直回硅原料腐蚀作业指导书.doc

直回硅原料腐蚀作业指导书 直回硅原料腐蚀作业指导书7.操作规程7.操作规程7.1准备工作7.1.1检查劳保防护用品是否完好.7.1.2穿戴好耐酸碱手套、耐酸碱胶鞋、口罩等劳动防护用品.7.1.3根据生产处下达的生产任务单从原料库房领取硅原料，按分类将硅原料分别放入各自原料周转箱中，并在周转箱上粘贴与硅原料上相同的标识。 按出库单核实原料的编号、类型、型号、电阻率、产地等。 6.1.4原料按其编号、导电类型及电阻率(直回料电阻率分档:0.2以下、0.2-0. 5、0.5- 1、1-1. 5、1.5- 2、2-3. 5、3.5- 5、5- 7、7- 10、10以上)档位分开放置，排列好，统一将原料放置在腐蚀槽旁的右窗户下依次排开，防止混料现象出现。 7.1.5从酸库房领取酸液，将领用的酸放在平板车上酸箱不得倒置，搬运时轻拿轻放。 硝酸和氢氟酸搬运及在使用过程中一定要轻拿轻放，同时一定要盖好瓶盖，防止对人体造成伤害。 7.1.6直回料打磨、擦字处理7.1.6.1穿戴好防砸鞋、线手套、PVC手套、口罩、防尘眼镜.7.1.6.2将原料上的字迹用粘有酒精的麻布擦去,带胶点用打磨机打磨干净.7.1.6.3将打磨干净的原料按标识分类放回周转箱中,转移到清洗间腐蚀处理.7.2酸雾中和塔7.2.1检查酸雾中和塔的储液(碱液)箱中的碱液是否浸没碱泵抽液阀7.2.2打开风机对应的风阀.7.2.3检查总电源指示灯工作是否正常（亮、绿色），(正常情况下,要求设备配电柜电源不得擅自,断开),按下t start键打开风机、再按下四组碱泵中的其中两组的控制按钮，开启碱泵。 如下图所示7.3原料腐蚀7.3.1穿戴好防毒面具、耐酸碱手套、耐酸碱胶鞋、线手套、PVC手套、皮围裙等劳动防护用品.7.3.2在风橱中放置两只耐酸碱塑料箱，向其中一只耐酸碱塑料箱中加满高纯水，向另一只耐酸碱塑料箱按腐蚀混酸配比HF:HNO3=1:81:10(体积比)分别加入HF酸液(如右图所示)和HNO3酸液（如右图所示）配置腐蚀液（每次腐蚀150-200公斤料需配混酸30升,腐蚀原料25分钟后逐渐添加酸液添加量及类别根据腐蚀情况而定）。 7.3.3将硅原料装入腐蚀篮中，每篮装10-15kg,将装有硅原料的腐蚀篮放入腐蚀箱中进行腐蚀处理，腐蚀时间控制在25分钟。 在腐蚀过程中用橡胶棒每30秒搅拌一次原料（如右图所示），以保证原料被完全腐蚀。 腐蚀后的原料表面要求无蓝色或黄色氧化、无粘污（注意:腐蚀原料时，每种原料的批次要分开，作好标识防止混料，腐蚀完的硅原料应保证完全被高纯水浸泡（注意:腐蚀原料时，每种原料的批次要分开，作好标识防止混料，腐蚀完的硅原料应保证完全被高纯水浸泡。 ）7.3.4腐蚀处理后，将直回料放进装有高纯水的周转箱中反复清洗5-8遍,直至直回料的PH值为中性。 7.3.5在超声波机中装入高纯水，打开加热器，加热温度到45-60摄氏度。 将纯水清洗至中性的硅原料放进超声波机中超声清洗30分钟。 7.3.6超声时间完成后，用高纯水清洗5遍。 6.4烘干7.4.1将烘料架从烘箱中推出，用高纯水将烘料架上铺设的四氟垫冲洗一遍。 7.4.2将清洗干净的多晶硅边皮料放在烘料架的四氟垫上。 7.4.3将放好原料的烘料架推入烘箱，关上烘箱门，打开烘箱电源，将温度调节至90-110摄氏度，烘料时间控制在2-4小时。 7.4.4原料烘干后,操作人员配带好防尘口罩和橡胶手套将原料从烘箱中取出放进周转箱中,在取料过程中需要在烘箱门前的地面上铺一块白布防止原料掉在瓷砖地面上造成二次污染.7.5分选