(LY-QS-8.2.4-021A1)CP晶圆检验实用标准

文件名称 文件名称 CPCP 晶圆检验标准晶圆检验标准 文件编号 文件编号 LY QS 8 2 4 021LY QS 8 2 4 021制定单位 制定单位 品经部品经部 修订履历 生效日期版次修订人修订内容 2016 8 20 2016 10 20 2016 12 22 A0 A1 黄良汉 王涛 毕明明 首版发行 1 追加第 4 条标准内容 针对 XW 的产品边缘晶圆外 4 圈区域 不完整 DIE 不算一圈 的 PAD 变色 不做管控 做允收判 定 2 变更公司 LOGO 增加 HD 护层不良 线路不良管控要求 LY R 4 2 3 009 A2 1 1 目的目的 为 CP 外观检验提供依据 2 2 适用范围适用范围 本公司内晶圆的检验 3 3 职责职责 品经部 负责检验标准之制定及修改 并依本标准对产品进行抽检 其他部门 依本标准对晶圆产品进行品质判定 4 4 标准内容标准内容 检验项目检验项目 检检 验验 标标 准准参考图形参考图形 不可移动的异物不得存在 PAD 上 晶粒上不允许有水珠和油污及光阻残 污染 晶背不可有目视可见污染 如果存在高低差 即凹凸不平 且无法去除时 拒收 护层不良除 PAD 开窗外 所有护层不可有破损 护层上有龟裂 拒收 光阻剥 或显影 造成图形异常或呈现锯齿 状 HD 如右图护层不良 检验不管控 NG OK HD 如右图线路不良 检验不管控 PAD 氧化 腐蚀或变黄色 咖啡色 黑褐色或有 七彩色 针对 XW 的产品边缘晶圆外 4 圈区域 不完 整 DIE 不算一圈 的 PAD 变色 不做管控 做允收判 定 在 50 倍的目镜 铝路不可发生氧化 铝变色腐蚀 焊 变 氧化 铝腐 蚀 焊变 显微镜下观察 pad 上有荷叶状或蝴蝶状图案 观察其颜色偏黄或偏灰且边界明显 线路表面 不允许有 针痕和因针痕造成的铝屑都不允许超出 PAD 的 边框 针痕不应该造成 PAD 外侧产生裂痕 破损或变 形 需确保边框的完好 A PAD 针痕数目 1 普通产品 3 次 2 OTP 产品 CP1 2 次 CP2 3 次 3 CP3 4 次 B 在 50 倍的目镜 PAD 上之探针痕露底材的面积 1 普通产品不得大于针痕的 1 5 2 OTP 产品不得大于针痕的 1 4 C 所有产品针痕面积 1 4 PAD 面积 针痕不良 1 针痕偏移突出焊垫桥接铝路或邻近焊垫 拒 收 2 当 WAFER 的 PAD 有双框现象时 针痕扎偏不 可覆盖到 PAD 外围线 图一为拒收 图二可允收 但需改善 图一 图二 PAD D 铝路上刮 压伤有以下两种情况 A 造成铝路或焊垫间短路及桥接 拒收 B 有曝露底部氧化层 拒收 C 刮压伤造成铝路路间隙减少 1 2 或铝路宽度 线宽 减少 1 2 拒收 背面刮痕 背面呈白色条状 为背面刮痕 不能伤及 电性和露底层 可接受 但需在流程卡及检验报表上 记录 刮痕呈黑色条形状 裂痕 拒受 刮压伤 PAD 上刮 压伤不得位于中央焊线区 总面积不得大于 20 图略 PAD开窗 不良 1 PAD 开窗位移桥接邻近焊垫 开窗面积未超 过 1 4 者允收 造成桥接拒收 如图一 PAD 已向左边偏移 2 PAD 上护层开窗不良而盖住 PAD 面积 1 4 以 上者 拒收 且不得位于中央焊线区 3 因开窗 蚀刻 错位 使其超过 PAD 外围上 的 N P 扩散线 拒收 4 开窗不足 开窗面积 PAD 3 4 拒收 PAD 3 4 接收 PAD 不良PAD 缺损超过原来面积的 10 图一 图二 1 护层 CVD 沉积不良造成之麻点或纹路 麻点 或纹路密度足以影响底层判定者 拒收 2 二次蚀刻不完全者造成晶粒上稀疏之斑点和 纹路异常 允收 CVD 沉积 不良 QS AW1699 系列型号发现有麻点都需要反馈客户 其他型号产品按照右图标准判定 后续如果发 现有与标准图片不一致的无法抉择判定的可与 客户沟通后添加到标准中 以上麻点不可接受 1 INK 大小订为约 4 6 个 PAD Size 之间或按 Die 的大小管控标准 最小要肉眼可见 A 2 0mm2以下 标准为 350 m 100 m B 2 0 4 0mm2 标准为 400 m 150 m C 4 0mm2 标准为 400 m 150 m 2 INK 高度在 20 m 以下 目视有异常时请测量 20 m 以下 INK INK 中空区域不可超过 INK 包围面积的 50 1 墨迹 点 覆盖于晶粒表面上呈分散状 不可 崩散残留在良品晶粒上超过 1 个 PAD 面积 以总溅墨点合计 不含 PAD 区域 2 晶粒表面上之墨点 迹 且有规则之外形 类 似圆型或椭圆型状总面积大于 1 4 PAD 面积 拒收 不含 PAD 区域 墨迹 墨迹残留在 PAD 开窗区域内不可超过 PAD 开窗 区域的 25 且不得位于中央焊线区 气泡 突起 物 PAD 和铝路上不得有气泡和突起物 空洞 破损 1 线路空洞 破损 2 空洞 破损 1 2 线宽 拒收 3 空洞 破损 1 2 线宽 接收 4 PAD 空洞 破损 5 空洞 破损 1 10 PAD 面积 拒收 6 空洞 破损 1 10 PAD 面积 接收 桥接