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刘志兵 2011 04 01 JRW 01K设备说明 曝光技术科 一 JRW简介二 JRWLayout三 PipingLayout四 TheOutside JRWsystem JasRework 即光刻胶重工装置 其目的是剥离需要重工的JAS有机绝缘膜装置 先通过I UV单元对有机绝缘膜进行曝光 再通过显影单元对曝光后的有机绝缘膜进行显影 最后再进过洗净单元的清洗 从而达到去除JAS有机绝缘膜的目的 1 JRW简介 PanelFlow LD Conv I UV DEV UD SystemTact 180sec 2 JRWLayout 剥离基板上曝光后的Jas有机绝缘膜 对Jas有机绝缘膜进行曝光 17105mm 3 PipingLayout 4 TheOutside Instageunit I UVunit Developer DeveloperRinse Outofstage InstageUnit 3pin 5 15pin31roller RollerConveyorUnit 主要包括3段 每段都有38roller I UVUnit 5pin 5 25pin RotaryStage SubArm up hand down hand 各4个arm 各12真空吸盘 StageUnit 3pin 5 15pin26roller 1个静电消除器 Dev 1 3钢 32白roller 2个Nozzle 每个Nozzle上均匀分布5个显影液 0 5 管路和6个CDA管路 Dev 2 39白roller Dev 3 16白 2钢 12白 4钢 34roller Rinse1 HighPressRinse Rinse2 AirKnife 11roller Ou
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