线切割机操作指导书.doc

线切割机操作指导书 文件号HNS/T001-57-xx页1/23复印号多线切割机操作指导书发行年月日浙江长兴众成电子有限公司硅片加工部线切割机操作指导书文件批准适用线切割机的日常操作和维护范围页文件号制定日批准2/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日审查复印号制定封面第1页目录、修订记录第2页1流程图第3页目2相关文件第4页3记录表格第4页4使用机器?设备第5页录5使用材料第5页6作业程序第6页7异常处置第19页8工序质量控制表第22页9文件分发范围第23页修订记录版号生效日修订要点适用页数线切割机操作指导书页文件号制定日3/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号1流程图启动主开关电控门是否关闭UPS风扇是否打开将FEED上升到装单晶位置装好砂浆盖板启动压缩空气（5-6bar)循环水或自来水是否打开单晶与线网间的零位调整装上单晶并锁紧启动制冷系统启动断线保护检查冷却水压力（1.5-2.5bar)确认切割工艺程序是否正确？是确认砂浆嘴位置是否正确？是否重新选择切割工艺程序检查冷却水温度（7-12度)否重新调整砂浆嘴位置检查砂管连接是否正常?是是搅拌泵是否开启启动冷却泵启动供砂泵放线轮钢线是否足够是否更换钢线检查砂嘴位置处的砂帘是否均匀？是否检查砂嘴是否堵住？收线轮钢线是否满？否更换收线轮是关闭供砂泵检查砂浆密度是否为1.618-1.665?是检查所有线滑轮状况否砂浆再生将FEED自动降到切割零位关闭所有门注意事项检查时将小滑轮转动、观察转动是否自如，将操作面板上的S 118、S119置于OFF等待机床所有部件温度稳定检查操作显示屏是否显示所有门已关闭？否检查所有门是否关好？是检查线网是否有跳线？是跳线处理启动所有马达否按02屏F4，然后启动START切割线切割机操作指导书页文件号制定日4/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号2相关文件文件名称文件控制程序质量记录控制程序设备控制程序工作环境控制程序生产过程控制程序检验和试验状态控制程序产品标识和可追溯性程序顾客财产控制程序产品防护程序监视和测量装置的控制程序过程和产品的监视和测量程序不合格品控制程序数据分析控制程序改进控制程序3.记录表格序号表格名称1异常发生报告书3异常联络书4成绩管理图5生产进度管理图6异常发生报告书发行台帐7异常联络书发行台帐8异常联络书接收台帐9单晶定向粘结记录10线切割作业记录11BOW/WARP测量记录表12每周检查/维护表13每月检查表143个月检查表156个月检查表1612个月检查表17线切割问题报告18原材料管理表（电子版）19导轮使用管理表（电子版）20砂浆更换记录表（电子版）文件编号QP/HNS04-01QP/HNS04-02QP/HNS06-02QP/HNS06-03QP/HNS07-06QP/HNS07-07QP/HNS07-08QP/HNS07-09QP/HNS07-10QP/HNS07-11QP/HNS08-03QP/HNS08-04QP/HNS08-05QP/HNS08-06编号QP/HNS012-001QP/HNS08-03-03QP/HNS012-003QP/HNS012-004QP/HNS012-006/QP/HNS012-066QP/HNS012-067QP/HNS012-068QP/HNS012-069QP/HNS012-070QP/HNS012-071QP/HNS012-072QP/HNS012-073QP/HNS012-074QP/HNS012-075QP/HNS012-076QP/HNS012-077线切割机操作指导书页文件号制定日5/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号4.使用机器?设备名称线切割机（wire saw）X射线定向仪晶锭夹持专用工具车热水器或加热槽电子天平电子磅秤5使用材料名称碳化硅（SiC）聚乙二醇(Glycol)钢线（wire）树脂条（BEAM）导轮（wire guide）型式GC1200PEG300160m使用目的切割时产生研磨切割的主耗材作为SiC的悬浮剂和分散剂线网和切割液载体产生一定间距的线网型式DS263YX-2D YP-1200XK3190-A7使用目的?进行硅单晶的切割?为切割机提供冷却水?进行硅单晶锭的定向?夹持固定和搬运晶锭、导轮?产生脱胶所用热水?称量粘胶?秤量悬浮剂、切割用砂冷冻机(cooling unit)KWW410- 4003、 4、 5、INCH粘结单晶的载体小滑轮（Puley）国产或进口对钢线进行导向胶（Resin andhardener）Q-BOND1MR粘结单晶、树脂条和铁块压缩空气4-7bar驱动主轴运动KLUBER润滑油脂MOBIL润滑油脂LUBCON润滑油脂冷冻剂Isoflex Topas润滑机器进给、滑门以及心型轮主轴NCA52Vactra OilNo.2摆线装置的直线导轨Turmpast MA2导轮的固定、活动轴承，以及主导轮连轴节BOSS-875冷冻机使用必须线切割机操作指导书页文件号制定日6/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序6.1装配6.1.1人员要求这些装配必须由被公司授权的和受到全面训练的维护技师来执行。 6.1.2装配线导轮6.1.2.1准备工作1）准备好要安装上去的3个线导轮；2）准备好安装用的工具车(说明书P38，PICT10-5/4)、专用安装工具、专用润滑油脂(Fin Grease和LUBCON)）、力矩扳手等。 6.1.2.2拆卸线导轮警告绝不允许将线导轮外表面（槽）作为放置面来放置。 不要损伤槽。 绝不允许将线导轮浸没在液体中。 下前提线网和导轮间的接收盘已经取出，机器已清洗和吹干。 按导轮1#、2#、3#的顺序拆卸导轮，每个导轮拆卸的详细步骤如下1)拆下活动轴承与固定轴承上的环形防护箍(P37,PICT10-4)并记录位置。 2)将导轮转到合适角度，在活动轴承外端槽中安装把锁A(PICT10-3/1)。 拆下活动轴承外端锁紧螺母中的小螺丝（PICT10-2/3）。 拆下锁紧螺母(PICT10-2/4)。 拿掉把锁A。 3)在线导轮上安装起(长)吊螺钉，并将悬吊装置(P38-PICT10-5/2)从小车推倒切割机导轨上，合上导轨上的安全销。 调整悬吊装置的2个吊臂的槽，使它卡在锁紧螺丝下，转动悬吊装置的星形扭手使悬吊装置和起吊螺钉扣牢，但不要太紧。 4)在活动轴承侧安装“(轴承)撤退装置”withdrawal device(PICT10-3/2)。 用撤退装置把活动轴承往后拉直到停止。 拆下连接杆（并在连接杆上记录导轮号和“FL”和“LL”的位置）。 5)将起重小车与导轨连接，拔下导轨安全销。 用悬吊装置慢慢拉出导轮，要用星形扭手调节高低左右来避开障碍物，将导轮拉到小车上并锁好小车上的安全螺栓。 拉开小车。 6)在导轮两端下方各安装2个支撑螺钉。 将有支撑螺钉的导轮放置到专用平台（车）。 用布清理导轮槽，气枪吹干净，记录导轮位置号。 用酒精和绸布擦干净轴承端面与卡槽，并在其上加油脂树脂面加的是Fin Grease，金属面加LUBCON。 7)假如这些导轮暂时不准备再使用，要等有专用木箱可以放置后，再用起重小车吊起导轮，拿掉支撑螺钉。 之后要2个人抬，按1#放在最下面的原则，将导轮放进木箱。 木箱安放位置要注意防潮防水。 注意事项*同一组导轮编号大的为3#，编号小的为1#，中间为2#*位置1#、2#还是3#，FL还是LL。 *务必先拆下小螺丝。 *一定要注意FL端的位置和LL端的位置不能调换，1#、2#、3#导轮的位置和连接杆也不能调换。 一般导轮上号码大的为3#导轮，号码小的为1#导轮。 *每次安装前或卸下后，都需要加油脂或润滑脂，以防磨损。 线切割机操作指导书页文件号制定日7/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序1Legend21Plug oftemperature sensor32Attachment ofwithdrawal4device53Locking screw4Nut5Connecting rodPICT10-2:Movable bearing123PICT10-3:Withdrawal device/twist lockLegend1Twist lockA2Withdrawal device3Outer diameterof movablebearing44Cover ringPICT10-4:Wire guide roller线切割机操作指导书页文件号制定日8/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序12345678PICT10-5:Suspension devicefor wireguideroller注意事项Legend1Star knob2Suspension device3Fastening bolt4Lifting carriage5Fixing screw6Wire guideroller7Support bolt8MarkLL导轮安装后第一次切割后要用200Nm的力矩勒紧螺母，勒紧时要将所有的马达关闭。 6.1.2.3安装线导轮按导轮2#、3#、1#的顺序安装导轮，每个导轮安装的详细步骤如下1）在要安装的线导轮上安装两个起吊螺钉(P38，PICT10-5/5)。 确认导轮和起重小车两端标记，FL靠固定轴承，LL靠活动轴承。 2个人小心地用悬吊装置（P38，PICT10-5/2）卡在起吊螺钉上抬起，将导轮吊起放置到小车上，注意导轮FL端必须和小车FL端一致，并立刻锁好小车上的安全螺栓。 2）用布清理导轮槽，气枪吹干净。 用酒精和绸布擦干净导轮两端面，并加油脂树脂面加的是Fin Grease，金属面加LUBCON。 3）提升起重车与机器导轨对接。 拔下小车的安全螺栓，将悬吊装置推到机器导轨上，要用星形扭手调节高低左右来避开障碍物，慢慢将导轮推到要安装的位置。 锁紧导轨安全销，移走工具车。 4）1人调整星形扭手（P38，PICT10-5/1），另1人看活动轴承孔，使导轮中心与轴承中心保持一致。 装入对应该导轮的连接杆（如2#轮用2#杆），旋紧到手不能紧。 5）用力慢慢推动导轮靠近固定轴承，同时顺时针旋转连接杆，使导轮端面凸起部位完全落入轴承中心凹面内，靠近到左边界限为止；6）往FL方向推动活动轴承，靠紧导轮LL端面，注意对准凹凸面。 7）移走悬吊装置。 8）在活动轴承端安装锁紧螺母到连接杆。 将导轮转到合适角度，在活动轴承外端槽中卡入把锁A。 先用力矩扳手选用100Nm的力矩勒紧螺母；再用力矩扳手选用200Nm的力矩勒紧螺母。 除去专用把锁A。 再螺母上找个可以拧进去的孔，安装小螺钉（P37，PICT10-2/3）。 9）安装环形轴承防护箍（P37，PICT10-4/4），尽量靠近轴承方向，使防护箍与导轮有一定的间隙，用塞尺检查，不得小于0.08英寸。 当3个导轮全部装好，再安装砂浆接盘。 线切割机操作指导书页文件号制定日9/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序6.1.3进、回线轮的安装6.1.3.1准备工作1）准备好要安装的进、回线轮，要装上去的回线轮必须是经过清理的，连接杆、轴套、螺母等也必须清理干净。 2）准备好安装用的专用定位工具、润滑油脂、扳手、吊车等工具。 6.1.3.2警告安装进线轮和回线轮一定要两个人一起操作放下轴套、线轮时、线轮压到轴套时，要轻而慢并对准，防止线轮碰坏连接杆或轴套卡槽。 并注意人身安全。 6.1.3.3进线轮的安装1）将左边连接杆用布擦干净后涂上少量油脂；2）安装下端锥形止推轴套，注意轴套上的孔对准连接杆上的销；3）用专用工具（卡位插杆）定位；4）确认新进线轮出线方向为逆时针方向；5）使用吊车和夹具，或两人一起手捧装上新线轮，放下时要将线轮底部的短销卡入椎形止推轴套的槽中；6）安装上端锥形止推轴套（说明书P41，PICT10-7/2）；8）安装长轴套（PICT10-7/4）；9）安装制止轴套（PICT10-7/1，一般和长轴套在一起没有分开）；7）安装垫圈（PICT10-7/6）；10）安装螺母，手动旋紧到拧不动后，用扳手转2次120?（不很用力的情况下感到无法再拧紧的感觉），千万不要压太紧。 6.1.3.4回线轮的安装1）将右边连接杆用布擦干净后涂上少量油脂；2）安装下端锥形止推轴套，注意轴套上的孔要对准连接杆底座上的销；3）用专用工具（卡位插杆）定位；4）使用吊车和夹具，或两人一起手捧装上空回线轮；放下时要将线轮底部的卡槽与下方椎形止推轴套的卡槽一致（否则无法放下而且容易将下方椎形止推轴套的卡槽压坏）；5）安装上端锥形止推轴套（P40，PICT10-6/2）；6）安装长轴套（P41，PICT10-7/4）；7）安装制止轴套（PICT10-7/1）；8）安装垫圈（PICT10-7/6）；9）安装螺母，手动旋紧后用扳手旋紧到无法再紧后，转回1/4圈（90?）。 注意事项安装部位加少许润滑油脂*原因旋紧螺母时过紧容易将线轮压变形，并在切割过程中造成出线不顺畅，使线网张力波动大，严重时还会导致断线！线切割机操作指导书页文件号制定日10/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序6.1.4小滑轮的安装1）用布或纸蘸些酒精，将安装小滑轮的轴承部位擦干净；2）两手拿住小滑轮，大拇指按住小滑轮四周，其余四指按住安装小滑轮轴承的后面；3）用力将小滑轮按进安装部位，并尽量靠近内端面；4）安装完后转动一下小滑轮，检查小滑轮转动是否在同一平面上，如果有偏转要调整好。 5）在安装两个跳舞轮上的小滑轮时要特别小心，在安装轴承后面加垫硬物（专用垫块）；6）当有线存在、更换小滑轮时，要先把线轻轻拉开，然后用抹布擦掉安装部位的砂浆，再用布蘸些酒精将安装部位擦干净，注意不要让线打折。 安装穿越轮上的小滑轮时要非常小心，很容易使线打折，一般把跳舞轮和穿越轮上的小滑轮放到最后安装。 7）因为存在磨损和偏心，所以要定期检查和更换，其标准是磨损很深（1毫米以上）、磨损很宽或双槽或偏心很大时要更换。 目前一般一批新滑轮使用到第3次切完后开始每次检查，到第6次切完全部换掉。 6.1.5线导轮绕新线注意事项*原因由于跳舞轮是悬臂梁机构，直接用力安装小滑轮会使悬臂梁弯曲，导致前后小滑轮中心偏离，切割时容易单边磨损小滑轮，严重时会导致断线。 线打折可能会导致跳线甚至切割中断线。 6.1.5.1准备工作1）准备绕线用的皮带两根、透明胶、专用胶带、剪刀；2）准备挑线用的针、一字螺丝刀、专用剪刀；3）准备好照明用具。 6.1.5.2绕线步骤与方法1）将两根皮带的皮带头朝上、由1#导轮经过2#、3#导轮后扣在一起，在导轮组上一左一右各自距离导轮边缘约15cm。 多出部分用透明胶封住。 2）放上新线轮，从M11左线轮24穿越轮25滑轮41跳舞轮42轮43轮44B4测力轮61轮线头暂时吸在机壁(P45，PICT10-12)；进入“14屏”输入左右线轮长度(须与前次不同)、绕线起始张力15N；3）穿线头，从皮带头下面往上穿，绕固定螺钉1圈后用一字螺丝刀固定；4）进入机器绕线模式开始绕线，S 118、S119打到ON位置，M1马达方向打到正转（顺时针）即向导轮LL方向进线；5）在“2屏”状态下按F3进入“4屏”绕线模式，按F10进入“5屏”绕线马达页面，按F4激活M 4、M 11、M2马达，再按F8，M1马达启动；*注意要控制速度，不6）按住手柄S120使指示灯变绿，再按上方加速按钮，控制速度进行绕线；要过慢，也不要快。 7）使导轮上有3-4圈后开始挑线，先挑2#导轮，从它第一槽开始（以后根据槽的磨损情况逐渐向后退）将每根线挑入每一槽；8）2#导轮挑好后，松开手柄，按STOP关闭绕线马达，按ESC返回到线切割机操作指导书页文件号制定日11/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序“2屏”按F6进入“14屏”按F9将进线方改为M1马达逆时针转；9）退出14屏后，重复步骤 5、6挑1#导轮，从第一槽开始（以后根据槽的磨损情况逐渐向后退），切记1#导轮要和2#轮起始槽一致；10）1#导轮挑好后，挑3#导轮，从第二槽开始(以后根据槽的磨损情况与1#、2#、导轮一起逐渐向后退)即1#、2#导轮起始槽号值+1；11）3#导轮挑好后，松开手柄，按STOP关闭绕线马达，按ESC返回到“2屏”按F6进入“14屏”按F9将进线方改为M1马达顺时针转；12）重复511步骤使线网有610圈；13）用专用胶布固定线网，剪断线头后反折线头，再用胶布粘住线头；剪掉皮带头一端多出的线；14）重复5-6步骤开始向前绕线，最大线速为2m/s，注意不要让线网与皮带接触、及时移开皮带；待线网有200mm长度后拆下皮带；15）中途机器会自动停下来，只要放开握住手柄的手、再重新按住即可；快到最后时应放慢走线速度，到最后一圈抽出线头2-3m，此时要2个人操作，一人进线，一人拉线，防止跳线或线网松掉。 （导轮上进出线槽磨损很大，磨损严重时不再使用，应向导轮中间退1槽。 再磨损，再退槽。 ）；16）将线头从滑轮组71545352513534M12右线轮（P45，PICT10-12），将线头固定在右线轮上，并使跳舞轮恢复正常位置。 17）将S119（绕线模式按钮）打到OFF位置进入切割模式，消除报警，再开马达使线网再绕一部分（约250m）到右线轮上；18）线绕完成后，检查线网在导轮上的均布情况，不能有跳线、重线等现象。 19）最后检查进回线线网电压和张力，检查线在滑轮上是否卡进槽中，检查整个机器和线网上是否有多余的线或者异物存在。 6.2砂浆更换切割使用的砂浆要求有适当的黏度、密度以及饱和度，当其中任何一项指标超标时都会对切割的质量造成影响，因此在连续生产过程中要密切注意以上三项指标，（在切割过程中随时可以通过显示屏观察其中黏度和密度两项指标。 ）因此，在切割完一次后要对砂浆桶中的砂浆进行更换。 6.2.1使用工具电子磅秤一台称量重量搅拌容器（配砂桶）一个把砂和悬浮剂搅拌均匀水桶接砂倒砂防毒面具或厚口罩、手套人身防护6.2.2砂浆配比液砂=10.886注意事项*根据线导轮间距定圈数。 *线网、导轮上不许有残线存在，所以一定要取走。 *线网宽有30mm时，可将绕线张力改为切割时的张力。 *线网2端位置调整时相应要调整7号、14号小滑轮位置。 密度1.665kg/dm3饱和度7%*配砂桶内砂浆不能过少，且拉进拉出一定要2个人操作。 *适用于目前砂和液的配比。 但根据以后砂、液的种类变更，可能变化。 线切割机操作指导书页文件号制定日12/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序注意事项6.2.3配砂以及每次切割前砂浆更换的步骤1）根据切割单晶的长度、截面积以及砂浆的密度和饱和度计算确定下次切割前要更换的砂浆量，确定使用的悬浮剂、砂的类型，并记录；*配砂浆和更换砂浆都要2）用电子磅秤先将悬浮液根据计算出的重量称好后倒入配砂桶中；尽可能使实际重量等于3）戴好防毒面具后，将砂根据计算出的重量称好后倒入配砂桶中；4）加砂工作必须在未切割状态展开，一般是在切割完一次机器停切后；计算重量。 5）进入砂浆模式“7屏”，按住手柄，激活M8马达，使砂浆循环；*目前规定在放砂、激活6）从机器后面拉出放砂用的管子，打开阀门放出要更换的旧砂浆，用水桶接、用电子磅秤称量剂量，满了或到了量就关闭阀门放回放砂管M8马达时，要更改砂浆流量为2000kg/h。 ，将旧砂浆倒入专用污水池中；7）从配砂桶中将配好的砂浆用电子秤称出后倒入砂浆箱中与旧砂混合。 *放砂完后、关闭M8时，8）关闭M8马达。 要改回原来的砂浆流量。 6.2.4全换当切割次数达到一定程度时（目前控制在60次以下）就要求对整个砂浆循环箱内的砂浆进行全部更换。 更换时将砂筒中的旧砂浆全部放掉，并将砂筒清洗干净并晾干，然后根据砂浆更换记录表中的要求加入一定量的新砂。 新砂配比悬浮剂128.5kg砂113.8gk（按液砂=10.886）。 6.2.5注意事项1）砂浆循环箱和配砂桶如果有砂浆存在就必须长时间连续开启搅拌泵。 2）要使用的砂浆中要避免其他液体比如水、防锈剂等进入其中。 3）假如饱和度超过规定要求或砂箱中砂浆很满，要相应变更换砂量。 6.3晶锭准备工作6.3.1晶锭粘结6.3.1.1原材料与工具1）胶全部使用同一种胶日本生产的Q-BOND1MR，包括树脂主剂Resin(Black黑色)和硬化剂Hardener(White白色)。 粘胶比例:主剂:硬化剂1:1。 粘胶用量:400mm长的树脂条要用10g主剂和10g硬化剂。 干燥固化时间:自开始搅拌起的7分钟后会变得很硬。 (所以必须在4分钟内搅拌好、涂好胶、把单晶的晶向矫正好、用夹具压紧。 )*尽可能在切割前4小时完全固化时间:4小时。 以上粘结好，保证完全2）树脂条分大BEAM和小BEAM。 大BEAM有3寸、4寸、5寸之分,用来粘固化，确保质量。 结单晶和铁板；小BEAM用来粘在单晶顶部切入点作导向、预热的作用。 3）清洗用消耗品绸布、卫生纸、酒精。 线切割机操作指导书页文件号制定日13/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序4）铁板粘结单晶、BEAM并能装载到机器切割位置。 5）拌匙。 6）搅拌盛具。 （目前使用废内圆刀片剪下的钢板。 ）7）电子天平。 8）压紧夹具。 6.3.1.2粘胶过程: 1、晶向的确定（对无参考面的单晶）1)决定要粘的单晶，并检查和登记其编号、长度、直径等到单晶粘接记录。 然后找一个端面（一般用单晶头部端面）测量该面晶向。 2)经过矢量分析，重新确定个晶向值，使晶向的一个轴向的两值相等或相近、而另一个轴向自然为1个最大值和1个最小值，将晶向最大（或最小）处作为粘结BEAM面,如下图例所示A注意事项BFLDC16051225*单晶与BEAM粘结测量值为时，一定要将C或AA1307；B1410；C1517；D14143）晶向确定好后算出偏差量及偏移值，并记录到单晶定向粘结记录上。 点作为粘接处13151515线切割机操作指导书页文件号制定日14/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序注意事项经过对最佳粘结部位的寻找和确定后，测定个晶向值。 2、有参考面单晶晶向的确定目前，有参考面单晶的晶向在测定时要先寻找和确定最佳粘结部位，要求这样粘结能使切割时翘曲度、弯曲度、晶向都在规定范围。 1）根据与参考面成一定角度(对应最佳粘结部位)做好X、Y方向的记号；2）测量晶向，如果左右两个晶向符合要求，则在平形与此方向上粘接BEAM；否则将单晶旋转某一角度重新测量，直至找到合适的粘结面为止；3）晶向确定好后算出偏差量及偏移值并记录到单晶定向粘结记录上。 3、单晶的粘结1）将确定好晶向的单晶放置到粘结的地方；2）根据单晶长度和直径挑选BEAM，截取合适长度后用气枪吹干净；3）用酒精和卫生纸擦净单晶粘结部位，用绸布蘸酒精擦净BEAM粘结部位；4）根据单晶长度计算用胶量；称出等分量的白胶与黑胶；快速将胶搅拌*换取不同胶时工具一定要先用酒精擦干净。 均匀（一般需要40-50秒）5）将搅拌均匀的胶均匀的涂在BEAM上（一般需要70-90秒）；6）将单晶的粘结面对准BEAM后快速压上，用手微微转动一下单晶，使单晶表面均匀的布满胶；对有翘曲度要求和偏晶向要求的单晶要调整到位，用量角器等工具测量即使调整好；（一般需要30秒）；7）将夹紧装置安装在单晶两头并夹紧，使单晶完全与BEAM粘着，但不要太紧只要不让单晶滑移偏转即可、否则会粘不住单晶；8）等胶干固后（5分钟左右），尽快用美工刀将溢出的多余部分去除干净，不要超过时间而且要注意刮胶力度和手势、否则容易使单晶崩边报废；在BEAM上对应单晶的长度与加工编号、用记号笔做好标记；9）根据单晶晶向偏差在铁块上将粘结部位用记号笔做好标记；10）按37步骤将单晶连同BEAM一起粘在铁块做好标记的部位上（具体粘结过程与粘单晶类同）；11）最后在单晶顶部粘一个导向用的小BEAM（具体粘结过程与粘单晶类同）。 6.3.2晶锭安装*夹紧时控制夹紧压力，不要压得过重。 刮胶时要注意手势和力度。 *在铁块上做标记不要将偏转方向搞反。 1)选择ingot holder，如果切割1根8英寸以下硅单晶，则选择单的ingot holder，如果切割双根4英寸以下硅单晶，则选择双ingot holder。 *要求头部靠FL切割2）将选择好的ingot holder，放在专用工具车的lift trolley上并夹紧，*切单根时ingot holder3)旋转lift trolley后面的把手使ingot holder旋转180；边上还有两颗锁紧螺4)把已粘好单晶的铁块（workpiece holder）根据线切割作业记录上的丝。 加工位置放到ingot holder上，对准螺孔；*螺丝要紧一点，绝对不5)用八颗螺丝把workpiece holder固定在ingot holder上（先拧紧中间4个）；许松动，但也不可过紧6)旋转lift trolley后面的把手使ingot holder旋转180，把专用工具车会使螺孔、螺丝打滑。 到线切割机工作台前；线切割机操作指导书页文件号制定日15/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序7)摇升ingot holder至刚过线切割机工作台导轨，对准导轨将专用工具车导轨上的定位销卡入工作台导轨前端的定位槽上；再略微降低lift trolley与工作台导轨平齐；8）拔出lift trolley右边的定位销，推入lift trolley连同ingot holder至feed module正下方卡位；9)在工作面板上按“锁紧”按钮S113，确认ingot holder已被feed module注意事项*旋转时注意方向，不要让单晶碰到ingot holder.夹紧；松开lift trolley边上的夹紧装置；*必须由两位操作员同时10）推出lift trolley，将lift trolley推到专用工具车上，并锁上lift trolley进行操作。 右边的定位销；11）提升lift trolley至刚过线切割机工作台导轨，移走专用工具车。 6.3.3调整切割位置、零位1）打开屏幕上的马达界面，按F9至FEED MODULE上升和下降界面；*当单晶直径或根数发生2）按住操作手柄的顶部按钮，使指示灯为绿灯；变更时进入FEED MODULE3）按F 4、F7再按S112使FEED MODULE自动下降到前次切割零位；手动模式，按S111快速4）仔细检查导向与线网接触情况；下降到线网上方，再按照5）按F 6、F7使FEED MODULE变为手动模式；6）根据线网与导向条的距离，旋转S111进行上下微调，同时注意导向与线网接触情况；7）当导向条与线网刚接触后略微向上调一点，按F8设置零位；8）根据单晶直径、导向条厚度、BEAM切深计算切割深度；9）按ESC退到“2屏”按F6进入“14屏”将切割深度值输入。 6.4程序设定和输入按照单晶的特性和加工的要求，从数据库中提取切割方案，制订当前单晶的线切割作业记录。 在切割前，将线切割作业记录表中的切割程序，通过机器的控制面板输入到机器电脑中。 进入操纵屏“ 22、23”屏相应输入各切割参数，按F5进入17屏，相应输入切割程序。 步骤6-9进行调整切割位置、零位。 切割深度按切入BEAM3mm左右。 线切割机操作指导书页文件号制定日16/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序6.5切割之前的确认切割之前需要确认和检查的事项有1）小滑轮磨损情况2）砂浆准备工作3）线导轮的安装4）检查导轮两端的防护箍5）安装线轮6）安装线网7）防护罩8）安装机器后面的砂浆管9）检查线网的线压是否正常10）砂浆桶安装筛网、砂浆泵和搅拌泵，移动砂浆桶，关掉砂浆泵，连接上砂管，连接.上砂浆泵和搅拌泵（电器插头），把搅拌泵的开关M9打开。 11）确定砂浆是否已经更换12）打开冷却水13）打开压缩空气14）打开主电源开关打开冷却循环M7，并检查是否有泄漏；15）打开砂浆泵M8，确认喷砂嘴中有砂浆喷出到线网上，砂浆循环系统正常工作；16）输入切割的参数并检查无误；17）关闭防护罩(Hood)，罩住工作台，并关上滑门；18）将操作钥匙S118转到Position OFF，消除报警19）打开所有的泵和马达；20）进入自动切割状态。 6.6切割时定时检查在切割过程中必须随时监控切割的轴承温度等各项参数和切割机、动力、冷冻机等的状况，以及切割屏幕上出现的各种报警信息。 监控的各项参数必须及时填入切割记录表。 如果遇到下列情形之一，将会停止自动切割模式，并可能断线1）马达钥匙(S119)转到OFF位置；紧急刹车被按下。 2）出现报警，包括断线、轴承过热、冷冻机停机、参数超过允值。 3）水、电、气动力切断。 注意事项线切割机操作指导书页文件号制定日17/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序可以处理的异常1）轴承温度过热时，一般是由于阀门堵塞，通1下相关阀门即可。 2）冷冻机门常开，发现它跳闸后立即打开门，重新启动即可。 6.7切割完成，关闭机器，取出切割后的硅片1)切割完成后，机器报警，屏幕上出现报警信息”cutting finished”，并自动停机。 2)将防护罩锁S118打至ON；3）按左边边缘的open按钮，打开防护罩HOOD，提升到最顶端；4)检查线网和晶锭是否切割正常，有没有切割至设定位置，线网有没有跳线；5)打开屏幕上的马达界面，按F9至FEED MODULE上升和下降界面；6)调整手动上升的速度为10-30mm/min，7)按住操作手柄的顶部按钮，使指示灯为绿灯；8)按F 3、F7后再按S112使单晶上升到零位；9）按F 2、F7后再按S112使单晶上升到单晶安装位置；推入晶锭夹持专用工具车，并将车上的lift trolley推入工作台导轨；10)将ingot holder扣入lift trolley，转动lift trolley右边的手柄90，确定lift trolley已锁紧ingot holder；11)按下面板上的夹紧按钮S114至松开状态，用手拨动FEED MODULE上的锁紧销至松开，将lift trolley连同ingot holder拉出至晶锭夹持专用工具车；12)用定位销销住lift trolley，移出晶锭夹持专用工具车；13）旋转lift trolley后面的把手，使ingot holder连同单晶旋转180?，使单晶朝上。 13)用内六角螺丝刀拧出ingot holder背面的8颗螺丝，取下粘有硅片的workpiece holder，放至清洗槽内；14)清洁ingot holer和机器；注意事项*旋转时注意方向，不要让单晶碰到ingot holder.线切割机操作指导书页文件号制定日18/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号6作业程序6.8硅片冲洗、脱胶和测量以及搬运1)把粘有切割好硅片的workpiece holder放到水槽内，用自来水冲洗硅片表面和硅片之间的砂浆；2）将单晶入切点（A点）做好标记，单晶中间每隔一定长度用隔片隔开，一段单晶分几小端时用不同的隔片隔开，以便区分；3)堵住水槽的下水口，放入80左右的热水，浸没至硅片的一半；4)10-20min后，硅片与BEAM间的胶软化，硅片将脱落；5)小心取出已脱胶的硅片，根据硅片的加工编号，A点朝上放入泡沫盒中；6）测量硅片晶向、厚度（五点法），将数据记录在线切割作业记录上检查硅片表面切割状况，测量WARP和BOW并记录，后转移至下道切割清洗工序。 6.9workpiece holder脱胶1）由于workpiece holder与Beam之间的胶粘的面积较大，脱胶时最好采取较高的温度，这样容易脱胶。 2）用特定的螺丝刀切入热水浸过的Beam和workpiece holder之间，起出beam，并清洗workpiece holder。 6.10机器清洗和定期检查以及维护1）每周对机器进行一次清洗，清洗前先拆下进回线轮、小滑轮、剪下线网；并移开砂浆筒，移入备用的接水铁筒。 2）用自来水冲洗张力系统、切割区，线导轮等部位，待清洗到一定程度时用干净的自来水循环砂浆泵、冷却泵、砂浆回路、黏度计等。 清洗完毕后用气枪将张力系统、导轮等部位吹干。 3）每周按照每周检查/维护表中的各项内容进行检查/维护；4）每月按照每月检查表中的各项内容进行检查/维护；5）每3个月按照3个月检查表中的各项内容进行检查/维护；6）每6个月按照6个月检查表中的各项内容进行检查/维护；7）每12个月按照12个月检查表中的各项内容进行检查/维护注意事项*加入热水前必须用冷水将硅片冲洗干净。 *小心热水烫伤!*一段单晶分成几小段时装盒要根据做好的标记区分开。 *在清洗机器时要将水与电线接头等部位隔离开，清洗过程中保证正常供气。 线切割机操作指导书页文件号制定日19/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号7异常处置7.1DS263异常停机步骤由于线切割机在切割过程中遇到异常情况时紧急停机容易引起断线，从而引起硅片损失，甚至导致线导轮受损。 为减少损失，现对正常切割中出现异常情况而且必须停机处理时作如下规定1）先将M6（进给马达）速度从100%-80%-60%-40%-20%-0%逐渐减慢；2）再将M1（线导轮主马达）速度从100%-80%-60%-40%-20%-0%逐渐减慢；3）按面板上的STOP按钮，停止所有马达（除M9外）。 完成以上动作后，再检查异常原因，排除问题。 确认所有异常情况均已排除，然后按以下步骤开机切割1）先开启M8（供砂泵）M7（冷却泵）；2）再接着启动M 2、M 4、M 5、M 11、M 12、M 1、M6，按正常切割程序启动切割按钮F4START，然后将M1（线导轮主马达）速度从10%-30%-50%-70%-80%-90%-100%逐渐加快；3）再将M6（进给马达）速度从10%-30%-50%-70%-80%-90%-100%逐渐加快；以上操作的过程中，作业员应该注意安全。 注意事项7.2断线处理当机器由于某种原因导致异常停机后出现断线现象，根据断线发生的位置分FL端断线、LL端断线和两端同时断线三种情况。 每种断线情况发生后的处理有所不同，但目的都是一样，将未切完的单晶继续切完，使损失降到最小。 7.2.1LL端断线1）提升单晶使切割位置向上离开断线位置约2-3mm；2）清理出断线线头，确认导轮与抱箍之间无断线头；3）确认导轮上有无跳线现象，有的话进行跳线处理；*调整小滑轮时一定4）根据线头的位置相应调整14#小滑轮的位置，调整位置时要注意要保持水平方向。 确认水平位置；5）拉出线头绕回到回线轮上，再向前走一些线约0.2公里；6）最后按照异常停机开机步骤重新开机切割。 7）切割完后将1#导轮LL端的线网重新绕到绕线时的出线槽位置，并相应调整14#小滑轮的位置，调整位置时要注意确认水平位置。 线切割机操作指导书页文件号制定日20/23HNS/T001-57-xxxx年2月28日复印号7异常处置7.2.2FL端断线由于FL端为进线端，断线后要焊接断线头，焊好后要将焊疤绕过整个线网并回到回线轮上，因此在处理方法上有一些区别。 1）完全提升单晶至安装位置；2）清理出断线线头并用专用胶布做好线头处理，确认导轮与抱箍之间无断线头；3）确认导轮上有无跳线现象，有的话进行跳线处理；4）进入绕线模式，将线网反方向排线至绕线时的进线槽为止；5）抽出断线线头与新线轮线头焊接；6）进行绕线将焊疤从FL端一直绕绕到LL端并回到回线