二次配工程规范.doc

精品资料 中緯積體電路中緯積體電路 寧波寧波 新建工程新建工程 氣氣體體管管線線二二次次配配工工程程規規範範 精品资料 CONTENTSPAGES 1 目的目的3 2 範圍範圍3 3 文件送審文件送審4 4 施工施工說說明明4 5 其他其他說說明明9 6 驗收標準驗收標準10 7 保固期限保固期限12 精品资料 1 目的目的 為使設備機台按照計劃順利裝機 運轉 且亦能維護 Hook Up 二次配管施工 之品質及作業安全 本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準 2 範圍範圍 2 1 製程設備氣體管線 Hook up 工程材料採購及管路安裝 Hook up 範圍 GN2 PN2 PO2 CDA 自主管預留閥至機台內部接點 含支管 PH2 SiH4 SiH4 N2由氣體站氫氣純化器出口及 SiH4 SiH4 N2氣瓶櫃出 口接至機台 含 VMB 其他特殊氣體自位於氣體房或 Subfab 之氣瓶櫃 架至機台內部接點 含 VMB VMP 其中必要的管線 管件及焊接所需 氣體 均由承包商負責提供 GN2 PN2 PO2各支管位置及預留 take off 閥尺寸及數量 請參照 FAB 棟一層大宗氣體二次配平面圖 圖號 SP 211 各 VMB VMP 位置 請參照 FAB 棟一層特殊氣體二次配平面圖 圖號 SP 212 氣體站至 FAB 間氣體管線 請參照 氣體站至 FAB 棟氣 體二次配管線平面圖 圖號 SP 234 GN2 PN2 PO2 CDA 自 take off 閥至機台間所需裝設之閥件 請參照 SP 2 二次配管詳圖 圖號 SP 231 而 take off 閥及 VMB VMP 與機台銜接點等相關資料 請參照附件一 Bulk gas take off list 附件二 Specialty gas VMB VMP list 及附件三 CDA take off list 承包商需根據該表資料 設計至機台管線之路徑 2 2 前項氣體管線 Hook up 工程之管路細部設計 施工圖繪製 ISO 圖繪製 Auto 2000 或以上版本圖檔予顧問及業主 安裝後洩漏偵測 各項不 純物量測 訊號測試 材料存放及廢料清潔等雜項工程 其中施工圖及 ISO 圖面 需依照機台用量流程圖 P ID 及機台設備外觀圖繪製 並配 合材料明細表供業主確認 2 3 本項工程為連工帶料施工 並包含施工中所需之施工工具 施工設備 無塵服 安全防護器具 管支撐及雜項消耗等 均由承包商負責 2 4 配合 二次配工程說明 規範標號 NS SP001 要求所需各項雜項費用 2 5 所有管路標示 管路標示依照 二次配工程說明 辦理 2 6 所有管路防震固定支撐架之安裝定位 2 7 高架地板開孔及收邊之工程發包 請款 切割區域管理 2 8 氣體站至 FAB 間管線所需管橋由業主提供 承包商需負責依業主指示 規劃氣體管線路徑 並負責安裝所需管夾等固定裝置 3 文件送審文件送審 文件名稱 投標階段 3份 設計階段 5份 竣工階段 5份 1 報價表 Quotation form X 精品资料 文件名稱 投標階段 3份 設計階段 5份 竣工階段 5份 2 專案組織表 Project organization XX 3 專案執行時程表 Project schedule XX 4 工程界面清單及位置圖 List location of tie in point XXX 5 系統管儀圖 P IDs XXX 6 焊接設備清單 Equipment list XXX 7 設備及材料型錄及資料 Vendor s catalogs and information to support his quotation including electrical system I C system XXX 8 儀表安裝詳圖 Instrument installation drawing XX 9 送審文件清單及時程 Transmittal list and schedule X 10 品質管制程序書 Quality control procedure X 11 工地辦公室及物料暫存區需求 Site office and warehouse requirements X 12 驗收及測試計劃 報告 Inspection test plan reports XX 13 製造商測試報告 Manufacture s inspection test reports records XX 14 計算書 Contractor s calculations XX 15 管線配置圖 Pipe routing plan XXX 16 管線支撐詳圖 Pipe support drawing XX 17 管材規格 Piping material specification XX 18 管線施工程序書 Piping construction specification XX 註 1 承包商需於得標後一周內提出文件送審清單 並於施工前2周提送設計文 件及相關管件及標示實體供審核 送審圖面則需在業主提出意見後3天內 修改並再次送審 2 所有送審文件必須以中文或英文書寫 英文送審文件需附中文說明 3 所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔 4 施工施工說說明明 4 1 一般說明 4 1 1 承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程序書 經審核 通過後 方可據以施工 4 1 2 承攬商需於工作場所設置工程負責人 需有相關工程經歷三年 以上 其工作職責為 4 1 2 1 施工進度控制 4 1 2 2 施工人員管理及安排 4 1 2 3 材料數量管制 4 1 2 4 現場會勘放樣 4 1 2 5 參與承攬商溝通協調會議 4 1 3 承攬商需於工作場所設置品管負責人 需有相關工作經歷三年 以上 其階層與工程負責人同等 其工作職責為 精品资料 4 1 3 1 施工品質控制 4 1 3 2 施工完工品質驗收 4 1 3 3 施工驗收報告匯總 4 1 3 4 原料進廠自主檢查 4 1 4 承攬商需於工作場所設置物管負責人 需有相關工作經歷一年 以上 其工作職責為 4 1 4 1 材料數量管理 4 1 4 2 進廠料件驗收 4 1 5 承攬商需於工作場所設置工安衛負責人 需有相關工作經歷一 年以上 其階層與工程負責人同等 其工作職責為 4 1 5 1 現場安全衛生工作監督 4 1 5 2 參與承攬商安全衛生協調會議 4 1 5 3 承攬商施工人員安全衛生訓練 4 1 6 施工人員數組 依工程數量適時增加人員 但在工程期限內最 低需保留三組 每組人員最少三人 每組至少有一人有焊接執 照 並由一資深組長帶領 所有進廠施工之人員必須經過認可 且通過工安檢定之人員 4 1 7 品管人員數組 依工程數量適時增加人員 但在工程期限內最 低需保留一組 每組人員最少二人 由一資深組長帶領 但不 可由品管負責人擔任 4 1 8 承攬商有任何人員調動需經過認可 且業主相關之人員有權提 出異議要求更換 承攬商不得有異議 4 2 材料說明 4 2 1 氣體管線之分類及其材質要求如下表規定辦理 氣體種類材質 a 一般大宗氣體GN2 CDA CDA for burnbox SUS 316L BA 5S SUS 316L AP 5S SUS 304 5S b 自燃性氣體SiH4 SiH4 N2 PH3 N2 內管 SUS 316L EP 外管 SUS 304 c 其他氣體PN2 PO2 SiH2Cl2 NH3 PH2 B2H6 N2 Cl2 HBr NF3 BCl3 HF CHF3 CF4 C2F6 SF6 PAr PHe N2O He O2 SS 316L EP 5S 另 BCl3 SiH2Cl2之管線需 提供加熱帶以確保供氣 量 精品资料 4 2 2 各類管線 管件及儀表廠牌 請依下表規定辦理 承包商應以 一次配選用廠牌為優先考量 如欲選用非下表規定之廠牌 需 經過業主審核同意後使得選用 項目規格廠牌 a SUS 316L BA pipeRmax 3 0 mSumikin Kuze b SUS 316L BA tubeRmax 3 0 mSumikin Kuze c SUS 316L BA fitting for pipe Rmax 4 5 mKitz Kuze Swagelok Ham let d SUS 316L BA fitting for tube Rmax 4 5 mKitz Kuze Swagelok Ham let e SUS 316L EP pipeRmax 0 7 mSumikin Kuze f SUS 316L EP tube 註 1 Rmax 0 7 mSumikin Kuze g SUS 316L EP fitting 註 1 Rmax 0 7 mKitz Kuze Swagelok Ham let h SUS 316L BA valve 15A Bellow valve Rmax 4 5 mKitz Ohno Motoyama i SUS 316L BA valve 15A Diaphragm valve Rmax 3 0 mKitz Fujikin Ohno Motoyama j SUS 316L EP valve 15A Bellow valve Rmax 1 0 mKitz Ohno Motoyama k SUS 316L EP valve 15A Diaphragm valve Rmax 0 7 mKitz Fujikin Ohno Motoyama l Regulator SUS 316L EP VCR type Rmax 0 1 m PN2 PO2 每段支管末端 所有機台 Tie in 點前 1 pcs scf 0 1 m 其他製程氣體機台 Tie in 點前 1 pcs scf 0 1 m 6 6 氧氣含量測試 6 6 1 承包商應使用 PN2作為 purge gas 並連續紀錄氧氣含量變化 以觀 察其下降趨勢及作為是否合格之依據 6 6 2 各類氣體測試點及含量要求應依下表辦理 精品资料 6 7 驗收時需檢附各項測試報告及竣工 ISO 圖面 7 保固期限保固期限 自驗收合格後保固期限一年 氣體種類應測試位置氧氣含量要求 GN2 每段支管末端 所有機台 Tie in 點前 100 ppb PN2 每段支管末端 所有機台 Tie in 點前 10 ppb 其他製程氣體機台 Tie in 點前 10 ppb 精品资料 附件一Bulk Gas Take off List TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 GN55011 2 CV etcher QC Lab CV etcher55 3 8 DECAP QC 1 8 ETCHER QC 1 4 GN55021 2 9F1 9F125 1 4 9F1120 3 8 9F1120 3 8 GN55031 2 9F2 9F2120 3 8 9F2120 3 8 GN55041 2 8F 8F55 3 8 8F50 3 8 8F50 3 8 GN55051 2 WJ 999 1 2 WJ 999 1 55 3 8 WJ 999 2 55 3 8 GN55061 2 SPARE GN55071 2 ND 6200 ND 620020 1 4 ND 620020 1 4 GN55081 2 NOVELLUS NOVELLUS20 1 4 NOVELLUS20 1 4 GN55091 2 SPARE GN55101 2 SPARE GN55111 2 SPARE GN55121 2 SPARE GN55131 2 AMI 8330C AMI 8330C3 1 4 AMI 8330C3 1 4 AMI 8330C3 1 4 AMI 8330C3 1 4 GN55141 2 SPARE GN55151 2 AMI 8330D AMI 8330D3 1 4 AMI 8330D3 1 4 AMI 8330D3 1 4 AMI 8330D3 1 4 GN55161 2 AMI 8330B AMI 8330B3 1 4 AMI 8330B3 1 4 AMI 8330B3 1 4 AMI 8330B3 1 4 GN55171 2 SPARE GN55181 2 LAM 590A PSC 4 LAM 590A10 1 2 LAM 590A3 1 2 LAM 590A3 1 4 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 LAM 590A1 1 2 PSC 43 1 4 PSC 43 1 4 GN55191 2 LAM 590C B LAM 590C10 1 2 LAM 590C3 1 2 LAM 590C3 1 4 LAM 590C1 1 2 LAM 590B10 1 2 LAM 590B3 1 2 LAM 590B3 1 4 LAM 590B1 1 2 GN55201 2 LAM 4420A B S6000 LAM 4420A10 3 8 LAM 4420A10 3 8 LAM 4420A3 1 4 LAM 4420A3 1 4 LAM 4420B10 3 8 LAM 4420B10 3 8 LAM 4420B3 1 4 LAM 4420B3 1 4 S6000 1 4 GN55211 2 SPARE GN55221 2 LAM 490C B LAM 490C10 1 2 LAM 490C3 1 2 LAM 490C3 1 4 LAM 490C1 1 2 LAM 490B10 1 2 LAM 490B3 1 2 LAM 490B3 1 4 LAM 490B1 1 2 GN55231 2 LAM 490A LAM 490A10 1 2 LAM 490A3 1 2 LAM 490A3 1 4 LAM 490A1 1 2 GN55241 2 Tegal900A B 位置未定 Tegal900A3 1 4 Tegal900A3 1 4 Tegal900B3 1 4 Tegal900B3 1 4 GN55251 2 SPARE GN55261 2 SPARE GN55271 2 H2 H2 3 8 H2 3 8 GN55281 2 HF170 3 8 GN55291 2 SPARE GN55301 2 H1 H1 3 8 H1 3 8 GN55311 2 H3170 3 8 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 GN55321 2 SPARE GN65011 2 7F 7F55 3 8 7F150 3 8 GN65021 2 7F 7F150 3 8 7F150 3 8 GN65031 2 6F55 3 8 GN65041 2 SPARE GN65051 2 SPARE GN65061 2 SOG 27 3 8 GN65071 2 SPARE GN65081 2 SPARE GN65091 2 SPARE GN65101 2 AMI 8310B A AMI 8310A3 1 4 AMI 8310A3 1 4 AMI 8310A3 1 4 AMI 8310A3 1 4 AMI 8310B3 1 4 AMI 8310B3 1 4 AMI 8310B3 1 4 AMI 8310B3 1 4 GN65111 2 SPARE GN65121 2 MATRIX 1 2 MATRIX 1 3 1 2 MATRIX 2 3 1 2 GN65131 2 LAM 4520 LAM 452010 3 8 LAM 452010 3 8 LAM 45203 1 4 LAM 45203 1 4 GN65141 2 SPARE GN65151 2 SPARE GN65161 2 PSC 5 PSC 53 1 4 PSC 53 1 4 GN65171 2 SPARE GN65181 2 PSC 3 1 PSC 33 1 4 PSC 33 1 4 PSC 13 1 4 PSC 13 1 4 GN65191 2 SPARE GN65201 2 SPARE GN65211 2 SPARE GN65221 2 SPARE GN65231 2 SPARE GN65241 2 CDO 1 2 3 位置未定 CDO 1 1 4 CDO 2 1 4 CDO 3 1 4 GN65251 2 SPARE 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 GN75011 2 SPARE GN75021 2 5F 4F 5F55 3 8 4F55 3 8 GN75031 2 3F55 3 8 GN75041 2 SPARE GN75051 2 CR 1991 1 2 GN75061 2 CR 1991 1 2 GN75071 2 STEPPER14 COATER7 8 STEPPER1420 1 4 COATER7 8 3 8 GN75081 2 CR 3991 1 2 GN75091 2 STEPPER13 8 STEPPER1320 1 4 STEPPER820 1 4 STEPPER720 1 4 STEPPER320 1 4 GN75101 2 SPARE GN75111 2 CR 3991 1 2 GN75121 2 STEPPER12 6 2 STEPPER1220 1 4 STEPPER620 1 4 STEPPER220 1 4 GN75131 2 SPARE GN75141 2 STEPPER11 5 1 STEPPER1120 1 4 STEPPER520 1 4 STEPPER120 1 4 GN75151 2 SPARE GN75161 2 OBM M3 OBM30 1 4 M3170 1 4 M3170 1 4 GN75171 2 UL 2 AN1 UL 2 3 8 AN145 3 8 GN75181 2 M2 M2170 1 4 M2170 1 4 GN75191 2 AN245 3 8 GN75201 2 M1 M1170 1 4 M1170 1 4 GN85011 2 2F 2F55 3 8 2F150 3 8 2F150 3 8 GN85021 2 1F 1F55 3 8 1F150 3 8 1F150 3 8 GN85031 2 SPARE GN85041 2 SPARE 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 GN85051 2 SPARE GN85061 2 SPARE GN85071 2 COATER4 5 10 COATER4 5 3 8 COATER101 1 4 GN85081 2 SPARE GN85091 2 COATER1 DEV12 COATER1 2 3 3 8 DEVELOPER121 1 4 STEPPER420 1 4 GN85101 2 DEVLOPER7 1 DEVELOPER7 8 9 3 8 DEVELOPER1 2 3 3 8 S8820 1 4 位置未定 PN55011 2 CWC ROOM CWC OXIDE283 1 4 CWC POLY283 1 4 CWC METAL283 1 4 PN55021 2 TUBE CLEAN SORTER OVEN20 3 8 OVEN20 3 8 CV etcher55 3 8 SORTER850 1 4 chemical hood QC 566 1 4 SEM S 4700 QC 1 4 SEM JSM 6700F QC 1 4 PN55031 2 9F 1 2 AG4100 AG410015 1 4 9F 170 1 4 9F 255 3 8 PN55041 2 8F QS300 8F55 3 8 QS300850 1 4 PN55051 2 WJ 1 2 WJ 155 3 8 WJ 255 3 8 PN55061 2 Local scrubber 位置未定 Local scrubber50 1 4 Local scrubber50 1 4 Local scrubber50 1 4 Local scrubber50 1 4 Local scrubber50 1 4 Local scrubber50 1 4 PN55071 2 SPARE PN55081 2 ND 6200 2 NOVELLUS ND 6200 2 15 1 4 NOVELLUS15 1 4 PN55091 2 5F5 5F555 3 8 5F555 3 8 PN55101 2 SPARE PN55111 2 SPARE PN55121 2 SRD EKC N OVEN 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 OVEN3 1 4 SRD170 3 8 SRD170 3 8 EKC N285 1 4 PN55131 2 SRD EKC C OVEN OVEN3 1 4 SRD170 3 8 SRD170 3 8 EKC C285 1 4 PN55141 2 AMI 8330C AMI 8330C10 1 4 AMI 8330C200 3 8 AMI 8330C3 1 4 AMI 8330C1 1 4 AMI 8330C0 1 1 4 PN55151 2 AMI 8330D AMI 8330D10 1 4 AMI 8330D200 3 8 AMI 8330D3 1 4 AMI 8330D1 1 4 AMI 8330D0 1 1 4 PN55161 2 AMI 8330B AMI 8330B10 1 4 AMI 8330B200 3 8 AMI 8330B3 1 4 AMI 8330B1 1 4 AMI 8330B0 1 1 4 PN55171 2 SPARE PN55181 2 LAM 590A PSC 4 LAM 590A0 5 1 2 PSC 43 1 4 PSC 43 1 4 PN55191 2 LAM 590C B LAM 590C0 5 1 2 LAM 590B0 5 1 2 PN55201 2 LAM 4420A B LAM 4420A10 1 4 LAM 4420A1 1 4 LAM 4420A1 1 4 LAM 4420A1 1 4 LAM 4420A1 1 4 LAM 4420A1 1 4 LAM 4420B10 1 4 LAM 4420B1 1 4 LAM 4420B1 1 4 LAM 4420B1 1 4 LAM 4420B1 1 4 LAM 4420B1 1 2 PN55211 2 SPARE PN55221 2 LAM 490C OVEN LAM 490C0 5 1 2 OVEN3 1 4 PN55231 2 LAM 490A B 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 LAM 490A0 5 1 2 LAM 490B0 5 1 2 PN55241 2 SPARE PN55251 2 BOE50 1 H2O2 SRD OVEN BOE50 1567 1 4 H2O2567 1 4 SRD567 1 4 OVEN3 1 4 PN55261 2 SPARE PN55271 2 SPARE PN55281 2 SPARE PN55291 2 SPARE PN65011 2 SPARE PN65021 2 6F 7F 6F55 3 8 7F55 3 8 5F55 3 8 PN65031 2 SPARE PN65041 2 SPARE PN65053 4 FSI 6312 3 4 PN65063 4 FSI 5312 3 4 PN65071 2 SPARE PN65081 2 SRD CR1 SRD CR1170 3 8 SRD CR1170 3 8 PN65091 2 LAM 8310B LAM 8310B10 1 4 LAM 8310B200 3 8 LAM 8310B3 1 4 LAM 8310B1 1 4 PN65101 2 SPARE PN65111 2 LAM 8310A LAM 8310A10 1 4 LAM 8310A200 3 8 LAM 8310A3 1 4 LAM 8310A1 1 4 PN65121 2 MATRIX1 2 OVEN MATRIX 13 1 2 MATRIX 23 1 2 OVEN3 1 4 PN65131 2 SPARE PN65141 2 LAM4520 LAM452010 1 4 LAM45200 1 1 4 LAM452010 1 4 LAM45200 1 1 4 PN65151 2 SRD CR3 SRD CR3170 3 8 SRD CR3170 3 8 PN65161 2 SRD CR2 CR2 SRD CR2170 3 8 SRD CR2170 3 8 CR 2283 1 4 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 PN65171 2 B17 18 PSC 1 3 5 B17 18283 1 4 PSC 13 1 4 PSC 13 1 4 PSC 33 1 4 PSC 33 1 4 PSC 53 1 4 PSC 53 1 4 PN65181 2 SRD B17 18 SRD B17 18170 3 8 SRD B17 18170 3 8 PN65191 2 SRD BOE2 SRD BOE2170 3 8 SRD BOE2170 3 8 PN65201 2 BOE 2285 3 8 PN65211 2 BOE 1285 3 8 PN65221 2 SRD BOE1 SRD BOE1170 3 8 SRD BOE1170 3 8 PN65231 2 GAMA subsystem 位置未定 Preheat285 1 4 Preheat285 1 4 H DI285 1 4 PN65241 2 SPARE PN65251 2 SPARE PN75011 2 SPARE PN75021 2 4F 3F 4F55 3 8 3F55 3 8 PN75031 2 SPARE PN75043 4 FSI 4312 3 4 PN75053 4 FSI 3312 3 4 PN75061 2 SCRUBBER566 1 4 PN75071 2 SPARE PN75081 2 CR 1 CR 130 1 4 CR 130 1 4 CR 130 1 4 CR 130 1 4 PN75091 2 CR 3 CR 330 1 4 CR 330 1 4 CR 330 1 4 CR 330 1 4 PN75101 2 SPARE PN85011 2 SPARE PN85021 2 1F 2F 1F55 3 8 2F55 3 8 PN85031 2 HF50 1 SRD HF50 1283 1 4 SRD283 1 4 PN85043 4 FSI 1312 3 4 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 PN85053 4 RCA500 3 4 PN85061 2 Megasonic SRD 位置未定 Megasonic567 1 4 SRD567 1 4 PN85071 2 coater 7 8 4 5 10 coater 7 8 3 8 coater 4 5 3 8 coater 10 3 8 PN85081 2 SPARE PN85091 2 developer 12 7 8 9 developer 12 3 8 developer 7 8 9 3 8 PN85101 2 Developer 1 2 3 3 8 PO55011 2 9F 2 8F AG4100 AG410020 1 4 8F20 1 4 9F 21 1 4 PO55021 2 SPARE PO55031 2 WJ 1 2 WJ 120 1 4 WJ 220 1 4 PO55041 2 ND 6200 2 NOVELLUS ND 6200 2 20 1 4 NOVELLUS20 1 4 PO55051 2 SPARE PO55061 2 5F5 5F522 1 4 5F522 1 4 PO55071 2 AMI 8330B C D AMI 8330B0 1 1 4 AMI 8330C0 1 1 4 AMI 8330D0 1 1 4 PO55091 2 SPARE PO55091 2 SPARE PO55101 2 LAM 590A PSC 4 LAM 590A0 05 1 2 PSC 42 1 4 PSC 42 1 4 PO55111 2 LAM 590B C PSC 3 5 LAM 590B0 05 1 2 LAM 590C0 05 1 2 PSC 32 1 4 PSC 32 1 4 PSC 52 1 4 PSC 52 1 4 PO55121 2 LAM 4420A B LAM 4420A0 20 1 4 LAM 4420A0 01 1 4 LAM 4420B0 20 1 4 LAM 4420B0 01 1 4 PO55131 2 LAM 490A B C PSC 1 LAM 490B0 05 1 2 LAM 490C0 05 1 2 精品资料 TAKE OFFTAKE OFFTool機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接NOTE NO 尺寸尺寸 LPM頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 LAM 490A0 05 1 2 PSC 12 1 4 PSC 12 1 4 PO55141 2 Tegal900A B 位置未定 Tegal900A0 5 1 4 Tegal900B0 5 1 4 PO55151 2 SPARE PO55161 2 SPARE PO65011 2 6F 7F 6F22 1 4 7F22 1 4 5F22 1 4 PO65021 2 SPARE PO65031 2 SPARE PO65041 2 AMI 8310A B AMI 8310A0 1 1 4 AMI 8310A0 02 1 4 AMI 8310B0 1 1 4 AMI 8310B0 02 1 4 PO65051 2 MATRIX 1 2 MATRIX 10 5 1 2 MATRIX 20 5 1 2 PO75011 2 3F 4F 3F22 1 4 4F22 1 4 PO75021 2 SPARE PO75031 2 SPARE PO85011 2 1F 2F 1F22 1 4 2F22 1 4 PO85021 2 SPARE PO85031 2 SPARE 精品资料 附件二Specialty Gas VMB List VMBVMPSERVICE TOOL NO CONNECTOR SIZE TYPE CATEGORYNO GAS TypeNo LocationTypeNo Location12345678 1SiH2Cl23 1GVB 30389 HJ 1F2F9F1 1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR 2SiH43 1GVB 30256 GH NovelND62008F18F2 1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR 3 1GVB 30489 HJ 1F2F7F 1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR 3NH33 1GVB 30156 H Novel9F18F18F2 1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR 3 1GVB 30589 HJ 1F2F 1 4 UJR1 4 UJR 4H27 1GVB 70189 HJ 1F2F3F4F5F5F56F7F 1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR 5PH3 N23 1GVB 30856 GH WJ1WJ2 1 4 UJR1 4 UJR 6SiH4 N23 1GVB 30656 GH WJ1WJ2 1 4 UJR1 4 UJR 7B2H6 N23 1GVB 30756 GH WJ1WJ2 PYROPHORIC FLAMMABLE 1 4 UJR1 4 UJR 8Cl25 1GVB 70256 EF 490A490B490C8330A8330B8330C 1 2 1 2 1 2 1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR 7 1GVB 70356 FG 4420A4420BP5000P5000 1 4 VCR1 4 VCR 9HBr5 1GVB 70456 EF 4420A4420BP5000P5000 1 4 VCR1 4 VCR 10NF33 1GVB 3096 G 8310A8310B 1 4 VCR1 4 VCR 11BCl35 1GVB 3106 G 8330A8330B8330C 1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR 12HFnoVMBCV ETCH CORROSIVE TOXIC 1 4 UJR 精品资料 CATEGORYNO GAS VMBVMPSERVICE TOOL NO CONNECTOR SIZE TYPE TypeNo LocationTypeNo Location12345678 13CHF3 5 1GVP 7036 F590A590B590C8330A8330B8330C 1 2 1 2 1 2 1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR 3 1GVP 30367 F4520A4520B8310A8310B 1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR 14CF4 7 1GVP 70156 FGND6200P5000P50008330A8330B8330C 1 4 UJR 1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR 7 1GVP 7076 EF4420A4420B590A590B590C4520A4520B 1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR1 2 1 2 1 4 VCR1 4 VCR 15C2F6 7 1GVP 7086 EFNovel4420A4420B490A490B490C 1 4 UJR1 4 VCR1 4 VCR1 2 1 2 1 2 16SF6 5 1GVP 70467 GHTegal 900ATegal 900B590B590C 1 4 1 4 1 2 1 2 3 1GVP 7096 EF590A490A490B490C 1 2 1 2 1 2 1 2 7 1GVP 70256 FG4420A4420BP 5000P 5000 1 4 VCR1 4 VCR 17Ar 3 1GVP 30467 F8310A8310B4520A4520BCoater QC 1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR1 4 VCR 5 1GVP 71089 DAN1AN2UL 2 3 8 3 8 3 8 18He 7 1GVP 7056 EF490A490B490C590A590B590C4520A4520B 1 2 1 2 1 2 1 2 1 2 1 2 5 1GVP 70656 FG4420A4420B 1 4 VCR1 4 VCR noVMPSOG 3 8 19N2O 3 1GVP 30156 GHNovel8F18F2ND6200 1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR1 4 UJR 20He O2 3 1GVP 30256 FGP5000P5000 INERT 精品资料 附件三CDA Take off List TAKE OFFTAKE OFF 尺寸尺寸機台名稱機台名稱機台流量機台流量機台接頭機台接頭機台接機台接NOTE NO mm in NLPM尺寸尺寸 in 頭型式頭型式 CDA S Main 0125 5 187135 phase I only CDA S Sub 165 2 1 2 73752 1 2 8bar state CA550140 1 1 2CV etcher60 1 4 WAT poly flow560 1 4 tube clean poly flow560 1 4 tube clean Parts clean560 1 4 tube clean Tube clean560 1 4 tube clean CWC OXIDE128 1 4 CWC CWC Metal280 1 4 CWC CWC poly280 1 4 位置未定 Boat clean560 1 4 tube clean CA550240 1 1 29F2 TEOS60 1 4 9F 1 NITRIDE60 1 4 RTA AG410015 1 4 8F120 1 4 CA550340 1 1 2spare CA550440 1 1 2PECVD ND 6200 2 15 1 4 5F530 3 8 5F530 3 8 Cassette clean560 1 4 Magesonic560 1 4 位置未定 CA550540 1 1 2OVEN3 1 4 EKC B23283 1 4 OVEN N3 1 4 3 1 4 5 1 4 AMI 8330 C 10 1 4 CA550640 1 1 23 1 4 5 1 4 AMI 8330 A 10 1 4 3 1 4 5 1 4 AMI 8330 B 10 1 4 3 1 4 PSC 4 3 1 4 EKC N PPS283 1 4 LAM 590C3 3 8 LAM 590A3 3 8 CA550740 1 1 2spare CA550840 1 1 2LAM 4420B38 1 4 LAM 4420A38 1 4 S600030 1 4 LAM 590B3 3 8 LAM 490A3 3 8 LAM 490B3 3 8 LAM 490C3 3 8 OVEN 13 1 4 CA550940 1 1 2KLA213230 3 8 H2O2566 1 4 SRD566 1 4 精品资料 TAKE OFFTAKE OFF 尺寸尺寸機台名稱機台名稱機台流量機台流量機台接頭機台接頭機台接機台接NOTE NO mm in NLPM尺寸尺寸 in 頭型式頭型式 CA551040 1 1 2HI IMP NV 10 2 30 3 8 HI IMP NV 10 1 30 3 8 BOE 50 11 1 4 RS35 130 1 4 CA551140 1 1 2spare CA551240 1 1 2NV 10 3 450 3 8 CDA S Sub 265 2 1 2 39782 1 2 8bar state CA650140 1 1 2spare CA650240 1 1 27F20 1 4 6F60 1 4 CA650340 1 1 2FSI 630 1 2 FSI 530 1 2 CA650440 1 1 2WT 1560 1 4 位置未定 WT 2560 1 4 位置未定 WT 3560 1 4 位置未定 CA650540 1 1 23 1 4 AMI 8310 A 5 1 4 3 1 4 AMI 8310 B 5 1 4 CA650640 1 1 2MATRIX 1 2 1 2 MATRIX 2 2 1 2 LAM 4520 A38 1 4 LAM 4520 B38 1 4 OVEN 23 1 4 CA650740 1 1 23 1 4 PSC 5 3 1 4 Tegal 900A3 1 4 位置未定 Tegal 900A3 1 4 位置未定 283 1 2 Preheat GAMA Subsystem 283 1 4 CA650840 1 1 23 1 4 PSC 3 3 1 4 3 1 4 PSC 1 3 1 4 B17 B18283 1 4 CA650940 1 1 2BOE 1 3 5283 1 4 OVEN 43 1 4 CA651040 1 1 2MED IMP NV 6200A 3 150 1 4 NV 6200A 2 150 1 4 CA651140 1 1 2HI IMP NV 10 4 450 3 8 MED IMP NV 6200 1 150 1 4 CA651240 1 1 2spare CDA S Sub 365 2 1 2 54322 1 2 8bar state CA750140 1