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文档简介

SEM原理及应用实例 主要内容 SEM工作原理 扫描电镜是用于检验和分析固体微观结构特的最有用的仪器之一 与透射电镜的成像方式不同 扫面电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像 由三极电子枪发射出来的电子束 在加速电压作用下 经过2 3个电子透镜聚焦后 在样品表面按顺序逐行进行扫描 激发样品产生各种物理信号 如二次电子 背散射电子 吸收电子 X射线 俄歇电子等 这些物理信号的强度随样品表面特征而变 它们分别被相应的收集器接受 经放大器按顺序 成比例地放大后 送到显像管成像 得到样品表面特征图像 SEM示意图 SEM特点 可以观察直径为10 30mm的大块试样 制样简单场深大 适用于粗糙表面和断口的分析 试样有立体感 易于识别放大倍数范围大具有相当的分辨率可以通过电子学方法有效的控制和改善图像质量可进行多种功能的分析可使用加热 冷却和拉伸等样品台进行动态试验 SEM应用实例1 SEM应用实例1 SEM应用实例1 SEM应用实例1 SEM应用实例1 ThankYou
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