响 材料性能 盒的密封性 液晶盒功耗 使用寿命大部分LCD生产工序必须保持低的湿度环境 55 5 LCD后工程工艺讲座 划条断条退火注入终封研磨条洗视测划粒断粒盒洗彩标再排列电测贴片喷码模块或包装 流程图 划条 轮刀 刀线 A B C 划条分为单刀划条和四刀划条管控项目 破损 尺寸不符 台阶现象原因分析 1设备本身因素 操作手法2辅助动力突然不稳定3操作手法及参数确认 工作台 标盒 划条切割标记 断条 断棒 管控项目 破损原因分析 断棒压力过大或者刀线不良 A B 退火 在真空状态下对空盒进行高温加热 将空盒中水分及残留有机溶剂蒸发掉 以免污染液晶 影响产品品质 0 0 5h2 0h 160 注入 电极注入口平板 管控项目 1注入后真空气泡 长时间待制 影响生产进度 2SPACER在注入口处聚集 3未注满原因分析 1真空度不够 或者充气时间短 以及材料因素2注入的速度有影响3工装摆放位置有误 或者液晶不足 终封 管控项目 1色斑 盒厚偏大或者偏小 2渗胶不良 封口白环 原因分析 1终封压力不稳定 时间不足或者过长 2渗胶压力差过大或者过小 注入口处有台阶现象 封口胶被污染 IMPORTANTPOSITION 研磨 彩色产品是封口后整条研磨 单色产品是划粒后单粒进行研磨 研磨前研磨后 倒角处 电极 管控项目 1研磨量不符2薄崩现象 邦定时破损 原因分析 1砂轮或挡销位置移动2砂轮有微小破损或凸起 条洗 条洗是在一定温度的清洗剂和纯水中 利用超声震荡的方式将屏表面残留的液晶及污物清洗干净 管控项目 色斑原因分析 超声功率过大 清洗时间过长 条视测 条视测是前 后工程不良现象的汇总处 是发现 分析各种不良的最佳工位 前工程主要不良 1 内污2 边框不良3 网痕4 PI伤5 TR不良后工程主要不良 1 破损2 台阶3 尺寸不符4 色班5 气泡6 渗胶 划粒 断粒 管控项目 1划反 台阶 切割不良2断粒产生色斑原因分析 1操作失误 数据有偏差 2断棒压力较大 划粒切割标记 盒洗 盒洗的目的主要是将玻璃夹缝中的残留液晶和屏电极表面清洗干净 管控项目 1清洗效果2色斑不良3封口胶脱落原因分析 1对清洗剂的浓度 使用时间和超声功率 时间进行确认 2盒较厚 SPACER移动3长时间或者多次进行清洗产生胶脱落的现象 彩标 彩标的目的是利用不同颜色的组合方式对各种尺寸的产品进行标识 每一种型号的产品都有固定的颜色组合 管控项目 电极破损原因分析 彩标胶皮辊在印彩标时压力过大 使电极难以承受 导致破损产生 再排列 为使液晶分子沿着摩擦沟槽的方向规则排列 需要对屏进行加热 以使液晶达到清亮点温度 并保持一定的时间 管控项目 1向错2电压原因分析 1长时间的高温2实际温度超过规定的温度 电测 对LCD加上电压信号 观察实际显示状态下 产品是否合格正常的过程 即为电测 管控项目 1各种不良形式的区分2限度样本的制作3不良品的报废程序原因分析 1针对不良逐步进行分析 找出不良根源2通过实验 分轻 中 重三种对不良进行论证3对不良品进行多层抽检 尽量减少报废数量 贴片 外观检验 将偏光片按照图纸标示的