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TFT LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 1 Contents 2 2020 3 22 减薄的作用 1 减少占有的空间2 使Glass达到一定的柔性 3 2020 3 22 减薄工艺简介 4 2020 3 22 封胶 一般在这之前还会进行检查 涂胶后静置1min 清除多的UV胶 UV固化后检查 5 2020 3 22 封胶 UV固化 UV灯 涂胶后检查 涂胶 加盖遮光垫 6 2020 3 22 原理及方式 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 原理 1 2 3 4 减薄原理及方式 6HF SiO2 H2SiF6 2H2O 液体 固体 玻璃 液体 7 2020 3 22 单片直立喷洒 瀑布流 优点 1 可以满足两面不同蚀刻要求 多片缺点 1 蚀刻表面易产生凹点 优点 1 表面最光滑 甚至可以不用抛光 三种方式优缺点 8 2020 3 22 Textinhere 蚀刻 清洗 减薄 减薄流程 9 2020 3 22 减薄设备 其余组件 供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置 10 2020 3 22 减薄工艺参数 1 反应时间与玻璃质量损失的关系 图1 反应时间与玻璃质量损失之间的关系 11 2020 3 22 减薄工艺参数 2 反应速率与反应温度的关系 图2 玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 12 2020 3 22 减薄工艺参数 3 反应速率与HF酸浓度的关系 图3 玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明 HF 2是HF酸溶液中的最主要活性成分 因为以氢键形式存在的H F键比HF分子中的H F键更脆弱 与SiO2反应时更容易断裂 13 2020 3 22 减薄清洗单元 后 14 2020 3 22 清洗 外观检查 Polishing 外观检查 Reject 研磨 15 减薄工艺自身不良 16 2020 3 22 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质 1 除胶未干净 有残留2 PT等未清洗干净 1 设备故障 Conveyer 2 瀑布流分叉 瀑布流蚀刻方式 3 Nozzle堵塞 喷淋式蚀刻方式 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 17 2020 3 22 Slimming后划伤 18 2020 3 22 Slimming后划伤 LiftPin凹点 19 2020 3 22 Slimming后划伤 2 Robot吸盘凹点 20 2020 3 22 Slimming后划伤 3 轮印 21 2020 3 22 造成B ITO不良 现象 ADS产品做完B ITO后 产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀 类似产品表面水干燥后残留的印记 原因 BOX在Slimming车间长期周转 slimming车间内酸气长期在BOX表面附着 从而使BOX表面呈现酸性 1 水渍酸印 22 2020 3 22 其它不良 1 电阻超标 原因 酸残留 23 2020 3 22 与减薄有关的性耐性 24 2
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