企业培训_制程能力及管控重点测试方法培训

MAS制程能力及管控重点测试方法培训教材 编写 QingHongZeng日期 2010 11 30 内容 目前我司各制程的重点制程能力监控项目及测试频率 2 各制程的重点制程能力及监控项目的测试方法 一 测试项目及要求 一 测试项目及要求 一 测试项目及要求 一 测试项目及要求 一 测试项目及要求 二 测试方法 1 涂布升温曲线测量方法1 将不同板厚分为 0 10MM 0 11 0 50MM0 51 0 80MM0 80以上四种板厚 2 测试时将导热线T1 T2 T3 T4分四个点粘附于板面 根据机台设定烤板温度 3 控制范围为80 100 条件下干燥1min并且在80 点四点温差应控制 5 4 测试频率 每月一次 2 内层 次外层 防焊曝光能量均匀性测试方法1 将曝光机切换到手动模式Manual 2 选择 上灯 界面 3 点击 开 关SHUTTER 4 选用能量测试仪盒内感应探头 ZG429 湿膜 ZG197 干膜 5 将探头玻璃面朝上 将玻璃下压到合适高度 关闭门窗 6 点击能量测量仪上的 ZERO 校零 7 当测量仪界面由 ZEROING 变为 SIGNAL 后 点击 INFEGRATE 当界面上出现 HIINTEG 时转动曝光机上 START 开始测量 当数值不再累加时记录数据 8 将探头再换一个位置重复5 7的动作 9 下灯测量方法同上灯 只是探头玻璃朝下 上玻璃不用下压 10 上下灯各平均取25个点 二 测试方法 11 判定标准 min max 100 80 12 异常时开设备请修单给设备调整 13 测试频率 每周一次 二 测试方法 3 内层 次外层 外层 防焊曝光机的对位精度测试方法1 准备四片板厚0 1mmH H的内层光板 钻短边的4颗对位孔 2 前处理和压膜按照正常程序生产 不需做变动 3 架对位精度测试底片 4 对位OK后 放上钢条输入相应的板宽板厚 5 打设备到自动状态 6 将用测试底片做出的4片板子拿到二次元 取坐标原点如下图1所示 量取实心圆的圆心与环的圆心之间的距离 每个测试区域量4个角上的圆心和环心距 二 测试方法 如下图所示 7 判定标准 Average 15UM 8 测试结果不合格 应立刻停止生产 开设备请修单给设备调整 9 测试频率 每半年一次 二 测试方法 4 内层4 目视板子在槽中行走的位置及油墨 或干膜 去除状况 5 开启传动 将dummy板全部取出 与槽子相比较 确认直线的断头处与槽子的相对位置 6 判定标准 显影点 显影断头处长度 显影总长度 100 40 60 7 超出规格 由ME通过调整上下喷压 速度等调整显影点 8 测试频率 每周一次 二 测试方法 5 内层 次外层 外层蚀刻均匀性测试方法1 用2OZ底铜的基板经刷磨后 测量表面铜厚H0 如下图 2 在板上注明 方向及面次 3 将测试板在蚀刻线蚀刻铜厚约20 30UM 测量其残铜厚H1 如下图 二 测试方法 4 计算 a 蚀刻铜量H H0 H1b 计算测试板上下两面蚀刻铜量的平均值 c 计算H的标准差 d 计算蚀刻的COV 5 判定标准 蚀刻的均匀性 1 COV 90 二 测试方法 6 内层 次外层蚀刻因子实验方法1 取生产板做切片 2 记录生产数据上压 bar 下压 bar 速度 M Min 3 切4 4线宽 线距的线50倍放大量测 4 判定标准 线路铜厚 2 下线宽 上线宽 3 5 小于3时需由ME针对上下压力和速度进行调整 6 测试频率 每月一次 二 测试方法 7 冲孔孔径孔位精度校验的方法1 用3张生产板 以板边的四个Target点对位冲孔后 二次元测量要素如下 a 确定板子的中心O 定为坐标原点 b 测量四个方孔的宽度 c 测量四个圆孔的坐标 2 判定标准 a 将3张板子对应的圆孔坐标进行比较 如果最大值与最小值的偏差在 0 0254mm内则圆孔的重复精度ok b 将3张板子方孔的宽度与标准值进行比较 如果最大值与最小值的偏差在 0 0254mm内则方孔模具ok 二 测试方法 8 热压机的温度测试方法1 叠生产板时将两根热电偶线的一端接入铜箔之间 用高温胶带粘好 2 整锅板子叠完后 送进热压机前将两根热电偶线的另一端拖出压仓外 并按照接线的要求 接入的三 四两个端子 3 打开上的 Power 键 接着按 Feed 键 确认三 四两个端子是否显示正常室温 若温度异常 则重新检查接线状况 4 上述全部确认OK后 则按上的 RCD 激活热压程序 会自动记录温度 5 当一锅板子压完后分析自动记录的温度与压机的显示温度是否一致 6 标准 偏差值 3 7 如果结果不在控制范围内 开设备请修单给设备调整 8 频率 每季度一次 二 测试方法 9 压力均匀性测量方法1 选一锅压合好的板子自然冷却到室温 25 以下 2 在BOOK最上镜板的上放感压纸 再放好镜板和牛皮纸 并放上盖板 3 选固定的压机测试程序 根据感压纸的使用说明 在25 下压2MIN 程序名为 TEST PR 4 选定热压程序进行压合 待压合结束后取出感压纸 5 感压纸不合格 开设备请修单给设备调整 6 测试频率 每月一次 二 测试方法 10 MMX精度测试方法1 测试前先对机台进行自动效准 选取X RAY测试板子 2 用正常的生产方式完成作业 四角补偿NC钻定位孔 将打好测试板到二次元测长机 3 测量出所需要的坐标 将测出的坐标进行计算机分析 判定结果 4 标准 孔间距500 00 0 05mm 孔位偏差 25 m 5 校准结果不合格 应立刻停止生产 通知设备部请修 并通知品保部门 追踪过去产品品质 6 校准频率为 每月一次 二 测试方法 11 捞边机精度测试方法1 用四片测试板 尺寸为555 610 打偏移13 46的定位孔 2 调用捞边机 first551 608 的程序 设置好捞边的原点 3 将四片板子分别放入四个台面进行修边 注意使用新铣刀 4 修好边后的测试板用砂纸打磨好 用钢尺测A1 A2 A3 A4 B1 B2 B3的距离 如下图 5 判定标准 偏差值 1mm 二 测试方法 12 薄铜蚀刻均匀性测量方法1 取12um铜厚的板子 测量25点铜厚 以蚀刻6um的线速生产 2 生产后再测量25点铜厚 3 判定标准 max min 1um 4 超出标准 由ME调整后重新再做一次 5 测试频率 每周一次 二 测试方法 13 钻孔机精度测试方法 48孔测试法检查 1 精度测试板一片一叠 上好PIN放到机台上 2 把F6画面自动测高关闭 F5画面后补零改为前补零 DIAM改为NUMBER 3 将F2画面保存 清零在 n 任意位置输入 1 再输入相对应指令 T1C1 41 4 然后根据板子的状况给相应的补偿 注意每台机的补偿是不一样的 比如DR01补偿为X 100 0 Y 115 0 DR07的补偿就为X 95 0 Y 120 以此类推 每做一台机 X补偿就相应减去5 0 即两孔之间的距离 二 测试方法 5 输入TIL T 1 抓针空转 调出精度测试程序 BSP DUAL AOKUTEI 48 6 空跑保存程序后 按START开始即可 7 精度测试做完后注意确认修改的部分是否都已改回原来设置 8 把精度测试板送到二次元量测 对比理论值与实测值差异 进行数据分析 9 判段标准 XY轴 max 50um 同时控制CPK 1 67 CPK 1 67时 10 开设备请修单给设备调整轴间距 11 测试频率 两周一次 二 测试方法 14 钻孔机RunOut测试方法1 将标准Pin 有倒角的 一侧插入SP内 2 选择一个轴 改F4中Park位置为NO 1595 0323 7NO 2595 0123 7NO 3595 0323 7F8 733S0 13 接Park 使PIN在测试仪孔的正上方4 输入JI Z 35 检查PIN是否在测试仪孔的正上方5 输入JI Z 136 SP转速由3万转 分 16万 分 测其值7 判定标准 孔径为 0 11 0 3 偏心值 20um为正常 孔径为 0 35以上的 偏心值 29um为正常 二 测试方法 15 水平电镀均匀性测试方法1 取两片板厚大于0 7mm长 宽610 530MM的基板经刷磨后 用铜厚仪测量表面35个点铜厚 测量位置距板边2cm 距夹头边3cm 见下图 记下数据为H02 用镀铜厚度大于25um小于35um的程序进行电镀 3 用铜厚测量仪每面测量35个点 测量位置距板边2 5cm 距夹头边3cm 见下图 二 测试方法 4 计算方式 A 先计算镀铜 测量数据 H0 的平均值 B 计算测试数据的标准差 C 计算镀铜COV 5 判定标准 镀铜均匀性 1 COV 90 二 测试方法 16 Daisychain测试方法1 取两片daiaychain测试板用外层镀18um程序生产 2 做出daisychain测试链图形后用万用表测量电阻值并记录在测试报告 3 用信赖性测试曲线走3遍IR炉 4 用万用表测量电阻值并记录 如有阻值变化率 10 须作切片分析 5 判段标准 不可有电镀不良 阻值变化率 10 6 电镀不良 通知制程ME进行改善 改善后 重新制作DaisyChain确认改善效果 7 测试频率 每周一次 二 测试方法 17 电镀延展性测试方法1 用不锈钢板走电镀铜缸电镀50 100um 2 将电镀铜箔剥离后委托供应商分析 3 判定标准 延展性 15 抗拉强度 20 40KN M2 4 电镀不良 通知制程ME进行改善 改善后 重新制作确认改善效果 5 测试频率 每季度一次 二 测试方法 18 电镀深镀能力测试方法1 选取纵横比约为6 1的板2片 2 走水平电镀全线 用厚板镀18um程式电镀 3 按下图 一 位置打切片 4 按下图 二 测量切片A B C D E F电镀铜厚 5 深镀能力的计算 深镀能力 average E F Average A B C D 6 判定标准 水平电镀深镀能力 105 二 测试方法 19 外层曝光能量均匀性测试方法1 将曝光机切换到手动模式Manual 2 选择 上灯 界面 3 点击 开 关SHUTTER 4 选用能量测试仪盒内感应探头 ZG429 湿膜 ZG197 干膜 5 将探头贴到底片框上 将玻璃下压到合适高度 关闭门窗 6 点击能量测量仪上的 ZERO 校零 7 当测量仪界面由 ZEROING 变为 SIGNAL 后 点击 INFEGRATE 当界面上出现 HIINTEG 时转动曝光机上 START 开始测量 当数值不再累加时记录数据 8 将探头再换一个位置重复5 7的动作 二 测试方法 9 下灯测量方法同上灯 10 上下灯各平均取25个点 11 判定标准 min max 100 85 12 异常时开设备请修单给设备调整 13 测试频率 每周一次 二 测试方法 20 外层蚀刻因子实验方法1 取生产板做切片 2 记录生产数据上压 bar 下压 bar 速度 M Min 药液分析记录 3 切4 4线宽 线距的线50倍放大量测 4 判定标准 线路铜厚 2 下线宽 上线宽 2 5 小于2时需由ME针对上下压力和速度进行调整 6 测试频率 每月测一次 二 测试方法 21 二铜线镀铜均匀性测试使用610 530MM的标准测试板经刷磨后 用铜厚仪测量表面铜厚 记下数据为H0 2 将制板挂上飞巴 制板两边距挂架1 1 5英寸 中间有空余时用铜条填补 保证板与板间间距小于5MM 3 使用1 6ASD 90MIN的电流参数 对测试板进行镀铜 做测试中要保证摇摆 打气 振动全开 4 测量方法 每片板每面测试35个点 具体如下图所示 二 测试方法 5 计算方式 A 先计算镀铜 测量数据 H0 的平均值 B 计算测试数据的标准差 C 计算镀铜COV 6 判定标准 镀铜均匀性 1 COV 90 二 测试方法 22 垂直电镀深镀能力测量方法用最小钻孔孔径为0 25MM 板厚为1 6MM 纵横比约为6 1 的测2 试板3WPNL 经水平沉铜并镀铜4 6um 3 将测试板挂入垂直电镀线 左中右各1片 用1 7ASD电镀铜80分钟 4 按下图 一 位置打切片 5 按下图 二 对切片A B C D E F读电镀铜厚 6 深镀能力的计算 深镀能力 average E F Average A B C D 7 判定标准 垂直电镀深镀能力 80 二 测试方法 22 防焊预烤升温曲线测量方法 1 取一片光板 2 测试时将导热线T1 T2 T3 T4 T5 T6均匀分布在板面 探头不可接触板面 根据机台设定烤板温度 3 控制范围 预烤温度升温过程从室温至78 升温时间5 7min 78 2 条件下烘烤40 5min 降温78 至室温5 7min 总烘烤时间为50 5min 4 不合格不可生产 并由设备调整 5 测试频率 每月一次 二 测试方法 23 防焊后烤升温曲线测量方法1 取一片光板 2 测试时将导热线T1 T2 T3 T4 T5 T6均匀分布在板面 探头不可接触板面 根据机台设定烤板温度 3 控制范围 后烤温度升温过程从室温至150 升温时