企业培训_track安装调试培训资料

TRACK安装调试培训资料张先锋2014 08 06 创新进取正道经营追求卓越 创新进取正道经营追求卓越 培训内容 一 CLEANER安装调试二 SB HB DB安装调试三 DEVELOPER安装调试 创新进取正道经营追求卓越 TRACK线平面图 流片方向 流片方向 流片方向 创新进取正道经营追求卓越 所有设备SETUP完成之后 我们开始进入TRACK线 各个单元并不是按照流片的先后顺序来调试的 很多时候是几个单元同时作业 而为了培训的方便 我们还是按照流片的顺序依次讲解各个单元 从整条TRACK线来说 分为INDEXER CLEANER DB LC SB INTERFACE EXP TITLER DEVELOPER HB以及AOI 共11个单元 我们需要调试的是其中的5个单元 CLEANER DB SB DEVELOPER及HB 本次调试的设备是B5TRACK9号线 名称 SK 2200G 编号 750G25076A 创新进取正道经营追求卓越 CLEANER单元包括 入口CV 过渡CV UV前CV UV UV属于其他厂商调试 RB AAJET A K NEUTRALCV以及出口CV 确认所有供给阀门处于关闭状态 确认所有控制柜处于OFF状态 开始投入电源 与DNS及客户 盖板类 AAJET 追加roller等拆除 将入口CV和出口CV的整列关闭 中间各个UNITGuideroller调到最外侧 1 CLEANER调试前准备 2 川幅调整 初调 一 CLEANER安装调整 1 2 3 1 创新进取正道经营追求卓越 调整入口CV操作侧第一个Guideroller 使其到侧板内侧距离为50mm 调整出口CV操作侧最后一个Guideroller 使其到侧板内侧距离为20mm 这两个距离为经验值 视实际情况而定 用这两个Guideroller拉线作为基准线 再调整操作侧所有Guideroller 操作侧Guideroller与基准线距离为0mm 反操作侧的基准线做法与操作侧相同 反操作侧Guideroller与基准线距离分为两种 a 整列roller与基准线距离为0 5mm b 单个Guideroller基准线距离为2mm 所用基板为2500mm 2200mm 0 5mm此时的川幅调整是初调 目的是传片 为DB LC SB INTERFACE 注意 2 创新进取正道经营追求卓越 以及HBrobotTeaching做准备 最终的川幅调整以COATER基台为基准 LCrobotTeaching完成后 Teaching基准为COATER基台 用robot将基板放入出口CV中 以此基板的两侧边为基准 首先调好两侧整列roller 再由两侧整列roller为基准拉线 最后调整CLEANER所有Guideroller 具体调整做法与川幅调整 初调 的相同 再将Guideroller顶部到基板上表面的距离调整至4mm 3 川幅调整 终调 创新进取正道经营追求卓越 出口CV终调 川幅调整基准线 创新进取正道经营追求卓越 用随机携带的扳手将CLEANER所有搬送roller拧紧 4 搬送ROLLER拧紧确认 创新进取正道经营追求卓越 在Sensor旁边的搬送roller上放置一块厚度为2mm的PVC板 放一直尺于板上 扫动直尺 调整Sensor固定螺丝直到直尺稍微低于Sensor后锁紧螺丝 Sensor的高度允许误差为 0 0 5 Sensor敏感度为小于0 5 时ON状态 5 10 时OFF状态 5 摇摆SENSOR调整 创新进取正道经营追求卓越 将操作侧及反操作侧所有固定螺钉拧紧 CLEANER除了入口CV与出口CV有立替部 其他unit都处于倾斜状态 整体平面度需要调整 a 粗调 将两块基板分别放入贴合的两个unit中 观察两块基板的高度差 然后调节unit四个角的双头螺栓 使得两基板趋于同一平面 b 细调 将一块基板置于两个unit交界处 调节C roller 方法同A K调整中的C roller调整 6 侧板固定螺钉拧紧 7 上下流平面度调整 创新进取正道经营追求卓越 用张力计依次将同步带的张力调整到标准值 标准值参照 各部分标准张力表 具体做法 首先用张力计测量同步带当前张力 再与标准值比较 最后用扳手调节涨紧轮的松紧状态 使得同步带的张力在标准范围内 8 同步带张力调整 创新进取正道经营追求卓越 将先前拆下来的追加roller重新安装上 然后用0 2mm的塞尺测量上下搬送roller间的距离 允许误差为 0 1mm 在搬送roller旋转过程中 目测滚轴与中心固定架圆孔的同轴情况 如有偏离 调节固定架高度 确认ManualSW动作是否正常 确认整列气缸动作是否流畅 有无异常声音 调整整列气缸开闭速度 开闭时间相同 2 0 0 3s 9 追加ROLLER安装与调整 10 搬送ROLLER中心变化确认 11 入口CV调整 2 1 3 创新进取正道经营追求卓越 调整立替部气缸升降速度 升降时间相同 5 0 0 3s 确认基板缺口Sensor高度 5 0 1 0mm 确认基板检查Sensor高度 10 0 1 0mm 确认ManualSW动作是否正常 确认基板检查Sensor高度 10 0 1 0mm 确认ManualSW动作是否正常 确认基板检查Sensor高度 10 0 1 0mm 12 过渡CV调整 13 UV前CV调整 6 5 4 2 1 1 2 创新进取正道经营追求卓越 UV属于其他厂商调试 我们只需要调整Guideroller即可 共四个RB 分为前后两组 GOT面板上标记为 前上 前下 后上及后下 根据B5的工艺要求 前上RB及后上RB不需要安装 首先安装前下RB和后下RB 前下RB原点复位 用直尺测量操作侧和反操作侧的前下RB到基板的距离 在GOT面板上调整RB的升降 直到所测距离为2mm 允许误差控制在0 5mm内 14 UV调整 15 RB安装与TEACHING 1 2 创新进取正道经营追求卓越 前下RB安装 RB电机Sensor 创新进取正道经营追求卓越 RBTeachingGOT面板 创新进取正道经营追求卓越 RBTeachingGOT操作 创新进取正道经营追求卓越 后下RB原点复位方法同前下RB 调整四个RB电机Sensor 每个RB电机操作侧与反操作侧分别有3个Sensor 最外侧为原点复位Sensor 中间为退避Sensor 最内侧为压入Sensor a 原点复位Sensor挡片为带圆孔的长方形薄片 调整时将圆孔对准Sensor中间 Sensor指示灯处于常亮状态 b 退避Sensor挡片为长方形 调整挡片使其到Sensor中间距离为8mm 允许误差控制在0 3mm内 Sensor指示灯处于常亮状态 c 压入Sensor挡片为 C 形 调整挡片使其下侧到Sensor中间距离为 4 3 创新进取正道经营追求卓越 4mm 允许误差控制在0 3mm内 Sensor指示灯处于常亮状态 将所有Cover装上 检查各阀门 将进液阀门打开 排液阀门关闭 投入纯水 检查Tank Filter以及各管路是否有漏水 调整直接水洗TankSensor位置 RB侧下限 370mm处 46L RB侧定量 135mm处 112L RB侧过多 118mm处 115L 循环侧下限 370mm处 46L 循环侧定量 110mm处 120L 循环侧瀑布 90mm处 126L Tank中装水放置8h以上 检查有无漏水 16 纯水投入 4 3 2 1 创新进取正道经营追求卓越 纯水投入Tank及管路检查 创新进取正道经营追求卓越 安装风切 调整风切 用直尺测量其到基板的距离为10 0 1 0mm 安装中间部液切 上 下液刀到基板上下表面的距离相同 10 0 1 0mm 安装出口液切 用直尺测量其到基板的距离10 0 1 0mm 安装二流体 用直尺测量其到基板上表面的距离为5 0 0 5mm 17 风切 液切及二流体安装与调整 1 4 3 2 创新进取正道经营追求卓越 先将filter顶部排气管拆下 使用专用扳手将上盖打开 装入滤芯后将拆除件重新安装 锁紧 18 FILTER滤芯安装 创新进取正道经营追求卓越 将所有Nozzle接管取下 供给阀门打开 所有Nozzle接管取下目的 防止Tank或管路里的particle堵塞Nozzle 打开各个Filter回流阀门 将空气排尽后关闭阀门 检查常压泵和高压泵的旋向是否与泵体标示一致 4 在GOT面板上查看各部分流量显示 调整手动阀门 使得GOT面板显示的流量达到标准值 a RBrinse的所有Nozzle压力0 1MPa 注意 19 流量调整 1 3 2 4 创新进取正道经营追求卓越 手动阀门调整 流量显示 创新进取正道经营追求卓越 GOT面板各部分当前流量显示 创新进取正道经营追求卓越 b 两端液切流量69L min c 二流体气体流量3208L min d 二流体高压液体压力55MPa 二流体高压液体压力的调整需要同时调节两个手动阀 一个是回流到Tank中的BYPASS 另一个是通向二流体的高压水管上的阀门 将A K安装处开口部上 下不锈钢挡板分别调至最上端和最下端 目的是将开口部间距调至最大 首先将上 下风刀的调整块安装好 再将上 下风刀装上 锁紧 20 A K安装与调整 2 1 创新进取正道经营追求卓越 螺丝 从操作侧到反操作侧均匀测量5个点的上下风刀间距 调节调整块 使得上下风刀间距为3 9mm 4 15mm 其中中间一点为3 9mm 其他为4 0mm 4 15mm 用两个直尺测量上下风刀折线处到开口部直板的间距 测量5个点 两侧两个点 中间三个调整块三个点 比较数据分析上下风刀错位情况 对比两侧两个点的数据 选取合适的基准值 最后将五个点的间距都调整成基准值 先用整张基板调整最两侧的两个C roller 使基板上表面到风刀下表面距离为1 7mm 如果通过调整这两个C roller无法达到1 7mm 则需 4 3 5 创新进取正道经营追求卓越 要将上下风刀整体升降 剩余C roller的调整 从反操作侧第二个C roller开始调整 一个接一个交错调整 若其中一个C roller调整完毕后 发现临近的搬送roller偏高或偏低 还需要调整辊轴支架 将整张基板中心置于开口部 测量基板上表面到开口部顶端的距离 均匀分布的三个点 测量基板下表面到开口部底端的距离 均匀分布的三个点 测量基板两侧面到开口部两侧面的距离 总共测量8个点 21 所有开口部尺寸确认 7 6 创新进取正道经营追求卓越 上下风刀错位测量 C roller调整 创新进取正道经营追求卓越 辊轴支架调整 C roller调整 创新进取正道经营追求卓越 在GOT面板上打开阀门 打开A K手动阀 流量调至2500L min 打开排气阀门 流量调至120L min 打开控制箱中的FFU开关 确认FFU风扇旋转方向与标记方向是否一致 从入口CV开始依次用转速计测量各unit搬送roller的转速 对照 22 A K流量调整 23 FFU确认 2 1 3 2 1 24 CLEANER各UNIT转速调整 创新进取正道经营追求卓越 标准转速表 在GOT面板上调节转速比 直到搬送roller达到标准值 安装电离器 调整电离器到基板上表面的距离 100 5mm 调整净化空气压力 0 2MPa 确认ManualSW动作是否正常 确认基板检查Sensor高度 10 0 1 0mm 26 NEUTRALCV调整 25 电离器安装与调整 3 2 1 2 1 创新进取正道经营追求卓越 Cleaner搬送roller转速调整GOT操作 创新进取正道经营追求卓越 确认ManualSW动作是否正常 确认整列气缸动作是否流畅 有无异常声音 调整整列气缸开闭速度 流向方向和幅度方向的开闭时间相同 2 0 0 3s 调整减速Sensor与停止Sensor的距离 120mm 调整停止缓冲块的位置 基板在到达停止Sensor后停止 将缓冲块轻轻接触到基板 轻微抬起基板 基板与缓冲块没有碰刮 调整立替部气缸升降速度 升降时间相同 5 0 0 3s 确认基板检查Sensor 柱状 到基板两侧边缘距离 5 0 1 0mm 到 3 2 4 5 6 7 1 27 出口CV调整 创新进取正道经营追求卓越 基板下表面的高度 10 0 1 0mm 在调试过程中 设备不可避免地会发生警报 当警报发生时 首先在GOT面板上查看警报的位置及详细信息 然后到对应的位置进行排查和确认 28 警报的确认与解除 创新进取正道经营追求卓越 SB单元包括 ROBOT HP CP 入口CV以及BUFFER HB单元包括 ROBOT HP BUFFER IMC TURNTABLE以及出口CV DB单元包括 HAP CP BUFFER以及ROBOT SB HB以及DB功能大致相同 HP CP ROBOT等都是相同的设备 HP与HAP也只是细微差别 所以这三个单元调试过程也大致相似 这里主要讲解SB单元的调试 而对于HB单元和DB单元 只对与SB单元不同的部分进行讲解 二 SB HB DB安装调试 创新进取正道经营追求卓越 1 ROBOT手臂安装 用T5扳手将上下hand安装到robot本体上 注意区分上下hand 连接气管时防止折弯 为了节省ABS原点复位的时间 首先需要操作手柄将robot各部分移动到原点附近 包括Z轴 TH角等 然后再进行原点复位 原点复位完成以后 关闭伺服电源后再重启以完成数据保存 2 ABS原点复位 一 SB安装调试 创新进取正道经营追求卓越 3 HANDLEVELING 将上hand 下hand 推进CP3中 CP3高度适中 便于测量 用直尺和L形尺测量4根Folk的8个点到CP3底板距离 如图所示 记录数据 参照评判标准 如果超出标准 在folk根部添减sim sim按厚度分为 0 05mm 0 1mm 0 2mm及0 3mm 使得测量数据符合要求 创新进取正道经营追求卓越 评判基准 上手臂 1 0mm下手臂 1 0mm A 5 0 5mm B 5 0 5mm C 5 0 5mm 5 0 5mm Folk到CP3底板距离测量 创新进取正道经营追求卓越 4 直径度调整 推动arm用L形尺测量如图a b位置的尺寸 松开hand固定螺丝 调整hand位置 使得 a b 0 5mm 锁紧固定螺丝 创新进取正道经营追求卓越 5 FOLK与手掌垂直度调整 推动arm用卷尺测量靠近Z轴的folk前后两端到Z2轴的距离 松开folk固定螺丝 调整folk使得前后距离相等 锁紧螺丝 创新进取正道经营追求卓越 6 FOLK间距调整 用卷尺测量folk之间的距离 松开第2 3 4根folk固定螺丝 依次调整这三根folk 如图所示 使得他们之间的距离达到标准值后锁紧螺丝 标准 a 535 0 5mm b 580 0 5mm Total 1650 1mm 创新进取正道经营追求卓越 7 ROBOT位置DATA设定 参照data设定表上的各POS参数 在robot操作手柄上一一设定 8 ROBOTHAND基板检测SENSOR感应度调整 任意取一小块玻璃基板 依次放置在folk5个sensor上方 观察hand后侧方sensor显示器的数值 无基板时数值为0 有基板时数值为1000左右 确定中间值500为sensor感知基板的标准值 将500输入sensor显示器中 创新进取正道经营追求卓越 hand后侧方sensor显示器 创新进取正道经营追求卓越 9 ROBOT控制柜通信设定 设定按钮是位于控制柜后侧的三个红色圆柱形按钮 按钮上方对应有标示 需要将BaudRate按钮调为1 Station10 按钮调为6 No 按钮调为1 创新进取正道经营追求卓越 10 HP顶部出口CVTEACHING 上handTeaching 先用robot将整张基板放入HP上方的出口CV中 以靠近操作侧和反操作侧的两排搬送roller为基准 轻轻拖动基板 使得基板两侧分别到上述两排搬送roller的距离相等 将上hand伸进基板下方 处于MID位置 拖动基板使其置于folk前后挡块之间 在后续的调整中 将前后挡块调至离基板边缘2mm处 用油性笔在基板上离边缘274mm处画直线 且尽量靠近第一和第四根folk前后4个PIN 测量这四个PIN到所画直线的距离 估算robot需要旋转的TH角度 一般经验 1 0 016 TH 上handlowerhome 操作手柄旋转指定角度 1 2 创新进取正道经营追求卓越 再将上hand伸进基板下方 处于MID位置 同样方法继续测量 反复调整 直到PIN处于所画直线的 0 5mm范围内 离边缘274mm处画线 创新进取正道经营追求卓越 调整高度Z 分别测量上hand在TOP位置和BTM位置相应的高度 测量位置如图所示 比较所测高度与基准值 在操作手柄上更改Z值 直到所测高 3 上handTOP位置测量点 上handBTM位置测量点 创新进取正道经营追求卓越 度在允许范围内 并记下数据 调整前后挡块 使其到基板边缘的距离为2mm 如果单靠调整前后挡块 达不到要求的位置 则需测量前后挡块到基板边缘的距离 计算差值 在操作手柄上将X1值加减差值的一半 4 注意 11 HP顶部CV整列调整 以前面Teaching基板为基准 首先调好两侧整列roller 手动转动辊轴推动基板后退 调整沿途的Guideroller 一直调节到DP顶部CV 再将Guideroller顶部到基板上表面的距离调整至4mm 具体方法见第一章第3项 各CV上下流平面度调整见第一章第7项 创新进取正道经营追求卓越 12 CP3TEACHING CP1 CP2Teaching与CP3完全相同 所以这里只介绍CP3Teaching 用上hand将buffer上的基板取出 先前预存在buffer中 测量第一和四根folk到基板边缘距离274mm 在基板上用 标记第一和四根folk前后各两个PIN的位置 目的是防止在Teaching过程中由于基板的移动而造成重复标记 1 2 手柄操作 checkmotion界面 motion下拉菜单选择put 放片put 取片get station输入12 slot默认为1 选择checkstart 按住Enter 抽出CP3chamber 测量基板边缘到chamber四个拐角处PIN的x y方向的距离 分析计算所测数据 相应调整TH X1 直到四个PIN到基板边缘的 3 创新进取正道经营追求卓越 CP3Teaching x方向距离一致 y方向距离一致 保存 创新进取正道经营追求卓越 CP3Teaching手柄画面 创新进取正道经营追求卓越 调整高度Z 分别测量上hand在TOP位置和BTM位置相应的高度 测量位置如图所示 比较所测高度与基准值 在操作手柄上更改Z值 直到所测高度在允许范围内 并记下数据 4 上handTOP位置测量点 上handBTM位置测量点 创新进取正道经营追求卓越 13 HP4TEACHING HP4Teaching与CP3Teaching大致相同 唯一不同的是基准值 HP1 HP2 HP3Teaching与HP4相同 这里不做重复介绍 上handTOP位置测量点 创新进取正道经营追求卓越 14 BF1 BF14TEACHING Buffer共14层 slot设置时注意区分1 14 Teaching步骤同CP3 首先Teachingslot1 然后Teachingslot14 slot2 slot13不需要Teaching 只要将基板放进去确认间隙即可 Teachingslot14时 只用调整Z值 1 2 上handBTM位置测量点 注意 创新进取正道经营追求卓越 15 HPLIFTPIN调整 Manual动作确认 Heater端子增紧 Liftpin调整 HP共有四层 Liftpin调整时逐一打开chamber 一人在chamber腔内用L形尺 此时PIN处于上位置 在下位置时则用游标卡尺 测量PIN高度 另一人在chamber下方调整PIN固定螺丝的松紧 PIN分为上位置和下位置 PIN由外圈到内圈的标准高度也不一样 a 上位置 82 5 0 5mm 下位置 2 5 0 5mmmmb 上位置 80 0 5mm 下位置 2 5 0 5mmmmc 上位置 77 5 0 5mm 下位置 2 5 0 5mmmm 1 2 3 创新进取正道经营追求卓越 4 上overrunsensor在PIN的上位置增加7mm 下overrunsensor在PIN的下位置增加7mm 上机械stopper与上overrunsensor位置增加3mm 下机械stopper与下overrunsensor位置减少3mm 创新进取正道经营追求卓越 HPLiftpin高度分布图 HP3Liftpin上位置高度测量 创新进取正道经营追求卓越 16 HP3CHAMBER调整 chamber拉出sensor位置调整 chamber盖板上下动作速度调整 chamber盖板上下动作是由气缸控制 总共8个气缸 用秒表测量上升和下降的时间 调节气缸手柄来缩短或延长气缸伸缩的时间 上升和下降的标准时间相同 2 0 3s chamber盖板上下位置sensor调整 chamber盖板抽出sensor位置调整 确认chamber盖板在动作时的平稳度 有无异常声音 确认chamber间隙 一般目测 HP1 HP2 HP4chamber调整方法与HP3相同 1 2 5 4 3 6 创新进取正道经营追求卓越 chamber盖板上下动作感应sensor chamber拉出感应Sensor 创新进取正道经营追求卓越 17 HP3SHUTTER调整 shutter气缸固定螺丝拧紧 shutter密封圈增紧确认 shutter开关sensor调整 将sensor放置在常亮范围的中间位置 shutter开关速度调整 shutter开关是由气缸控制 用秒表测量开启和关闭的时间 调节气缸手柄来缩短或延长气缸伸缩的时间 开启和关闭的标准时间相同 2 0 3s 确认shutter在动作时的平稳度 有无异常声音 确认shutter关闭时的间隙 一般目测 HP1 HP2 HP4shutter调整方法与HP3相同 1 2 3 4 5 6 创新进取正道经营追求卓越 18 HP排气调整 每一个chamber都有主排和BYPASS 当shutter关闭时 向chamber里吹热风 BYPASS开启 主排关闭 当shutter打开后 BYPASS关闭 主排打开 调整时 参照标准参数表 调整BYPASS和主排的阀门大小 19 HPCHAMBER温度设定 Plate温度设定为110 热风温度设定为130 将HP1 HP4的breaker依次打开 确认与GOT画面是否一致 创新进取正道经营追求卓越 20 CPLIFTPIN调整 CPLiftpin调整方法与HP相同 区别 CP共有三层 PIN的标准高度也不同 a 上位置 84 0 5mm 下位置 2 0 0 5mmmmb 上位置 81 5 0 5mm 下位置 4 5 0 5mmmmc 上位置 79 0 5mm 下位置 4 5 0 5mmmm 创新进取正道经营追求卓越 CPLiftpin高度分布图 创新进取正道经营追求卓越 21 CP冷却水投入 检查各个chamber进出水管是否接错 检查所有接头有无漏水 检查进水和出水是否正常 检查漏液sensor是否正常 冷却水温度设定为22 4 1 2 创新进取正道经营追求卓越 二 DB安装调试 DB单元与SB单元基本相同 这里只介绍与SB单元不同的地方 HAPchamber温度设定 Plate温度设定为120 3 基板在HAPchamber中进行涂胶前的预处理 氮气泵将HMDS打进chamber中 HMDS呈雾状喷到基板上 这样有利于涂胶 1 2 创新进取正道经营追求卓越 三 HB安装调试 HB单元的HP与SB单元的相同 这里主要关注HB单元的IMC及TurnTable IMCPIN调整 标准高度为90mm 基板感知sensor调整 基板下表面到sensor距离为10mm 1 2 1 IMC调整 2 TURNTABLE调整 TurnTablePIN调整 标准高度为85mm 回转sensor位置调整 0 和90 位置sensor调节在感知范围的中间位置 1 2 创新进取正道经营追求卓越 TurnTable升降速度调整 上升速度为4 0 0 5s 下降速度为4 0 0 5s TurnTable升降sensor位置调整 将上升和下降sensor调节在感知范围的中间位置 3 4 3 HBROBOTTEACHING基准 ROBOTTeaching基准为DEV出口CV 创新进取正道经营追求卓越 三 DEVELOPER安装调整 Developer单元与Cleaner单元设备与调试方法基本相同 下面只列出与Cleaner单元不同的地方 2 显影