ESD作业管控程序

東莞利源電子有限公司 1Page 1 of 8 靜電防護作業規範靜電防護作業規範 1 01 0 目的目的 為防止因靜電的產生 而間接的破壞產品 特訂本規範期能降低到最低 2 02 0 適用範圍適用範圍 凡屬本公司之靜電防護措施 均適用本規範 3 03 0 責任責任 凡進入靜電防護區的所有同仁 皆需遵守本作業規範 3 1 各單位主管應對其作業所需之材料 分發或設置負有維護之責 3 2 確認所屬 皆已接受本公司或外界相關 ESD 之訓練 3 3 各單位之靜電防護之執行及點檢均由各單位負責指定人員執行 3 4 由品保部門負責稽核各防護區執行及記錄是否皆符合本規範要求 並且靜電接地主線 量測記錄需送至品管管保存 3 5 防靜電量測之各儀器由品保單位負責校驗 4 04 0 定義定義 無 5 05 0 程式程式 5 1 實施辦法 5 1 1 設備之靜電防護措施 a 硬式接地要求 使用之儀器設備的基座與電機系統之安全接地 SAFETY GROUND 必須連結 測試用設備 庫房物料存放料架 地墊 FLOOR MATS 輸送皮帶之接地以直接焊接 折縫鉚釘或使用夾式連接固定均可 5 1 2 工作站之靜電防護措施 生產流程 PRODUCTION FLOW 作業站包括 1 COPY IC 2 SMD 3 DIP 4 裝配 5 運送 6 儲放 7 檢驗及測試 8 包裝 9 維修 及 其直接或間接使用設 備 工具及其工作人員之軟式接地 亦必須符合本規範要求 a 作業站表面材料 必須是導電或靜電消散性材料 如導電墊 TABLE MATS 導電導板 表面電 阻在 1055 1010 SQUARE OHM 之材料 東莞利源電子有限公司 2Page 2 of 8 b 作業站間之接地連結 作業站之間的接地連結可以是串聯 但必須符合下列原則 接地時 不可與設備之安全接地 SAFETY GRDUND 或高周波接地混合使用 任何導線在連接點前一寸之內 必須以絕緣覆之 c 警告標誌 ESD Warning 各靜電敏感作業區域 必須貼示 靜電防護警告標誌 各靜電敏感區域之場所大門 須貼示警告標誌 5 1 3 靜電環 人員導通性測試 CONTINUITY TEST a 工作人員當日進入防護區時 必須先戴靜電環於腕上 然後作導通試驗 通過 者方可入內工作 未通過者需更換合格靜電環再作試驗 靜電環測試步驟參考 說明 b 做導通試驗時 需將腕帶之導線夾在測試儀器之夾片上再以手指輕按測試台中 央 合格顯示綠燈 不合格顯示紅燈並將所測結果記錄 靜電環量測記錄表 靜電環測試儀 如下圖 c 因作業之限制而未能使用靜電環者 亦必須使用防靜電手套 始可接觸 製品 d 靜電環測試器 由儀校人員按時校正並保存校驗報告 5 1 4 工廠導電地板導通性測試及作業說明 a 工廠內鋪設導電地板之區域 須各車間靜電接地支線每 3 個月量測並記錄於 靜電支線阻抗量測記錄 接地電阻測量搖表 靜電幹線每 3 個月量測一次 並記錄於 靜電幹線阻抗量測記錄 接地電阻測量搖表 靜電接地點每 6 個月量測一次並記錄於 靜電接地點阻抗量測記錄 接地電阻測量搖表 b 工作桌 桌墊接地的有效性 每三個月檢查接地情形並貼靜電合格標籤 c 防靜電地板測試每 3 個月測試一次 並填寫於 靜電地板阻抗量測記錄 表 面電阻測試儀 東莞利源電子有限公司 3Page 3 of 8 d 將廠區內靜電臺面與靜電線之連接線編號並專人點檢連接狀況 確保連接正常 e 每日對生產線的靜電支線的斷路和導通狀況進行檢查 警報器工作正常 並 記錄與 靜電斷路 有效性點檢表 萬用表 f 導電地板之維護 1 為維護導電地板之壽命 地板須每日或定期做清潔保養 2 保養時可用拖把沾水 將表面之灰塵去除乾淨 再用導電臘 效果更佳 3 導電地板嚴禁使用化學性溶劑清洗 如 HCFC 甲笨 香蕉水 等 以確 保導電材質不致變質 脆化損壞 5 1 5 導電鞋管控 進入工廠之所有同仁 須穿著導電鞋進入工作場所 來賓訪客須穿防塵 鞋套始可進入 5 1 6 零件 製品運送與接觸之規定 a 人員接觸物料或製品規定 由戴有 ESD 防護手套的人員 將待置物置放於靜電防護桌面 以工具接觸產品時 該工具必須是不產生靜電者 不可由非 ESD 防護絕緣材 料工具接觸 手工焊接作業時 其焊接工具必須有充分之接地 b 使用自動設備處理 PCBA 操作人員必須接地 嚴禁使用產生靜電之物品 除非該物品有下列條件 b 1 包覆於靜電場隔離容器內 b 2 經防靜電溶液處理過 b 3 在離子氣流涵蓋範圍內 c 裝有 IC 的包裝管 TUBE 運送規定 包裝管若為導電性材料 可由未受靜電防護人員之運送 包裝管若為抗靜電性材料 則運送者須接地或使用抗靜電手套 包裝管若蓋子打開或塞子取出 則必須放在靜電防護工作桌面 零散料之移轉必須以管對管之傾倒 並注意極性 d PCBA 運送規定 運送者需接地 拿取電路板 須持其邊緣 並戴上 ESD 防護手套 東莞利源電子有限公司 4Page 4 of 8 須置於有接地的工作站 以金屬架運送 並在金屬車架上存 取電路板 e 不良品之處理規定 含待修品 因電性功能測試或目視 特性而判定為不良品 除非已由製造檢討會議決議 為報廢品 否則其運送規定仍符合本規範之管制規定 f 現場列禁物品 易產生靜電的物品如膠帶 TAPE 一般塑膠物品 保麗龍 POLYLON 置於靜 電防護作業站之工作桌面時 應與製品保持適當距離 並確保放置距離在 30 公分以下 g 人員接地的方法 靜電環 Wrist Strap 必須與皮膚充分接觸 如右圖 h 環境控制 生產 檢驗及測試區域的溫濕度環境必須予以控制 務使靜電之產生減少到 最低程度 一般業界標準為 温度 25 3 湿度 45 70 i 包裝的規定 原料包裝 盤裝原料 TRAY 所用盤子須為抗靜電或導電材質 若為抗 靜電的盤子 則 必須包覆在導電袋或導電盒內 若為導電性材料的盤子 則可以此方式運送或 包覆於標準紙箱內 包裝管須為抗靜電 如導電材質 且包覆於導電袋或導電盒 則可單獨運送 或裝入標準紙箱內 管子兩端塞子及針狀物也必須是抗靜電或導電材料 零件盒及 PCBA 暫存架採用抗靜電材料 j 針對重複性使用之抗靜電材料或導電材料 如儲存放置箱 隔板 抗靜電泡棉 導電料盒 等 于重複使用時每週至少要用抽樣方式予以確認其阻抗值是否仍 在規格內 否則應停止重複使用該材料 5 1 7 各單位 含部門 及工作站別 對防靜電措施之做法 a 取用 ESD 敏感元件 僅可接觸其母體外殼 不可由導線 接腳 碰觸 並須使 用靜電環或 ESD 防護手套 b 勿使半導體滑動於任何表面上 勿使零件接觸普通的塑膠或紡織物 5 2 制程稽核與確認 東莞利源電子有限公司 5Page 5 of 8 5 2 1 要求 由制程品管依規範本指導中規定作隨機稽查與確認 並列入 SMT 巡迴稽核檢 查單 和 DIP 巡迴稽核檢查單 內 5 2 2 相關部門 所有直接與間接部門在進入 ESD 防護區域中皆需遵守本規範規定 a 個人所使用的防護設備 依 5 1 3 節實施 b 靜電防護工作站之桌 地墊 TABLE FLOOR MATS 須不定期檢查是否接 觸良好 5 2 3 違規處理措施 a 受影響之作業區應立即暫停 並依 糾正和預防控制程式 b 矯正措施及受影響產品的處理方式 必須受到品保部及防護區域主管之 認可 始准予繼續作業 5 3 教育訓練 全公司凡有機會接觸產品或在 ESD 區域工作的員工均應接受靜電防護的教育訓練 訓練由各單位指派工程師以上人員負責教導 受訓員工均應納入訓練記錄存檔 5 4 靜電防護監測計畫及規格 品 名規格測 量 儀 器測量方法測量週期測 量 記 錄 靜電環 靜電鞋 1M 10 靜電環測試儀測量 SOP每天 靜電測試記錄表 靜電支線接地阻抗 4 接地電阻測量搖表專人負責 每 3 個月靜電支線阻抗量測記錄 靜電地板表面電阻 105 1010 表面電阻測試儀專人負責每 3 個月防靜電地板阻抗量測記 靜電幹線接地阻抗 4 接地電阻測量搖表專人負責每 3 個月靜電幹線阻抗量測記錄 靜電接地點阻抗 4 接地電阻測量搖表專人負責每 6 個月 靜電接地點阻抗量測記 錄 靜電斷路有效性點檢是否導通萬用表專人負責每天 靜電斷路 有效性點檢 表 東莞利源電子有限公司 6Page 6 of 8 輸送帶 工作臺面 106 109 表面電阻測試儀專人負責每 3 個月 貼靜電合格標籤 ESD 靜電測試紀錄表 周轉架 靜電箱 106 109 表面電阻測試儀專人負責每 6 個月 貼防靜電標籤 ESD 靜電測試紀錄表 5 5 靜電量測方法 5 5 1 靜電環測試步驟 a 裝入 9V 電池於靜電測試器內 b 將接地線夾插入靜電測試器上方 c 將靜電腕帶牢固在手腕上 d 將有環扣接地線扣在靜電腕帶上 e 兩接地線緊緊夾住 f 將帶有靜電腕帶之手施壓在靜電測試器圓形金屬片上 此時開始測試 g 靜電測試器出現綠燈並有信號聲 表示此接地系統 OK h 如果左邊 LOW 紅燈亮 請檢查靜電腕帶中的阻抗是否低於 500K 否將有害於 人體 i 測試器在使用 50000 後 測試仍會出現綠燈 但未有信號聲 表示該換電池 5 5 2 靜電臺面 靜電周轉箱等靜電量測方法 a 取表面阻抗量測計 如圖分別插上兩個測量砣 圖 1 b 將測量砣放置於待測平面上 圖 2 按下 TEST 鍵 讀出數值 圖 3 桌面 周轉箱測量值 紀錄於 靜電測試合格標籤 貼於所測物體上 測量週期為三個月測一次 5 5 3 靜電地板的靜電量測方法 a 將待測量地板乾淨 沒有髒汙 b 將測量砣放置在測量地板上 兩個砣之間的間距不可超過 1m 如下圖 1 c 將靜電測量儀的紅線 黑線分別插在兩個孔內 並將其另一端分別放在兩個測 量砣上 打開電源開關進行測量 如下圖 2 图 1 图 2 e08 标示为 108 以此类推 图 3 東莞利源電子有限公司 7Page 7 of 8 d 讀取測量儀上的數字在 105 1010範圍內 記錄於 靜電地板阻抗量測記錄 表 面電阻測試儀 e 靜電地板每半年打一次導電臘 5 5 4 靜電幹線測試方法 a 將藍線一端接入 P 端 另一端接插地樁 紅線一端接 E 端 另一端接插地樁 黃線一端接 C 端 另一端接總幹線 b 插地樁插入大地 40CM 以上 兩個插地樁地距離 40M 以上 c 將檔位旋紐旋至 X1 檔 d 右手搖動搖杆手臂 左手轉動刻度盤 觀察指標指向 0 時 可讀盤指向的 讀數 e 並將結果記