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阳阳光光大大地地扩扩散散工工艺艺方方块块电电阻阻记记录录表表 序序号号炉炉管管 温温区区 方方块块电电阻阻值值 ohm sq ohm sq 均均值值偏偏差差备备注注 中中心心右右上上右右下下左左上上左左下下 1 测试时间Z1 记录人Z2 RecipeZ3 批次Z4 厂商Z5 2 测试时间Z1 记录人Z2 RecipeZ3 批次Z4 厂商Z5 3 测试时间Z1 记录人Z2 RecipeZ3 批次Z4 厂商Z5 4 测试时间Z1 记录人Z2 RecipeZ3 批次Z4 厂商Z5 5 测试时间Z1 记录人Z2 RecipeZ3 批次Z4 厂商Z5 version 1 0 阳阳光光大大地地扩扩散散工工艺艺方方块块电电阻阻记记录录表表 序序号号炉炉管管 方方块块电电阻阻值值 ohm sq ohm sq 均均值值 1 测试时间3T145 344 453 944 642 746 18 记录人43 240 957 545 742 946 04 Recipe42 34556 339 745 145 68 批次42 643 956 644 8741 845 954 厂商464151 143 946 645 72 2 测试时间45 845 754 245 345 947 38 记录人46 545 353 946 345 647 52 Recipe46 444 85444 345 246 94 批次42 943 346 341 142 343 18 厂商39 842 948 743 143 843 66 3 测试时间43 743 140 443 74142 38 记录人41 739 747 247 242 843 72 Recipe42 6414840 542 742 96 批次42 441 248 843 242 943 7 厂商42 941 349 240 744 343 68 4 测试时间41 539 148 741 140 342 14 记录人43 742 347474545 Recipe46 441 950 645 544 945 86 批次44 342 849 843 14645 2 厂商46 443 147 645 243 345 12 5 测试时间46 444 849 94748 947 4 记录人46 8455549 545 648 38 Recipe47 64753 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