库特勒清洗机操作规程.doc

题 目：库特勒清洗机操作规程文件号：QI-设备-76版本号：A 页号： 13/13修订状态:0发布日期：1. 目的确保库特勒清洗机处于良好的运行状态2. 适用范围库特勒清洗机的操作及保养3. 规范性引用文件QP-6.3-1 设备和设施控制程序4. 术语和定义无。5. 职责5.1 电池制造部操作人员负责设备的使用和日常的清洁工作。5.2 电池设备部设备工程师负责设备的定期维护、保养维修及日常点检。5.3 电池制造技术部工艺工程师负责工艺参数的确认。6. 内容6.1 开机流程6.1.1依次打开压缩空气、氮气、纯水，冷却水阀门并检查其压力是否正常。压缩空气（0.6MP-0.7MP ）、压缩空气（0.3MP-0.5MP ）、氮气（0.3MP-0.5MP），纯水压力，冷却水压力（0.2MP-0.3MP）。见（图一）、（图二）、（图三）、（图四） 图一 图二 图三 图四 6.1.2 打开电气柜上的主电源开关，然后打开电气柜内各断路器。（见图五、图六、图七） 图五 图六 图七6.1.3 打开PC柜的柜门，打开UPS电源（见图八），开启电脑。（见图九） 图八 图九6.1.4 进入电脑桌面后，打开程序文件（见图十、图十一）。 图十 图十一 6.1.5 按下冷却机的电源启动按钮（绿色）。（见图十二） 图十二6.1.6 按下电气柜上的“控制电源RESET”，然后按下“控制电源ON”按钮（见图十三）。 图十三6.1.7 打开集中供液处压缩空气（见图十四）。 图十四6.1.8 打开集中供液电气箱的电源开关，使其处于“ON”状态，跳出操作屏幕（见图十五、图十六）。 图十五 图十六6.1.9 在PC机上，点击用户名登录，输入所属用户名及其密码，点击确认登陆后，对设备进行操作。比如对各工艺槽正常加药液及纯水等（见图十七）。 图十七6.1.10 设备从手动切换到自动状态，按起动按钮（见图十八）。 图十八6.1.11 在上料台光电开关感应一片后,设备开始预热（图十九）。 图十九6.1.12 预热完后开始准备生产。6.2 生产流程6.2.1 检查各槽体是否有工作液，若没有，则工艺人员需根据工艺要求设置相应参数，点击“配槽”按钮对其进行加液或加水（见图二十）。配槽参数 图二十 6.2.2 配槽所加药液是由集中供液提供。若集中供液某种化学药液无液则更换之，更换流程参照集中供液标准作业（见图二十一、图二十二）。 图二十一 图二十二6.2.3 设备预热处于待机状态后，用手在上料处感应一下，等待工作槽液位达到浸泡液位后，准备生产（见图二十三）。 图二十三6.2.4 在上料处放片（见图二十四）。 图二十四6.2.5 检查流出的硅片。6.2.6 时刻注意硅片是否吹干，碎片是否多，若存在当中任何一个问题，设备人员需检查设备并进行调整处理。6.2.7 多晶工艺情况下，记录下减薄量及制绒温度。并时刻检查硅片的减薄量，绒面大小，若有问题通知工艺及设备人员。工艺对化学药液配比进行调整。若设备有问题，比如温度失控，则由设备人员对冷却机进行检查维修。（见图二十五、图二十六） 图二十五 图二十六6.2.8 收集的硅片装于承载盒内，记录所集硅片数，存放于传递窗内，流向下道工序。6.2.9 生产过程中工作槽内碎片太多，生产线员工需及时进行清理，以免由碎片造成更多碎片。6.2.10 产部门每个班交接时，需排掉各水洗槽的溶液，并重新加入纯水。6.3 关机流程6.3.1 检查并确认硅片已走完,停止工艺。6.3.2 对各槽药液进行处理。若排液需通知设施水站，以便水站处理废水。6.3.3 关闭集中供液处电源。6.3.4 关闭集中供液处纯水阀及压缩空气阀。6.3.5 关闭电脑及显示器电源以及UPS电源。6.3.6 关闭冷却机电源。6.3.7 按下电气柜控制电源OFF按钮。6.3.8 关闭电柜内各断路器。6.3.9 关闭电气柜主电源。6.3.10 关闭冷却机旁冷却水进、回水阀门。6.3.11 关闭设备的氮气，压缩空气，纯水， 冷却水各阀门。7. 记录 月份保养维护表 QT-清洗机02 保存期限：3年8. 支持性文件设备维护申请单 QT-设备-059. 附录9.1 开机流程9.2 生产流程9.3 关机流程 开 机 流 程使用记录权责部门/人配合部门/人备 注打开集中供液处压缩空气、纯水阀门按下电气柜上控制电压ON的按扭按下冷却机的电源启动按钮进入程序文件打开PC柜柜门，打开UPS电源,开启电脑打开电柜内各断路器打开电气柜上的主电源开关打开冷却机配套的冷却水阀门打开设备配套的纯水，氮气，压缩空气，冷却水各阀门电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工压缩空气压力，氮气压力等是否达到工作要求，确认正常后可以准备开机。冷却水压力及温度是否达到工作要求，确认正常后可以准备开机。电气柜的主断路器380V，控制电源RESTER红灯亮检查设备电路是否正常。正常后可以打开PC柜内的UPS电源开关220V进入设备型号.TEXTURE的文件名启动按钮绿灯亮控制电压ON白灯亮检查压缩空气压力等是否达到工作要求开 机 流 程使用记录权责部门/人配合部门/人备 注预热完后开始准备生产在上料台光电开关感应一片后,设备开始预热。在PC机上，点击用户名登录，输入所属用户名及其密码，点击确认登陆后，对设备进行操作。设备从手动切换到自动状态，按起动按钮。打开集中供液电气箱的电源电池设备部/设备维护人员电池制造部/工艺和操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员检查设备电路是否正常。工艺确认参数设置是否正确点击自动按钮切换使待机状态的电机启动2、4、6槽的温度达到设置要求，预热完毕。生 产 流 程使用记录权责部门/人配合部门/人备 注流到下道工序设备调整工艺调整是收片否否检查走出的硅片是否达到工艺要求放片是准备生产调整达到工艺要求开机前检查设备，工艺条件是否满足电池设备部/设备维护人员电池制造部/工艺和操作工电池制造部/操作工/工艺电池制造部/操作工/工艺电池制造部/工艺/操作工电池制造部/工艺/操作工电池设备部/设备维护人员电池制造部/工艺/操作工电池制造部/工艺/操作工电池制造部/操作工电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池制造部/工艺/操作工电池设备部/设备维护人员电池制造部/工艺/操作工检查各工作槽溶液是否处于浸泡液位，温度是否达到要求。工艺确认参数设置是否正确使设备处于生产状态。小心轻放硅片是否吹干，是否碎片过多，减搏量是否偏大，绒面是否大小不均。加液或者添加药液等措施检查处理滚轮，冷却机等故障小心轻放，吸片要吸在硅片中部点清数量，填写好有关数据。关 机 流 程使用记录权责部门/人配合部门/人备 注关闭电气柜主电源关闭电柜内各断路器按下电气柜控制电源OFF按钮关闭冷却机电源关闭电脑及显示器电源以及UPS电源关闭集中供液处纯水阀及压缩空气阀关闭集中供液处电源对各槽药液进行处理检查并确认硅片已走完,停止工艺电池制造部/操作工电池制造部/ 工艺和操作工电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池设备部/设备维护人员电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工电池制造部/操作工确认无硅片在设备内，工艺已停止若做排液处理，则打电话给水站。 停止补液后，关闭控制电源。若长时间停机，需移走化学药桶。退出操作程序后，关机。