拉晶作业指导书范文.doc

拉晶作业指导书范文 文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称真空泵的清理及泵油的更换隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期1.目的规范真空泵的清理及泵油的更换操作2.适用范围适用于真空泵的清扫及泵油更换作业3.作业内容一放油 1、准备好专用工具及纸巾置于真空泵位置；关闭主泵球阀； 2、将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上腔放油开关，取下泵尾气管； 3、堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入指定废油桶； 4、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关； 5、在控制柜上挂上“禁止操作”牌；注意事项及原由 1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气； 2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房； 3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油； 4、处理废油时注意泵房卫生； 5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害； 6、出现异常立刻处理并报告班长；二清泵 1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置； 2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污； 3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净； 4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；注意事项及原由 1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油； 2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态； 3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死； 4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶； 5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；三注油 1、打开真空泵注油口； 2、将加油漏斗放入真空泵注油口； 3、用吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3，用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油； 4、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置； 5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油； 6、装上尾气管，盖好注油口；ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称真空泵的清理及泵油的更换隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/31/2位置。 若低于下限重复以上操作；注意事项及原由 1、加油漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔； 2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油； 3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房； 4、注意清理真空泵及周围卫生； 5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管； 6、泵油加好后，关闭真空泵控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录；4.仪器/工具/材料拆泵腔专用工具、棉纱或毛巾、油桶、漏斗ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造5.相关表格单晶炉操作记录文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称拆炉取单晶隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 1、目的规范拆炉取单晶工序，确保单晶安全取出并放到指定位置 2、适用范围拉晶过程中单晶的取出 3、作业内容一作业准备 1、准备好线手套、耐高温手套、纸巾； 2、准备好钢丝钳、取单晶的小车； 3、用沾酒精的纸巾将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；注意事项及原由 1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费； 2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，防止交叉污染； 3、所有控制接线及开关在彻底清扫炉体时均不得碰断或碰坏；二单晶取出 1、停炉4.5小时后，待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀，后关闭真空泵电源，然后进行热态检漏并做好相应记录； 2、待单晶冷却5.5小时后，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度； 3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，流量调至最大，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室； 4、把安全接盘移到副室底部处，缓慢向左移动副室至90度； 5、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶； 6、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内； 7、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，剪籽晶时应戴好防护眼睛防止籽晶崩溅硅渣伤人眼睛。 然后稳定重锤，再将重锤升至副室内适当位置； 8、将单晶放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒和生产作业流程单上，然后进入石墨件取出工序；ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称拆炉取单晶隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期注意事项及原由 1、升降和移动晶体要小心，防止晶体受到碰装，致使单晶掉下来，而报废； 2、泄漏率3pa/10min为正常，否则当班人员报告班长或车间主管，并做相应记录； 3、升副室前，必须确认炉内压力到大气压，隔离阀必须盖住，防止单晶坠落，应缓慢移动副室，防止单晶与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶受到撞击而坠落； 4、取单晶的小车应与单晶垂直对齐，防止单晶突然脱落能够掉进小车内不至于摔坏单晶；避免刚取出的单晶棒与晶棒筐的金属部分直接接触。 5、剪断籽晶后，应逐步释放重锤，控制好重锤的旋转和晃动，防止钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤，（重锤快速转动，易损坏钢丝绳；重锤温度高不可以用手直接接触）；此过程中注意个人安全防护。 将取出的晶棒放置到规定地方冷却。 6、取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶； 7、单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号、批号、料号；ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造 4、仪器/工具/材料取晶架、钢丝钳、耐高温手套 5、相关表格单晶炉操作记录文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称石墨件的取出隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 1、目的规范石墨件的取出工序 2、适用范围适用于每炉石墨件及埚底硅料的取出及大清时整个热场的取出 3、作业内容一石墨小件的取出 1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂勾； 2、戴好手套及耐高温手套； 3、按顺序取出导流筒和保温盖； 4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上，注意要拿稳并轻放。 5、戴好耐高温手套依次取出石墨三瓣埚、石墨埚托放在装石墨件的不锈钢长板车上，放上后要注意放稳当，观察三瓣埚是否有微裂纹并做相应记录。 6、取出的石墨件一并放在不锈钢长板车上，在不锈钢长板车边挂上石墨件所属炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨件放置，防止坠落。 二石墨大件的取出（一般3炉做一次，需作好大清记录）、取出上成型碳毡和上保温筒放在不锈钢长板车上。 、将操作手柄上的按钮打向UP位置，升起炉筒至限位，旋转炉筒到一侧。 、取出中成型碳毡和中保温筒放在不锈钢长板车上。 、先取下加热器螺丝盖，用专用工具取下加热器螺丝后，取下加热器放在不锈钢长板车上。 、依次取出石墨托柄、坩埚轴挡料罩、排气套管、底保温板、下保温筒、炉底防漏板、石英电极环、石墨电极、炉底板、坩埚轴护套、底保温支撑环、炉底碳毡等放在不锈钢长板车上。 在小车边挂上石墨件炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨件放置，防止坠落。 三取出埚底硅料 1、戴好耐高温手套和准备好钳子； 2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动； 3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；注意事项及原由 1、所需要物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费； 2、取导流筒及保温盖时要从炉内向上平移轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌石墨件是碰撞造成损坏及对成型毡的磕碰，造成成型毡与热电堆孔取光发生偏移，造成欧路控制温度精度，而影响晶体直径控制；ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称石墨件的取出隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 3、不锈钢小车上一定要平铺一层石墨板，且保持洁净状态，一是为了防止金属原子在高温时向石墨件的扩散，进而在拉晶时扩散到坩埚硅熔体里，降低单晶硅少子寿命，影响产品质量；二是防止石墨件再次污染； 4、用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身体及衣服，应小心取埚底料，应避免埚底料从热场的缝隙掉下，这工序把埚内的料全部取出； 5、待石英坩埚和埚底冷却后，放入指定的箱子并做好编号；ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造 4、仪器/工具/材料不锈钢小推车、钢丝钳、耐高温手套，各种专用工具 5、相关表格单晶炉操作记录文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称储尘罐的清理隶属单晶车间PAGE第1页OF共1页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 1、目的规范储尘罐的清理工序 2、适用范围适用于单晶炉的清扫工作 3、作业内容一做业准备 1、准备好毛刷、吸管、专用工具； 2、带好手套、防尘口罩；注意事项及原由 1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费二清理储尘罐 1、用专用工具松开储尘罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网； 2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物； 3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐； 4、用刷子和吸尘器清扫罐盖； 5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；并检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空。 6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓； 7、清洁大罐表面卫生；注意事项及原由 1、打开大罐前确认真空泵球阀在打开状态和真空泵电源在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内倒吸气，造成炉内污染； 2、工作时要慎重作业，防止造成意外伤害；盖大罐盖前要将大罐盖密封圈擦净； 3、安装大罐盖时检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空； 4、大罐内氧化物容易飘散，在清扫时应竟量避免与周围作业造成交叉沾污； 4、仪器/工具/材料 5、相关表格单晶炉操作记录ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称单晶炉的清扫隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造 1、目的规范单晶炉的清扫工序 2、适用范围适用于单晶炉的清扫工作 3、作业内容一做业准备 1、带口罩、手套； 2、准备好防尘口罩、纸巾、酒精、研磨布、吸尘器管等清扫所需物品；注意事项及原由 1、工作服必须洁净。 工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工序带来沾污； 2、所用物品必须洁净、就近摆放整齐。 物品的齐全及就近摆放能减少不必要的时间浪费；二管道清扫 1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥物彻底吸尽； 2、用一头缠钢丝球的长棒伸入管道抽动，另一头用吸尘刷吸除抽气管道内的挥发物。 3、用沾有酒精的纸巾认真擦扫封盖和密封圈，再安装好。 三副室清扫 1、打开副炉室门； 2、用粘有酒精的纸巾擦拭小付室的附着物； 3、用沾有酒精的纸巾认真擦拭付室抽气口、其它小孔及隔离阀四周及转轴（旋转隔离阀的小付室要认真擦拭到腔体内的每个角落）； 4、隔离阀板的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状认真擦拭； 5、擦拭的部位要确认无污染； 6、以上做过的部位反复操作，直至确认无污染； 7、清扫过的小付室将隔离阀盖住阀口，并关闭付室小门； 8、用洁净的纸巾将小付室上口盖住；注意事项及原由 1、先清理小付室。 如果先清理炉盖后清理小付室，在清扫翻板或旋转阀时都会给清理过的炉盖造成沾污； 2、氧化物附着较多时，先用毛刷及吸尘器处理； 3、清扫付室抽气孔时要把纸巾卷成卷以便伸进抽气孔内部更容易清理。 当出现倒吸气情况时要将付室抽气管拆下用酒精或丙酮清理并吹净； 4、反复操作有利于彻底清除污物； 5、盖住阀口，防止在清理炉盖时将污物带入小附室； 6、注意阀板上的钢丝水管是否拧劲儿，接头是否松动漏水，造成不成晶； 7、注意检查阀口密封圈是不是损坏或出槽，尤其是旋转阀操作时要提升到位一面磕碰密封圈导致密封圈出槽或损坏； 8、用纸巾盖住小附上口防止空气中的污物进入小付室； 9、出现异常立刻处理，并报告组长或车间主管；文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称单晶炉的清扫隶属单晶车间文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造日期四炉盖清扫PAGE第2页OF共2页 1、观察炉颈处的积渣情况，然后用纸巾擦扫内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。 2、小孔部位、观察窗部位、照相机部位、阀口部位各处的接口及焊接口等不易清扫的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦扫，直至确认无污物。 3、硅粉强力附着时或炉盖局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物。 4、观察窗、相机窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。 5、用沾有酒精的纸巾认真擦扫抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。 打开翻板阀，翻板阀的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状再认真擦扫。 检查翻板阀对中情况和翻板阀冷却水。 注意事项及原由 1、氧化物较多时（停电、真空泵故障等造成返气）先用毛刷和吸尘器清理； 2、硅氧化物强力附着时，会造成炉盖局部发黑、发白，要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物； 3、观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。 4、反复操作有利于彻底清除污物；五炉筒清扫 1、先用纸巾擦扫内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。 2、取光孔部位要用沾有酒精的纸巾认真擦扫，直至确认无污染。 3、硅粉强力附着时或炉筒局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁出现光亮无污物。 4、仪器/工具/材料 5、相关表格单晶炉操作记录文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称石墨件及炉内的清扫隶属单晶车间文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造日期PAGE第1页OF共2页 1、目的规范石墨件及炉内的清扫工序 2、适用范围适用于单晶炉的清扫工作 3、作业内容一石墨件的清扫 1、单晶炉需安装新的20英寸热场和石墨毡，其操作步骤详见热场（石墨件）的清理和石墨毡包扎工序； 2、石墨件必须在指定的清扫台进行清扫； 3、准备好清扫用品（毛刷、纸巾、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小车等）带好手套、防尘口罩； 4、依次用毛刷、吸尘器、纸巾、清扫石墨件，直至确认无污物； 5、沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨，而后进行 2、3的操作 6、待石墨器件冷却后，用吸尘设备吸去石墨器件上的氧化物。 沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用砂布认真打磨。 7、清洁加热器时先用氧化铝砂布打磨加热器的内外表面及夹缝的氧化物。 8、检查石墨器件上是否有硅蒸气沉积引起的凸出物，如有用打磨机去除，并用吸尘设备清除干净，确认无污染物。 9、检查石墨器件有无缺损、裂缝及使用的炉数，如有缺损、裂缝或使用炉数已达到规定的数量，需根据实际情况及时调换新的已锻烧过的石墨器件注意事项及原由 1、清扫台内及周围环境必须洁净； 2、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费； 3、操作时要轻拿轻放原则，以免造成石墨件的损坏； 4、依次按三瓣埚、埚底、埚杆、导流筒、保温盖（必须分开清理）的先后顺序进行认真的清扫直至无污物； 5、清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净的小车上； 6、清扫时注意检查各个石墨件是否有损坏或粘硅； 7、清扫垃圾放入垃圾筒内定期处理； 8、清扫完毕后的石墨件禁止叠加放置； 9、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；二炉内的清扫及检查 1、准备好毛刷和吸尘器的专用工具； 2、用专用工具仔细地疏通废气孔，用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的残渣；用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒，加热器所能触及到的部位； 3、检查电极螺丝是否松动、脱落或粘硅；文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称制造石墨件及炉内的清扫文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG签名日期注意事项及原由 1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的浪费； 2、加热器清理不净，容易在加热时氧化物会迅速挥发扩散，从而严重污染原料； 3、电极螺丝如果松动、脱落或粘硅，在化料时很可能引起打火，造成事故； 4、如果在拆炉时不小心引起热场移动活转动一定要检查热场是否对称，侧温孔是否校正。 （如图所示，距离是否一至）； 5、用带有酒精的纸巾清理炉筒内壁上部； 6、炉底必须清理洁净不然会造成化料时污染物挥发影响料的质量，再就是不挥发的杂质渗透到炉底影响下保温，或则操作时不慎会掉进波纹管内造成液面抖不成晶，严重时造成事故； 7、在清理废气孔时必须作到两侧彻底清理，若两侧的废气孔抽气速率不同会造成气流向某一侧偏移而导致单晶晃，若两侧都是疏通不畅会影响抽气速率，致使炉壁、炉盖、石墨件大量附着氧化发物； 8、热场不对称一是造成单晶摆动，二是单晶摆动会碰到导流筒； 9、在清扫炉内过程中，可能有残渣再次掉落； 10、如果侧温孔有偏离会影响测光信号导致欧陆数值过小，无法对炉内温度进行自动控制无法成晶； 4、仪器/工具/材料 5、相关表格单晶炉操作记录隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部ORIGINATOR APPROVEQC MFG门签名日期编制审核质量制造热场的清理及安装隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页 1、目的清除炉内杂物、规范热场的安装，提高产品质量。 2、适用范围适用于单晶炉整个清扫作业。 3、作业内容一热场的取出作业准备 1、准备好不锈钢小车及专用工具； 2、工作服必须洁净。 工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工序带来沾污；戴好手套及耐高温手套；注意事项及原由取出石墨件详见石墨件的取出操作升起炉筒 1、取下热电锥，将其及对应的密封及玻璃放到适当的位置，以免损坏或丢失； 2、打开液压泵开关； 3、按住炉筒升按纽，升起炉筒至限位； 4、旋转炉筒，并降至适当的位置；注意事项及原由 1、炉筒升起过程中注意与炉盖的间隙，切记与炉盖发生接触。 否则会油缸损坏或炉盖、炉筒、对应支架、液压缸柱发生变形损坏； 2、炉筒上升一定要到上限，否则在旋转炉筒时造成炉筒机械限位损坏； 3、旋转后的炉筒一定要降到适当的位置，否则炉筒的突然下滑造成人员的伤害，另外不下降长期会导致油缸导柱弯曲变形；取出热场 1、依次取出保温材料放在不锈钢小车上，移至适当位置自然冷却；注意事项及原由 1、所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费； 2、取出保温材料时要轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌成型毡、加热器的碰撞造成损坏； 3、用专用工具取下电极螺丝而后取下加热器移至指定区域自然冷却； 4、取出成型炉底毡； 5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；二热场的清理及安装 1、准备好毛刷、吸管、纸巾、研磨布、石墨纸等所需物品； 2、用吸管、毛刷清扫不锈钢炉底、电极柱，直至无污染； 3、用毛刷、吸管认真清扫成型毡、炉底各部位； 4、清扫后成型毡炉底装好； 5、用毛刷、吸尘器、依次清扫保温筒、成型毡保温材料，清扫后是保温材料依次装好； 6、用毛刷、吸尘器清扫加热器后，用研磨布、吸尘器认真打磨加热器上挥发物； 7、再次用毛刷、吸尘器吸净加热器，直至确认无污染；文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进WORK STATION工序名称热场的清理及安装隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页部门签名日期 8、清扫后的加热器装好（16寸热系统先装好电极脚）； 9、用沾有酒精纸巾清扫主室炉筒及测取光孔，直至确认无污染；注意事项及原由 1、清扫不锈钢炉底时，一定注意将两边抽气管道彻底清理，否则可能会造成管道堵塞，影响抽速； 2、清扫电极柱时要检查接触面是否平整； 3、清扫成型毡时要彻底清扫废气孔，安装炉底及成型毡时候要慎重作业，防止磕碰成型毡造成损坏； 4、清扫及安装加热器时要慎重作业，防止损坏加热器； 5、电极柱、电极脚、加热器各接触面保证平整，安装时要在接触面上垫一层石墨纸，防止热场打火；三炉筒复位 1、打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精是纸巾擦拭下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部，同时移动炉筒到适当位置； 2、按炉筒降，降炉筒至下限； 3、炉筒降到位后，校对测温孔，转入日常清理工序；注意事项及原由 1、移动炉筒时，要确认炉筒与炉盖的间隙，防止损坏炉筒及炉盖的支架和油缸导柱； 2、确认炉筒是否降至下限，否则会造成抽空漏气； 3、要认真校对测温孔，防止测光信号过小而无法温度自控；ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造 4、仪器/工具/材料 5、相关表格单晶炉操作记录文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 1、目的规范石墨件的安装与装料准备，确保装料的工艺卫生。 2、适用范围适用于装炉作业 3、作业内容一安装石墨件 1、安装前需检查1. 1、热场的所有石墨器件必须是经过锻烧合格方可使用。 1. 2、检查主室底座的清洁度，确定电极柱周围及坩埚轴端面上没有石英、石墨碳毡及硅粉颗粒。 2、底盘安装将热场底盘放在主室底座上，底盘安装须平稳。 底盘边缘与主室底座内壁的距离应相等。 底盘上的电极孔、中心孔要与主室底座的孔对应、对正。 3、装电极柱装电极柱装电极柱时不宜太紧，否则容易涨裂引起电极打火。 装电极柱时要检查两个电极柱是否在同一水平面上。 4、装石英环在装石英环时，先用吸尘设备吸除电极周围的粉状杂物。 确保石英环在电极和底盘之间起到绝缘作用。 5、装石墨加热器安装加热器时，电极螺丝必须拧紧，加热器与电极的接触部分须垫碳箔，否则会引起放电、打火事故。 必须注意的是，每次清炉时电极螺丝先松掉后再拧紧。 以防硅蒸汽进入电极螺丝和加热器脚之间的缝隙使之粘住无法拆卸。 检查加热器上口是否处于同一水平面。 6、安装石墨中轴连接杆安装连杆时，紧固连杆的螺丝必须加垫片，连杆上下左右晃动的间隙小于1mm。 连接杆必须处于正中心位置。 安装石墨埚托、三瓣埚埚托安装须平稳，下降坩埚轴至最低位置时距离加热器脚应不少于2cm。 埚托与三瓣埚装配时必须紧密配合（装配时主要检查三瓣埚的底部与埚托是否因加工误差造成高度不一致，装配不紧密）。 下降并转动坩埚轴，检查托身上口与加热器上口是否在同一平面。 如不在同一平面，检查连杆的锥度与下轴的锥度配合是否紧密，如不紧密须修正连杆的锥度或由设备维修人员检修下轴调节下轴的垂直度。 当三瓣埚上口和加热器上口在同一平面时,将此时的埚位记录在运行记录本上。 检查三瓣埚与加热器之间的间隙是否均匀(三瓣埚与加热器之间的间隙相差应小于3mm)。 7、装保温筒:保温筒必须平稳地安装在底盘止口上,并须检查保温筒与加热器之间的间隙是否均匀。 用丝光毛巾或无尘纸蘸少许无水乙醇擦净主室底座与主室接触的密封部位。 转回主室直至主室上的导向孔对准导向柱为止。 按下控制面板上”下降”按钮,使主室平稳地停在底座上。 8、对准温度信号孔:保温筒上的温度信号孔必须和主室炉筒温度信号孔对正，如不对正可旋转保温筒调节PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称石墨件的安装与装料准备隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造文件名称单晶炉作业指导书文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称石墨件的安装与装料准备隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 9、装上保温罩上保温罩必须平稳地装在保温筒上,所有止口必须到位；装好隔气环压盖； 10、石墨件安装完毕后，如热场需要煅烧，则进入安装导流筒及大盖、合好炉盖、副室的清扫、安装、安装籽晶、抽空和煅烧工序；注意事项及原由 1、装埚杆、埚底、埚盘时要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器； 2、一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动； 3、确认埚杆、埚底、埚盘是否吻合，若有异常及时处理并报告班长或车间主管；二装料准备 1、认真打扫炉体周围地面，炉筒、炉盖的外侧及周边，用沾有酒精的纸巾擦拭干净； 2、从指定的场所取指定的硅原材料及石英坩埚； 3、将取来的硅原材料放在装料车上，并与料单对照核实下； 4、带好防尘口罩、装料用的手套； 5、远离操作区，用吸尘器将操作者身上浮尘吸净； 6、穿戴好装料用的专用工作服，戴好工作帽子带好防尘口罩、装料用的手套；注意事项及原由 1、彻底打扫炉体及周围卫生，防止装料过程中造成污染； 2、取来的硅原材料及石英坩埚应与上次的数据对照，防止影响单晶型号及各种参数；三石英坩埚的检查安装 1、打开石英坩埚包装，取出石英坩埚，检查有无异物。 对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点；如有直径大于2mm里层气泡拒绝使用。 2、若无异常，用氮气或氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫，吹净浮尘； 3、确认无误后轻轻放入三瓣埚内，放平，高出三瓣埚内要均匀。 装好后开埚转看埚是否对称。 注意事项及原由 1、一定要仔细检查石英坩埚是否有异常，石英坩埚若有异常可能会导致成晶困难或漏硅； 2、石英坩埚内残留浮尘会严重影响成晶，吹扫时不要使氮气或氩气管碰到石英坩埚内壁； 3、注意安装时要注意石英坩埚与石墨坩埚的间隙，要均匀一致，否则会导致石英坩埚变形造成液面抖动；不利于单晶成晶； 4、仪器/工具/材料 5、相关表格单晶炉操作记录ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称装炉隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 1、目的规范硅料安装，确保生产 2、适用范围适用于硅料安装 3、作业内容一装料 1、更换装料用的一次性塑料手套； 2、按照料单把称量好母合金放入石英坩埚内； 3、在埚底平铺一层碎、小型硅料，然后将大型硅料放在上面，为了稳固在大型硅料之间的间隙里填充碎、小型硅料，确保硅料安装的密实； 4、在大块硅料装完后，再装中型硅料，余下的中型料，由坩埚壁到坩埚中心依次由大到小摆放，细小的碎料尽量装在中下部，以免在熔料中发生因挂边而将石英坩埚向内拉弯造成变形； 5、在装料到石英坩埚最上层时，中型硅块料靠坩埚壁尽量以点接触，避免面接触，造成挂边；上部硅料，高出石英坩埚的要向内倾斜； 6、总之确保中下部块料和埚壁是以面接触为好，上面的块料应以点接触面为好； 7、最后将硅料堆成金字塔形状，有利于放导流筒； 8、装料完毕后，用吸尘器吸尽装料时掉落在石墨材料上的硅粉。 将三瓣埚降至化料位置，放置好保温盖和导流筒。 注意事项及原由 1、更换手套，防止污染原料； 2、先将合金放入石英坩埚，防止遗忘； 3、装料时要就轻拿轻放，防止碰撞石英坩埚造成事故； 4、装料用手套不要接触周边物品，装料用手套注意更换，防止手套破损，掉入埚内污染材料； 5、装料时注意不要使硅料伸出石英坩埚，否则会在化料过程中硅液流下损坏石墨件，甚至使整炉硅料报废； 6、装料时要慎重作业，不要使硅料掉在保温材料和加热器之间的缝隙，以免造成加热器短路打火，跳闸，甚至损坏加热器； 7、装料时一定要使合理搭配，防止化料埚位过低，造成漏硅； 8、装料时保证装硅料质量的情况下，应提高装料速度，降低装料过程中硅材料被污染； 9、不论是上、中、下哪个部位，料块尖锐部位不能直接对着坩埚壁 10、将埚转设置为2r/min，保证原料不接触导流筒。 ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称装炉隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期二安装导流简及大盖 1、装料完成后埚转为2/RPM左右旋转，查看坩埚旋转情况； 2、清洁周边（埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部）用干净吸尘器吸净灰尘及硅渣； 3、确认无摩擦快速将埚降至下限，埚降到位后，停止埚转，装好保温盖、导流筒；注意事项及原由 1、给埚转2/RPM，降埚时便于查看加热器与保温材料间是否有硅料，以便及时处理； 2、吸净灰尘、硅渣，可防止在后续工作中掉入埚熔体中影响成晶，此时必须确认吸管在干净状态，防止污染材料； 3、保温盖、导流筒安装前远离装料区用毛刷和吸尘器吸净表面； 4、安装保温盖、导流筒时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与硅材料发生接触时调整料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG制造 4、仪器/工具/材料 5、相关表格单晶炉操作记录文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称制造合炉及籽晶的安装隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 1、目的规范合炉及籽晶的安装作业 2、适用范围适用于合炉及籽晶的安装作业 3、作业内容一合好炉盖 1、用沾有酒精的纸巾擦拭炉盖接合部、炉筒的接合部的封密圈并检查，确认无问题后，将炉盖旋转至炉筒上部； 2、打开液压泵电源，按炉盖降按钮下炉盖；注意事项及原由 1、在下降炉盖时一定要注意炉盖限位是否正常，防止与炉盖与保温盖接触，损坏石墨件； 2、炉盖降到位后要确认炉盖是否合到位，防止抽空时漏气；二副室的清扫安装 1、准备好清扫棒、纸巾或者毛巾、酒精； 2、在清扫棒上缠上沾有酒精的纸巾，清扫副室内部至上部； 3、用清扫棒吹扫副室内部至上部，直至确认无污物； 4、快速降下籽晶卡头，并检查钢丝绳； 5、用沾有酒精的纸巾认真擦拭重锤及钼夹头； 6、按晶快升升起重锤至适当位置，用沾有酒精的纸巾擦拭副室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动副室，降下与炉盖合炉；注意事项及原由 1、所需物品必须准备齐全、洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费； 2、副室上部也要清扫，副室内腔部位清扫棒多次吹扫； 3、擦拭过的重锤及钼夹头一定要保证无残留物； 4、如需要对重锤卫生清洁时，将其拿下用研磨布认真打磨，并清扫干净，摘下重锤时要慎重作业，防止钢丝绳上造成钢丝绳出槽； 5、清扫钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，若有，则应截去一截钢丝绳，重新固定，并检查行程是否达到要求，否则，应更换新的钢丝绳； 6、升重锤时，不要使重锤晃动，防止重锤挂住副室下沿，拉断钢丝绳；要缓慢移动副室，防止重锤与副室内壁碰撞ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称制造合炉及籽晶的安装隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期三安装籽晶 1、从指定的场所将腐蚀好的籽晶取来并加以检查； 2、用沾有酒精的纸巾认真擦拭籽晶； 3、把籽晶装在夹头上，装好钼销； 4、用力向下拽一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后，按晶快升使其上至适当位置； 5、用沾有酒精的纸巾擦拭副室小门的封密圈和接合部； 6、打开隔离阀，关闭副室小门，拧紧四个螺栓，开始抽空；注意事项及原由 1、注意不要直接用手接触籽晶，防止汗渍污染籽晶； 2、籽晶上升到适当的位置后，确认隔离阀打开时不会碰到籽晶，后方可关闭小门； 3、打开隔离阀不要用力过猛，否则可能会损坏或挤出阀口密封圈； 4、对于没有副室小门的单晶炉则在安装副室前安装籽晶； 5、抽空前检查钢丝绳是否与卷轮吻合，以防钢丝绳出槽，造成重锤或单晶棒下坠，甚至重锤或单晶棒脱落到坩埚内，造成恶性事ORIGINATOR APPROVE审核QC质量MFG 4、仪器/工具/材料 5、相关表格单晶炉操作记录文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORK STATION工序名称制造抽空、加热隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)for Update更新原因工艺改进部门编制签名日期 1、目的规范抽空、加热作业 2、适用范围适用于单晶炉抽空加热作业 3、作业内容一抽空 1、打开真空泵电源； 2、缓慢打开球阀； 3、炉内真空度在连续抽空30分钟应达到6.0Pa以下。 当真空抽不下去时，可以开启氩气阀门向炉内通入氩气，保持35分钟后关闭氩气，继续抽真空，使炉内压力6Pa；若在充氩气三次后，真空还是抽不下去，要与维修人员联系检修。 4、关闭真空球阀，进行冷检漏3分钟，看漏率是否小于1Pa；注意事项及原由 1、真空泵开启时应点动几次真空泵开关按纽，以防真空泵直接起动电流过大损坏电机、泵、及线路控制系统； 2、真空泵球阀必须缓慢打开，否则会造成泵或电机瞬间电流过大损坏电机，泵及线路控制系统还会造成真空泵向尾气管内喷油，造成真空泵油量不足影响抽空和真空泵的寿命以至造成真空泵的卡死； 3、进行充气时，对流量计的使用必须打开流量计球阀，而后缓慢打开流量计针阀，关闭时，先关闭流量计球阀后，关闭流量计针阀，否则会因为氩气管内的压力使流量计浮子突然上升打碎流量计内的玻璃管。 切记流