板面镀铜作业规范(WI-ENG-014-A1).doc

华扬电子有限公司HUAYANGELECTRONICS CO.,LTD 文 件 状 态 受控文件 机密文件识别章文件名称: 板面镀铜作业规范文件编号: WI-ENG-014版本: A1核 准：制 定：缪根生效日期：2005/11/30发行日期：2005/11/30文 件 更 改 覆 历 性 质 及 项 号 本文件共7页 修订更改性质及项号制订人生效日期1整体内容修改缪根2005/11/30审 批：“V”代表指定部门会签，“Y”代表指定部门传阅。 审 批 部 门会签分发部门总经理办V生产部V1工程部V1品管部V1计划部销售部 采购部 财务部行政人事1.0 目的 为使生产操作、维护、保养规范，特制定该操作指示。2.0 适用范围：本操作指示只适用板电工序生产操作及保养维护。3.0 职责： 3.1 生产部负责工作指引的实施并做好一切质量记录； 3.2 工程部负责工作指引的编制、解释、修改和监督生产按本指示进行操作； 3.3 维修部负责设备的维修与定期维护； 3.4 QA保证品质,并监督生产按本指示进行操作。4.0 流程 工艺流程 ： 板面镀铜拉：程序1 上板酸洗镀铜二级水洗下板退夹具二级水洗上板程序2 上板除油二级水洗酸洗镀铜二级水洗下板退夹具二级水洗上板 5.0 操作程序5.1 设备操作： 5.1.1将开关打至“手动”，打开电柜电源5.1.2根据镀铜时间选择合适的行车程序不用除油工艺1 程1程1镀20分钟，飞把最多五对。2 程2 程2镀35分钟，飞把最多四对。3 程3程3镀65分钟，飞把最多四对。用除油工艺1 程1程1镀20分钟，飞把最多六对。2 程2程2镀35分钟，飞把最多四对。3 程3程3镀65分钟，飞把最多四对。 5.1.3 在人机介面打开周边控制，依次开启各缸循泵、冷水阀、抽气、喷水、打气、温度控制开关，并根据工艺要求设定温度。 5.1.4手动运行1打开控制屏画面按下“启动”此时“启动”应变红。2手动运行时选择“上升”“下降”“前进”“后退”开关，按下对应开关时天车将执行对应开关的命令，开关弹起时将停止。5.1.5半自动运行1按下“半自动” 此时“半自动”应变红。 2选择“上升”“下降”“前进”“后退” 开关，按下对应开关天车将半自动运行，此时开关弹起时天车将到位时自动停止。5.1.6自动运行A 飞棒位置是否于画面显示一至，如不一至请用“S或R中间的数改到对应的槽位后再按下“S”或“R” ，等飞棒显示变化时才认可。B 天车升降应在下限。C程序是否选正确，除油槽是否选用。D铜槽是否选正确。H查看一下是装料还是剥挂。J .开机打自动建议飞把放在15槽和910槽，按下装料。 以上各部都正确无误方可打自动。5.1.7 根据MI资料人工算出所需要的电流 每块板的电流（A）=S（面积）DK（电流密度） 5.1.8 打电流 根据算出每块板的电流数，乘以每飞巴的块数，得出结果手动打电流 6.0工艺控制6.1工艺参数缸名药水成份药水范围控制点化验频率温控范围温控点更换标准备注除油AC-124%-8%5%1次/天25-353015天/酸洗H2SO4(CP)9-11%10%2次/周室温室温15天/镀铜缸CuSO4 5H2O60-90g/L75g/l2次/周20-28253个月一次清洗钛篮铜球; 4-6个月一次碳处理均匀打气H2SO490-110 ml/L100ml/lCL30-70mg/l50mg/lCB-3222-5ml/l3.0ml/l2次/周退夹具HNO3(工业级)30-70%50%/室温室温1次/6月/6.2 开缸步骤: 6.2.1 板电拉:缸名缸体积药 品 名 称控制范围使用量开 缸 顺 序除油800LAC-124-8%40L加水于缸体积1/2,加入AC-12除油剂40L,补足液位.酸洗800LH2SO49-11%300kg加入2/3DI水，加入H2SO4300kg(50%),加入DI水至工作水位。镀铜缸2500LH2SO490-110ml/L920kg(50%)1、 加入2/3体积的DI水,并开始打气;2、 缓慢加入所需量H2SO4 ;3、 加入所需量CuSO4,并补加DI水至标准液位,并开启循环泵;4、 加入所需量1/2的铜光剂和足量的HCl;5、 待温度降至2429内,分别以510ASF假镀8H以上;6、 分析调整槽液成分.CB-3222-5%7.5LCuSO45H2O60-90g/L188kgCl-30-70ppm300ml退夹具800LHNO3(工业级)30-70%200L加入一半槽体的DI水，加入HNO3约200L，加入DI水至工作水位注: 1.将浸泡好的铜球装入钛篮,每个钛篮约需8kg铜球,并将钛篮袋套上,绑好; 2.将钛篮放入铜缸中,挂在阳极杆上,按3、4、4、4、3方式排列均匀.如图示: 3个钛蓝 4个 4个 4个 3个 3.打开冷水阀,(开启冷水阀方法同打气)6.3 工艺维护: 6.3.1 药水维护和保养:6.3.1.1每天检查HNO3缸退夹具效果,视效果添加12桶HNO3; 6.3.1.2 1整板电镀拉每周检查并添加二次铜球,铜球须进行前处理,加铜球前先用铁棍将钛篮内铜球捅实；每周检查并停拉添加一次铜球，铜球须进行前处理。 6.3.1.3 每周清洗一次水洗缸; 6.3.1.4 每周二次对每个铜缸作Hull-cell Test; 6.3.1.5 酸洗缸硫酸手动补加量：1.0-1.5L/kft2; 6.3.1.6 镀铜缸盐酸手动补加量：每缸80ml/Kft2。 6.3.2 设备维护和保养: 6.3.2.1 每天检查一次所有紧急刹车系统是否正常工作,每周一次检查车仔在正常时,或为手动方式满载时,停车位置是否准确; 6.3.2.2 每天用布碎擦一次“V”座、飞巴与“V”座接触点，每班检查一次各飞巴上夹具 是否松动，是否有夹板不紧及损坏之夹具,若有须维修、更换，同时每班用钳表测电流一次,要求实际电流与显示电流相差不超过5%；6.3.2.3 每班须检查自动加药器工作是否正常,检查液位是否正常(铜缸液位以打气时刚好到达标准液位为准);6.3.2.4 每班测定一次铜缸温度，实际与显示值相差超过1.5需调校；每周检查一次控制温度的所有感应器能否正常工作；6.3.2.5整板电铜缸每月更换一次过滤棉芯。6.3.2.6 滤芯清洁:A.用自来水浸泡1小时;B.5%H2SO4(CP)浸泡1小时;C.用纯水冲洗干净.6.3.2.7 阳极维护:1) 新铜球处理:A. 用10% H2SO4(CP)和1%H2O2(30%)混合浸泡3-5分钟;A. DI水冲洗后,用10% H2SO4(CP)浸泡8-10分钟;B. 将浸泡好的铜球装入干净的钛篮内,放置于镀铜缸之阳极杆上.2) 旧铜球处理(1次/60天):A. 用于10% H2SO4(CP)和10% H2O2(30%)混合浸泡至黑膜除尽;B. 用DI水冲洗后,用5% H2SO4(CP)浸泡10-15分钟;C. 每次补加铜球后,须以10ASF、15ASF各假镀2小时.3) 阳极袋维护(1次/60天):A. 用毛刷擦去表面脏物;B. 在10% H2SO4(CP)和1% H2O2(30%)混合浸泡2小时;C. 用纯水冲洗干净.D. 每2个月维护阳极袋时如发现有破损，马上更换。4) 阳极杆及V座维护:每次阳极维护期间，用10% H2SO4(CP)擦净阳极杆及V座上之污痕，然后用水擦洗，再用碎布擦干。 6.3.2.8 阴极维护： 检查修理夹棍的电接触连接点,并用10% H2SO4(CP)擦净飞巴上污痕，然后用水擦洗，再用碎布擦干。6.3.2.9 镀铜缸溶液维护:1) 每3周用碳芯过滤镀液一次,时间8h-12h,同时分别以双面150A/pnl（即5ASF）、450A/pnl（即15ASF）各假镀4h,然后作Hull cell试验补加光亮剂；2) 据Hull cell试验,判断镀液有机物污染程度，4-6个月时进行一次碳处理；3) 碳处理具体步骤:A. 将碳处理之溶液移至碳处理缸，加热至505；B. 按5-10ml/l加入H2O2 (30%)，恒温循环搅拌4-6小时；C. 继续加热至605，恒温循环搅拌4-6小时；D. 加入5-8g/l活性碳粉，恒温搅拌4-6小时；E. 停止加热及搅拌，静置8-12小时；F、采用多级过滤方法,将清亮透明无碳粉之药水转入干净的生产缸中，如下图： 原生产缸缸处理池备用槽备用槽 过滤 过滤 过滤(过滤棉芯使用前先过助滤粉)G、 清洗好的铜角和钛篮装好放回生产缸中;H、用DI水补加调整槽液至正常液位,并分析调整浓度至工艺范围内;I、重新启动温控,过滤,循环空气搅拌系统;降温至控制范围后补加CB-322光剂3ml/lJ、分别以双面150A/飞巴（即5ASF）、450A/飞巴（即15ASF）,用瓦楞板各假镀8小时;K、再次分析调整药水成份,并做Hull-cell Test调整CB-322光剂至工艺控制范围;L、试板合格后才能批量生产. 附: 助滤粉之使用方法: a. 先用一个干净的胶盆(80-100L),放入所需量的助滤粉,再用DI水稀释.b. 将过滤泵的进、出水口同时浸没于胶盆中,开启过滤泵,让助滤粉吸附在棉芯上, 待水澄清后再让泵循环5-10分钟. c. 迅速将进水管放入待过滤液里,并将出水管之清水排完后放入备用(或生产)槽中。7.0 注意事项: 7.1 胶手套保持清洁且必须反戴,上下板轻拿轻放,板面不得擦花(每上/下板后需清洗胶手套); 7.2 镀好的板应小心轻放于0.5-1%的H2SO4中，避免铜面氧化; 7.3 加药水须按分析单及时、如实补加，尽量做到少量多次； 7.4 认清上/下板飞巴，以免生产板误进硝酸缸： 7.5 每上完板之后,检查电流是否正常及飞巴是否落在V座上。 7.6 每次补加铜球后,须以10ASF、15ASF各假镀2小时。 7.7 挂板时板与板尽量靠近，有空夹具时必须用铜板边条（宽度1“）夹，且靠近生产板的铜板边条必须竖夹. 7.8 特注：（根据板厚介定板电做板要求） A、针对板厚0.40mm之薄板，在板电时用薄板夹具进行生产，薄板夹具对每一块板至少可以夹到两点。 B、板厚在（0.4mm0.6mm）之板，需在飞巴两端夹1.6mm的辅助Cu板，防止板弯曲. C、电铜后的板浸放在0.5-1%的H2SO4液中不能超过4H。 7.9 添加铜球时先关闭行车电源,添加过程中一手扶杆、一手加铜球，避免摔入铜缸造成伤害。 7.10 异常停电、停机及设备故障处理 7.10.1 停电1个小时，缸内的板不用取出，来电后按原程序进行电镀。并在LOT卡上注明。 7.10.2 停电1个小时，缸内的板需全部取出并放于0.5% -1%H2SO4溶液中,已进入铜缸板电板应记录下已电镀时间,来电后电完剩余时间.其他缸内取出的板放入H2SO4溶液中不得超过4个小时,否则必须返沉铜(先蚀去孔铜,经磨板后返沉铜).并在LOT卡上注明.7.10.3 关闭电源开关及加热器、过滤器、打气等控制开关。 7.10.4 再次来电后，须检查无误，方可开机。 7.10.5 运行中当设备出现故障，按紧急制动按钮停机。7.10.6操作员应填写维修通知单须经主管批准后，通知维修人员进行维修。8.0 其它故障故障排除8.1天车上下吊带绕反使天车上下不能启动时按下“限位解除”选择“限位解除”天车就能启动，等故障排除后要把“限位解除”。8.2有液位不足报警时是否有的槽液位太低了，如没有请检查液位探头。8.3有电机失电报警时请检查控制柜里的保护器是否跳电。8.4有摆动无感应报警时检查摆动开关是否于感应片距里超过感应范围，如超过感应范围请调到感应范围里。如还报警请检查摆动感应器是否坏。8.5手动运行时天车不动8.5.1.检查天车刹车器是否坏。8.5.2天车是否跳电。8.5.3.天车是否启动。8.5.4.天车1的数字是否显示1或17。8.6自动运行时时时间到天车不动8.6.1.开关从自动打至手动再打至自动。8.6.2.天车是否到下限。8.6.3.检查天车刹车器是否坏8.6.4.天车是否跳电。8.5.5.天车是否启动。8.5.6.摆动感应器是否有感应。8.5.7.行车上限传感器是否已坏或上限位是否坏。8.7天车槽位显示错误8.7.1.天车定槽位的传感器是否完好。8.7.2.传感器的感应距里是否超范围。8.7.3.传感器上是否有灰尘。8.7.4.感应片是否正确。8.8摆动不工作8.8.1.摆动开关是否打开。8.8.2.摆动电机是否坏。8.8.3.摆动刹车是否坏。8.8.4.自动时天车升降是否到位。8.9天车冲位8.9.1.槽位显示是否正确。8.9.2.定位两边的传感器是否坏。8.9.3.传感器的感应距离是否超范围。8.9.4.传感器上是否有灰尘。8.10打自动时天车不工作8.10.1. 拉停开关